本实用新型专利技术属于晶圆生产设备技术领域，尤其是一种晶圆自动分片排列装置，针对现有的晶圆在初步加工完成后一般是乱序放置，导致在后期测试过程需要人工将晶圆进行分布排列的问题，现提出如下方案，其包括工作台，所述工作台的底部固定连接有三个支架，所述支架的外壁固定连接有挡板，所述支架的外壁固定连接有固定板，固定板的外壁固定连接有第一电机，所述第一电机输出轴的顶部固定连接有竖轴，所述竖轴的顶部固定连接有机架，本实用新型专利技术通过设置第一电机、竖轴、机架、吸嘴、气泵、第一链轮、链条、第二链轮、丝杆、连接块、竖杆、放置箱与胶板，将晶圆依次放到输送带上，避免人工手动排列分布。布。布。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆自动分片排列装置
[0001]本技术涉及晶圆生产设备
，尤其涉及一种晶圆自动分片排列装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。晶圆在加工完成后需要经过测试等后续加工步骤，从而检测出晶圆的功能是否完整。
[0003]在现有技术中，晶圆在初步加工完成后一般是乱序放置，导致在后期测试过程需要人工将晶圆进行分布排列，因此我们提出一种晶圆自动分片排列装置，用于解决上述问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决晶圆在初步加工完成后一般是乱序放置，导致在后期测试过程需要人工将晶圆进行分布排列的缺点，而提出的一种晶圆自动分片排列装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种晶圆自动分片排列装置，包括工作台，所述工作台的底部固定连接有三个支架，所述支架的外壁固定连接有挡板，所述支架的外壁固定连接有固定板，固定板的外壁固定连接有第一电机，所述第一电机输出轴的顶部固定连接有竖轴，所述竖轴的顶部固定连接有机架，所述机架的外壁固定连接有四个吸嘴，所述机架的外壁固定连接有两个气泵，两个气泵的输入端均固定连接有软管，软管的一端分别与四个吸嘴固定互通，所述第一电机输出轴的外壁固定套设有第一链轮，所述第一链轮的外壁啮合连接有链条，所述链条的外壁啮合连接有第二链轮，所述第二链轮的外壁固定连接有丝杆，所述丝杆的顶部与工作台的外壁转动连接，所述丝杆的外壁螺纹连接有连接块，所述连接块的外壁固定连接两个竖杆，所述工作台的顶部设有送料机构。
[0007]优选的，所述送料机构包括放置箱，所述工作台的顶部与放置箱的外壁固定连接，所述竖杆的顶部固定连接有胶板，所述胶板的外壁与放置箱的内壁滑动连接，所述工作台的外壁固定连接有两个支撑板，所述支撑板的外壁转动连接有两个辊轮，两个辊轮的外壁均套设有输送带，所述支撑板的外壁固定连接有连接板，连接板的外壁固定连接有第二电机，所述第二电机的一端与辊轮的外壁固定连接，通过设置胶板对晶圆进行支撑，同时带动晶圆上升。
[0008]优选的，所述工作台的外壁开设有圆孔，圆孔的内壁与竖轴的外壁转动连接，通过设置竖轴使机架进行转动，通过吸嘴依次将晶圆排列。
[0009]优选的，所述放置箱与工作台的外壁均开设有两个通孔，两个通孔的内壁分别与两个竖杆的外壁滑动连接。
[0010]优选的，所述输送带的外壁均匀开设有多个贯穿孔，通过设置贯穿孔方便后续拿起，避免晶圆吸附在输送带上。
[0011]优选的，所述支架的外壁转动连接有防护门。
[0012]优选的，所述竖轴与丝杆的外壁均固定套设有轴承，轴承的外圈与工作台的外壁固定连接。
[0013]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0014]本方案通过设置第一电机、竖轴、机架、吸嘴、气泵、第一链轮、链条、第二链轮、丝杆、连接块、竖杆、放置箱与胶板，将晶圆依次放到输送带上，避免人工手动排列分布，同时第二电机转动使输送带移动一定距离，方便后续测试。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种晶圆自动分片排列装置的结构示意图；
[0016]图2为本技术提出的一种晶圆自动分片排列装置的立体结构示意图；
[0017]图3为本技术提出的一种晶圆自动分片排列装置的图2中的A部分放大结构示意图。
[0018]图中：1、工作台；2、支架；3、挡板；4、第一电机；5、竖轴；6、机架；7、吸嘴；8、气泵；9、第一链轮；10、链条；11、第二链轮；12、丝杆；13、连接块；14、竖杆；15、放置箱；16、胶板；17、支撑板；18、输送带；19、第二电机；20、防护门。
具体实施方式
[0019]由图1
‑
