一种晶片生产用防污染的高效清洗设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶片生产用防污染的高效清洗设备，包括清洗箱、刷洗机构、晶片固定机构与多角度冲洗机构，所述清洗箱具有箱门，清洗箱内侧设有腔体，清洗箱底侧设有与腔内连通的排水口；所述刷洗机构与多角度冲洗机构均装设于清洗箱腔内侧，多角度冲洗机构包括外框、内齿板、冲洗组件、驱动组件与水箱，外框设有两组且其通过安装块固定在清洗箱两侧，外框截面呈半环状且其内侧设有环形滑槽；所述内齿板设于外框前侧且其呈与外框配合的半环状，内齿板外侧端设有齿块，内齿板通过滑块与环形滑槽滑接。本实用新型专利技术能同步进行清洗、刷洗，能使晶片的清洗更加高效，且避免了清洗、冲洗、刷洗过程中产生的污染。洗过程中产生的污染。洗过程中产生的污染。

【技术实现步骤摘要】
一种晶片生产用防污染的高效清洗设备


[0001]本技术涉及一种晶片生产清洗设备，尤其涉及一种晶片生产用防污染的高效清洗设备。

技术介绍

[0002]目前，晶片在生产加工过程都需要对晶片进行表面清洗。但是现有各生产厂商依然采用传统的人工手动方式进行清洗，包括清洗和烘干工序，需要反复搬运，效率极低，劳动量大，作业难度系数大，产品品质难以保证，而且人工成本高，使晶片市场竞争力较弱。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种晶片生产用防污染的高效清洗设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]本技术提供一种晶片生产用防污染的高效清洗设备，包括清洗箱、刷洗机构、晶片固定机构与多角度冲洗机构，所述清洗箱具有箱门，清洗箱内侧设有腔体，清洗箱底侧设有与腔内连通的排水口；所述刷洗机构与多角度冲洗机构均装设于清洗箱腔内侧，多角度冲洗机构包括外框、内齿板、冲洗组件、驱动组件与水箱，外框设有两组且其通过安装块固定在清洗箱两侧，外框截面呈半环状且其内侧设有环形滑槽；所述内齿板设于外框前侧且其呈与外框配合的半环状，内齿板外侧端设有齿块，内齿板通过滑块与环形滑槽滑接；所述冲洗组件装设于内齿板上，冲洗组件包括冲洗喷头与软管，冲洗喷头设有多个且其固定在内齿板远离齿块的内壁。
[0006]优选的，水箱固定在清洗箱外侧，多个所述冲洗喷头通过软管连接水箱。
[0007]优选的，驱动组件包括电机、第一齿轮、第二齿轮以及皮带，电机固定在外框上，电机轴端连接有第一齿轮。
[0008]优选的，第一齿轮、第二齿轮分布于两组外框上，第一齿轮、第二齿轮均与内齿板上的齿块啮合。第一齿轮、第二齿轮轴端分别连接有带轮A、带轮B，带轮A、带轮B之间通过第一皮带联动。
[0009]优选的，晶片固定机构包括气缸、晶片固定座，气缸设有两组且分别固定在清洗箱顶壁、底壁。气缸轴端连接晶片固定座，且晶片固定座用于固定晶片。
[0010]优选的，刷洗机构包括安装臂板、刷杆与带轮C，安装臂板横向固定在清洗箱内侧，安装臂板上通过轴杆连接有带轮C，且带轮C通过第二皮带联动带轮A。
[0011]优选的，所述刷杆设于安装臂板靠近晶片固定座的内侧，刷杆轴端与带轮C传动连接。
[0012]与现有技术相比，本技术的技术方案具有以下有益效果：
[0013]本技术的晶片是通过晶片固定机构进行固定的，待晶片固定后，通过运行多角度冲洗机构、刷洗机构进行清洗过程，其中多角度冲洗机构、刷洗机构之间是通过传动带
的方式进行联动，能同步进行清洗、刷洗。能使晶片的清洗更加高效，且避免了清洗、冲洗、刷洗过程中产生的污染。
附图说明
[0014]构成本申请的一部分附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0015]图1是本技术实施例中刷洗机构与多角度冲洗机构的结构示意图；
[0016]图2是本技术的整体结构示意图。
[0017]图例说明：
[0018]1、清洗箱；2、外框；3、内齿板；4、水箱；5、冲洗喷头；6、软管；7、第一齿轮；8、第二齿轮；9、第一皮带；10、带轮A；11、带轮B；12、气缸；13、晶片固定座；14、安装臂板；15、刷杆；16、带轮C。
具体实施方式
[0019]本技术提供一种晶片生产用防污染的高效清洗设备，为使本技术的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实例对本技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0020]需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序，应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换。此外，术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列单元的系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些产品或设备固有的其它单元。
