一种电子束辐照束流的探测系统及其使用方法技术方案

技术编号:34378850 阅读:18 留言:0更新日期:2022-08-03 20:51
本发明专利技术属于电子束辐照技术领域,尤其是一种电子束辐照束流的探测系统及其使用方法,针对电子束在传播或穿过薄膜时需要随时监测电子剂量的问题,现提出以下方案,一种电子束辐照束流的探测系统,包括电子发射模块、探测模块、采集模块和数据处理模块,电子发射模块包括电子束源和多个电子,探测模块包括磁路和线圈。本发明专利技术中,电子束源发射电子到空气中,当电子穿过探测模块时被探测到,继而信号被采集模块采集到,采集模块将信号传输到数据处理模块进行数据处理,从而得到电子束流强,继而获得电子的剂量,能够给整个系统提供很好的反馈条件。件。件。

【技术实现步骤摘要】
一种电子束辐照束流的探测系统及其使用方法


[0001]本专利技术涉及电子束辐照
,尤其涉及一种电子束辐照束流的探测系统及其使用方法。

技术介绍

[0002]由于电子与物质相互作用的特性,电子束越来越广泛的应用在工业辐照、科研和消毒灭菌等领域。电子束的获得一般是通过加热灯丝,在灯丝周围形成电子云,然后使用电场加速的方式将电子拉出从而形成电子束。电子与物质相互作用比较强,电子在空气中的自由程比较短,因此上述电子束产生的整个过程需要在高真空中进行。对于一般的应用,电子束需要穿过一层薄膜窗到达真空外部才能进行应用。电子束穿过窗口从真空到达空气,在空气中传输一段距离最终到达需要应用的物体表面。
[0003]在电子穿过薄膜的过程中会发生散射等,方向会改变,有些就不会打到样品上,同样在空气中传播,电子束也会发声散射,而在利用电子辐照的过程中,需要随时监测电子剂量,这样才能给整个系统提供一个很好的反馈条件。为了解决这个问题,本专利技术设计了一种探测电子束分布的方法。

技术实现思路

[0004]基于电子束在传播或穿过薄膜时需要随时监测电子剂量的技术问题,本专利技术提出了一种电子束辐照束流的探测系统及其使用方法。
[0005]本专利技术提出的一种电子束辐照束流的探测系统,包括电子发射模块、探测模块、采集模块和数据处理模块,所述电子发射模块包括电子束源和多个电子,所述探测模块包括磁路和线圈。
[0006]优选地,所述探测模块设置有多个,且多个探测模块组成有电流互感器群组。
[0007]优选地,所述电子束源喷射出的电子分布的区域有第一电子区域、第二电子区域、第三电子区域、第四电子区域、第五电子区域、第六电子区域、第七电子区域、第八电子区域、第九电子区域,且每个电子区域均被电流互感器群组检测。
[0008]优选地,所述第一电子区域、第二电子区域、第三电子区域、第四电子区域、第五电子区域、第六电子区域、第七电子区域、第八电子区域、第九电子区域之间呈矩阵分布。
[0009]优选地,所述数据处理模块与电子束源之间设置有电子束源控制模块,且电子束源控制模块与电子束源之间设置有传输通道。
[0010]一种电子束辐照束流的探测系统的使用方法,具体包括以下步骤:
[0011]S1:电子束源发射电子到空气中,当电子穿过探测模块时被探测到,整个探测模块是一个电流互感器,互感器由磁路和线圈组成,当电子穿过互感器时,在线圈上有感应电流,信号被采集模块采集到,采集模块再将信号传输到数据处理模块进行数据处理,从而得到电子束流强,继而获得电子的剂量。
[0012]S2:在探测模块探测电子时,设置的电流互感器群组通过系统的控制和统计,可以
得出第一电子区域、第二电子区域、第三电子区域、第四电子区域、第五电子区域、第六电子区域、第七电子区域、第八电子区域、第九电子区域中每个区域的电子束流强,并且通过分析可以得出束流密度分布,从而得到电子剂量分布。
[0013]S3:在数据处理模块对信号进行采集和分析后,将信息反馈给给电子束源控制模块,电子束源控制模块再控制电子束源发射电子的效率,从而改变电子束辐照时间,动态响应样品传输速度和辐照需求。
[0014]S4:在使用电流互感器群组控制电路时,可以加入自动校准程序,当电子束关闭的时候进行自动校准,使电子束准确的打到样品上。
[0015]与现有技术相比,本专利技术提供了一种电子束辐照束流的探测系统及其使用方法,具备以下有益效果:
[0016]1、该电子束辐照束流的探测系统,电子束源发射电子到空气中,当电子穿过探测模块时被探测到,继而信号被采集模块采集到,采集模块将信号传输到数据处理模块进行数据处理,从而得到电子束流强,继而获得电子的剂量,能够给整个系统提供很好的反馈条件。
[0017]2、该电子束辐照束流的探测系统,包含多个电流互感器的电流互感器群组,通过系统的控制,统计和分析,可以得出每个电子区域的电子束流强,进一步可以得出束流密度分布,从而得到剂量分布。
[0018]3、该电子束辐照束流的探测系统,数据采集模块在对信息采集和分析后,直接给电子束源控制模块反馈,从而改变电子束辐照时间,动态响应样品传输速度和辐照需求。
[0019]4、该电子束辐照束流的探测系统,在使用互感器控制电路中可以加入自动校准程序,当电子束关闭的时候进行自动校准,使电子束能够准确的打到样品上。
附图说明
[0020]图1为本专利技术提出的一种电子束辐照束流的探测系统及其使用方法的系统示意图;
[0021]图2为本专利技术提出的一种电子束辐照束流的探测系统及其使用方法的电子发射与分析示意图;
[0022]图3为本专利技术提出的一种电子束辐照束流的探测系统及其使用方法的电子采集与处理示意图;
[0023]图4为本专利技术提出的一种电子束辐照束流的探测系统及其使用方法的实施例2电流互感器群组示意图;
[0024]图5为本专利技术提出的一种电子束辐照束流的探测系统及其使用方法的实施例3电子束源控制模块示意图。
[0025]图中:1、电子束源;2、电子;3、探测模块;4、数据处理模块;5、磁路;7、线圈;8、采集模块;9、电流互感器群组;10、第一电子区域;11、第二电子区域;12、第三电子区域;13、第四电子区域;14、第五电子区域;15、第六电子区域;16、第七电子区域;17、第八电子区域;18、第九电子区域;19、电子束源控制模块;20、传输通道。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0027]在本专利技术的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0028]实施例1
[0029]参照图1