3所示，涉及一种晶圆自动分片排列装置，包括工作台1，工作台1的底部固定连接有三个支架2，支架2的外壁固定连接有挡板3，支架2的外壁固定连接有固定板，固定板的外壁固定连接有第一电机4，第一电机4输出轴的顶部固定连接有竖轴5，工作台1的外壁开设有圆孔，圆孔的内壁与竖轴5的外壁转动连接，竖轴5的顶部固定连接有机架6，机架6转动使吸嘴7位于放置箱15的顶部，机架6的外壁固定连接有四个吸嘴7，四个吸嘴7分为两组，依次对晶圆进行吸附，机架6的外壁固定连接有两个气泵8，两个气泵8的输入端均固定连接有软管，软管的一端分别与四个吸嘴7固定互通，通过气泵8控制吸嘴7，第一电机4输出轴的外壁固定套设有第一链轮9，第一链轮9的外壁啮合连接有链条10，链条10的外壁啮合连接有第二链轮11，第二链轮11的外壁固定连接有丝杆12，丝杆12的顶部与工作台1的外壁转动连接，丝杆12的外壁螺纹连接有连接块13，丝杆12转动使连接块13向上移动，连接块13的外壁固定连接两个竖杆14，竖杆14辅助连接块13移动的同时使胶板16向上移动，放置箱15与工作台1的外壁均开设有两个通孔，两个通孔的内壁分别与两个竖杆14的外壁滑动连接，工作台1的顶部设有送料机构。
[0020]由图2与图3所示，送料机构包括放置箱15，工作台1的顶部与放置箱15的外壁固定连接，竖杆14的顶部固定连接有胶板16，胶板16的外壁与放置箱15的内壁滑动连接，支架2的外壁转动连接有防护门20，防护门20对使用者进行保护，同时方便进行维修，工作台1的外壁固定连接有两个支撑板17，支撑板17的外壁转动连接有两个辊轮，两个辊轮的外壁均套设有输送带18，输送带18的外壁均匀开设有多个贯穿孔，支撑板17的外壁固定连接有连接板，连接板的外壁固定连接有第二电机19，第二电机19间歇运转，使晶圆依次排列在输送带18上，第二电机19的一端与辊轮的外壁固定连接，竖轴5与丝杆12的外壁均固定套设有轴承，轴承的外圈与工作台1的外壁固定连接。
[0021]工作原理：将晶圆分为两组放置到放置箱15内的胶板16上，第一电机4运转使竖轴5转动，竖轴5转动使机架6转动，机架6转动使吸嘴7位于放置箱15的顶部，同时第一电机4运转使第一链轮9转动，从而使链条10带动第二链轮11进行转动，第二链轮11转动使丝杆12转动，丝杆12转动使连接块13向上移动，进而使竖杆14带动胶板16向上移动，将晶圆顶上去，气泵8运转通过吸嘴7将晶圆吸起，第一电机4转动将晶圆位于输送带18的上方，气泵8运转将晶圆放到输送带18上，第二电机19转动使输送带18转动一定距离后，第二电机19停止运行，等待下一组晶圆，方便后续测试。
[0022]以上所述，仅为本实施例较佳的具体实施方式，但本实施例的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本实施例揭露的技术范围内，根据本实施例的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实施例的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动分片排列装置，包括工作台（1），其特征在于，所述工作台（1）的底部固定连接有三个支架（2），所述支架（2）的外壁固定连接有挡板（3），所述支架（2）的外壁固定连接有固定板，固定板的外壁固定连接有第一电机（4），所述第一电机（4）输出轴的顶部固定连接有竖轴（5），所述竖轴（5）的顶部固定连接有机架（6），所述机架（6）的外壁固定连接有四个吸嘴（7），所述机架（6）的外壁固定连接有两个气泵（8），两个气泵（8）的输入端均固定连接有软管，软管的一端分别与四个吸嘴（7）固定互通，所述第一电机（4）输出轴的外壁固定套设有第一链轮（9），所述第一链轮（9）的外壁啮合连接有链条（10），所述链条（10）的外壁啮合连接有第二链轮（11），所述第二链轮（11）的外壁固定连接有丝杆（12），所述丝杆（12）的顶部与工作台（1）的外壁转动连接，所述丝杆（12）的外壁螺纹连接有连接块（13），所述连接块（13）的外壁固定连接两个竖杆（14），所述工作台（1）的顶部设有送料机构。2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动分片排列装置，其特征在于，所述送料机构包括放置箱（15），所述工作台（1）的顶部与放置箱（15）的外壁固定连接，所述竖杆（...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭城，吕明，李充，王永超，弭帅，潘炜，
申请(专利权)人：山东科芯电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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