[0021]请参阅图1
‑
2，本实施例提供一种晶片生产用防污染的高效清洗设备，清洗箱1、刷洗机构、晶片固定机构与多角度冲洗机构，所述清洗箱1具有箱门，清洗箱1内侧设有腔体，清洗箱1底侧设有与腔内连通的排水口；所述刷洗机构与多角度冲洗机构均装设于清洗箱1腔内侧，多角度冲洗机构包括外框2、内齿板3、冲洗组件、驱动组件与水箱4，外框2设有两组且其通过安装块固定在清洗箱1两侧，外框2截面呈半环状且其内侧设有环形滑槽；所述内齿板3设于外框2前侧且其呈与外框2配合的半环状，内齿板3外侧端设有齿块，内齿板3通过滑块与环形滑槽滑接；所述冲洗组件装设于内齿板3上，冲洗组件包括冲洗喷头5与软管6，冲洗喷头5设有多个且其固定在内齿板3远离齿块的内壁。
[0022]在本实施例中，水箱4固定在清洗箱1外侧，多个所述冲洗喷头5通过软管6连接水箱4。
[0023]在本实施例中，驱动组件包括电机、第一齿轮7、第二齿轮8以及第一皮带9，电机固定在外框2上，电机轴端连接有第一齿轮7。
[0024]在本实施例中，第一齿轮7、第二齿轮8分布于两组外框2上，第一齿轮7、第二齿轮8均与内齿板3上的齿块啮合。
[0025]在本实施例中，第一齿轮7、第二齿轮8轴端分别连接有带轮A10、带轮B11，带轮A10、带轮B11之间通过第一皮带9联动。
[0026]在本实施例中，晶片固定机构包括气缸12、晶片固定座13，气缸12设有两组且分别固定在清洗箱1顶壁、底壁。
[0027]在本实施例中，所述气缸12轴端连接晶片固定座13，且晶片固定座13用于固定晶片。
[0028]在本实施例中，刷洗机构包括安装臂板14、刷杆15与带轮C16，安装臂板14横向固定在清洗箱1内侧，安装臂板14上通过轴杆连接有带轮C16，且带轮C16通过第二皮带联动带轮A10。
[0029]在本实施例中，刷杆15设于安装臂板14靠近晶片固定座13的内侧，刷杆15轴端与带轮C16传动连接。
[0030]在本实施例中，晶片是通过晶片固定机构进行固定的，待晶片固定后，通过运行多角度冲洗机构、刷洗机构进行清洗过程，其中多角度冲洗机构、刷洗机构之间是通过传动带的方式进行联动；具体清洗过程包括：通过启动电机，使电机带动第一齿轮7运转，由于带轮A10、带轮B11之间通过第一皮带9联动，因此第一齿轮7会联动第二齿轮8运转，第一齿轮7、第二齿轮8会与内齿板3上的齿块啮合，从而使内齿板3沿滑槽移动，由于内齿板3的内侧壁装有冲洗喷头5，因此冲洗喷头5能随着内齿板3的移动对晶片进行多角度冲洗；由于带轮C16通过第二皮带联动带轮A10，因此在带轮A10运转时，带轮C16会带动刷杆15同步进行刷洗工作，从而使得晶片的清洗更本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶片生产用防污染的高效清洗设备，其特征在于，包括清洗箱(1)、刷洗机构、晶片固定机构与多角度冲洗机构，所述清洗箱(1)具有箱门，清洗箱(1)内侧设有腔体，清洗箱(1)底侧设有与腔内连通的排水口；所述刷洗机构与多角度冲洗机构均装设于清洗箱(1)腔内侧，多角度冲洗机构包括外框(2)、内齿板(3)、冲洗组件、驱动组件与水箱(4)，外框(2)设有两组且其通过安装块固定在清洗箱(1)两侧，外框(2)截面呈半环状且其内侧设有环形滑槽；所述内齿板(3)设于外框(2)前侧且其呈与外框(2)配合的半环状，内齿板(3)外侧端设有齿块，内齿板(3)通过滑块与环形滑槽滑接；所述冲洗组件装设于内齿板(3)上，冲洗组件包括冲洗喷头(5)与软管(6)，冲洗喷头(5)设有多个且其固定在内齿板(3)远离齿块的内壁。2.根据权利要求1所述的一种晶片生产用防污染的高效清洗设备，其特征在于，所述水箱(4)固定在清洗箱(1)外侧，多个所述冲洗喷头(5)通过软管(6)连接水箱(4)。3.根据权利要求1所述的一种晶片生产用防污染的高效清洗设备，其特征在于，所述驱动组件包括电机、第一齿轮(7)、第二齿轮(8)以及第一皮带(9)，电机固定在外框(2)上，电机轴端连接有第一齿轮(7)。4.根据权利要求3所述的一种晶片生产用防污染的高效清洗设备，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：山世清，
申请(专利权)人：上海晶福机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：