3,一种电子束辐照束流的探测系统,包括电子发射模块、探测模块3、采集模块8和数据处理模块4,电子发射模块包括电子束源1和多个电子2,探测模块包括磁路5和线圈7。
[0030]一种电子束辐照束流的探测系统的使用方法,具体包括以下步骤:
[0031]S1:电子束源1发射电子2到空气中,当电子2穿过探测系统3时被探测到,整个探测系统3是一个电流互感器,互感器由磁路5和线圈7组成,当电子2穿过互感器时,在线圈7上有感应电流,信号被采集模块8采集到,将信号传输到数据处理模块4进行数据处理,从而得到电子束流强,继而获得电子的剂量。
[0032]实施例2
[0033]参照图4,一种电子束辐照束流的探测系统,还包括探测模块3设置有多个,且多个探测模块3组成有电流互感器群组9,本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子束辐照束流的探测系统,其特征在于,包括电子发射模块、探测模块(3)、采集模块(8)和数据处理模块(4),所述电子发射模块包括电子束源(1)和多个电子(2),所述探测模块包括磁路(5)和线圈(7)。2.根据权利要求1所述的一种电子束辐照束流的探测系统,其特征在于,所述探测模块(3)设置有多个,且多个探测模块(3)组成有电流互感器群组(9)。3.根据权利要求2所述的一种电子束辐照束流的探测系统,其特征在于,所述电子束源(1)喷射出的电子(2)分布的区域有第一电子区域(10)、第二电子区域(11)、第三电子区域(12)、第四电子区域(13)、第五电子区域(14)、第六电子区域(15)、第七电子区域(16)、第八电子区域(17)、第九电子区域(18),且每个电子区域均被电流互感器(9)群组检测。4.根据权利要求3所述的一种电子束辐照束流的探测系统,其特征在于,所述第一电子区域(10)、第二电子区域(11)、第三电子区域(12)、第四电子区域(13)、第五电子区域(14)、第六电子区域(15)、第七电子区域(16)、第八电子区域(17)、第九电子区域(18)之间呈矩阵分布。5.根据权利要求1所述的一种电子束辐照束流的探测系统,其特征在于,所述数据处理模块(4)与电子束源(1)之间设置有电子束源控制模块(19),且电子束源控制模块(19)与电子束源(1)之间...

【专利技术属性】
技术研发人员:谷胜栋唐志宏
申请(专利权)人:湖州超群电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1