一种一体化加工设备制造技术

本申请提供一种一体化加工设备，包括基台、旋转装置和导流装置。旋转装置包括倾角调节单元和转动单元，倾角调节单元设于基台上，转动单元与倾角调节单元连接，转动单元用于承载工件并能带动工件绕第一轴线转动；倾角调节单元用于驱动转动单元绕与第一轴线具有夹角的第二轴线转动。导流装置包括架体、储液件和导流件，架体与倾角调节单元连接，储液件以及导流件均与架体连接，储液件用于输送液体至导流件，液体能通过导流件流动至定位于转动单元上的工件上。能够按需调整工件相对于水平面的倾角，从而调整流体到达工件表面的距离，减小冲击力；也能够调整流体在工件表面流动的速率，从而便于控制加工质量，提高成品良率。提高成品良率。提高成品良率。

An integrated processing equipment

【技术实现步骤摘要】
一种一体化加工设备


[0001]本专利技术涉及加工
，具体而言，涉及一种一体化加工设备。

技术介绍

[0002]显影工艺是光刻工艺中的中间工序,其目的是去除晶圆上部分光刻胶,形成三维的物理图形,从而将掩膜版上的电路结构准确地复制到硅片的光刻胶层上。显影过程中,流体与曝光区域的光刻胶会发生酸碱中和反应,显影后要通过去离子水清除反应中的残留物。显影的重点是保证特征尺寸(集成电路制造中半导体器件的最小线条宽度)达到要求,特征尺寸达到了要求,则认为加工中产生的所有几何特征都是符合要求的。传统的显影工艺有三种:浸没式显影、连续喷雾显影和旋转浸没式显影。现有的连续喷雾显影是将流体以雾状形式喷洒到晶圆上,同时晶圆以100r/min～500r/min的速度旋转。
[0003]经专利技术人研究发现，现有的显影设备存在如下缺点：
[0004]适用范围窄，成本高。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种一体化加工设备，其能够满足不同尺寸的工件的加工，适应能力强，适用范围广，成本低。
[0006]本专利技术的实施例是这样实现的：
[0007]本专利技术提供一种一体化加工设备，包括：
[0008]基台；
[0009]旋转装置，所述旋转装置包括倾角调节单元和转动单元，所述倾角调节单元设于所述基台上，所述转动单元与所述倾角调节单元连接，所述转动单元用于承载工件并能带动所述工件绕第一轴线转动；所述倾角调节单元用于驱动所述转动单元绕与所述第一轴线具有夹角的第二轴线转动；
[0010]以及导流装置，所述导流装置包括架体、储液件和导流件，所述架体与所述倾角调节单元连接，所述储液件以及所述导流件均与所述架体连接，所述储液件用于输送液体至所述导流件，所述液体能通过所述导流件流动至定位于所述转动单元上的工件上。
[0011]在可选的实施方式中，所述倾角调节单元包括第一驱动器和安装台，所述第一驱动器与所述基台连接，所述安装台与所述第一驱动器连接，所述第一驱动器用于驱动所述安装台绕所述第一轴线转动；
[0012]所述转动单元以及所述架体均与所述安装台连接。
[0013]在可选的实施方式中，所述安装台设有集液槽以及与所述集液槽连通的排液口；所述基台设置有集液腔，所述排液口与所述集液腔连通；所述转动单元设于所述集液槽中；所述集液槽用于收集从所述工件上落下的液体，并能从所述排液口进入所述集液腔内。
[0014]在可选的实施方式中，所述转动单元包括第二驱动器、转动盘和定位组件，所述第二驱动器与所述安装台连接，所述转动盘与所述第二驱动器连接，所述第二驱动器用于驱
动所述转动盘绕所述第二轴线转动；所述定位组件与所述转动盘连接，所述定位组件用于定位于位于所述转动盘上的工件。
[0015]在可选的实施方式中，所述定位组件包括多个夹持块，所述多个夹持块均与所述转动盘连接，所述多个夹持块共同限定出用于夹持工件的夹持区域，所述多个夹持块中的至少一个能相对于所述转动盘移动，以调节所述夹持区域的大小。
[0016]在可选的实施方式中，所述导流件设置有出液侧，所述导流件与所述架体活动连接，用于调节所述出液侧与所述架体的距离，从而调节所述出液侧与定位于所述转动单元上的工件的距离。
[0017]在可选的实施方式中，所述导流件与所述架体在所述第二轴线的延伸方向上可滑动地连接，以调节所述出液侧与所述架体的距离。
[0018]在可选的实施方式中，所述导流装置还包括锁紧单元，所述锁紧单元同时连接于所述导流件和所述架体，所述锁紧单元具有相互切换的锁定状态和解锁状态，处于所述锁定状态时，所述导流件与所述架体在所述第二轴线的延伸方向上相对固定；处于所述解锁状态时，所述导流件能相对于所述架体在所述第二轴线的延伸方向上滑动。
[0019]在可选的实施方式中，所述储液件与所述架体在所述第二轴线的延伸方向上可滑动地连接，以调节所述储液件相对于所述导流件的距离。
[0020]在可选的实施方式中，所述储液件设置有相互独立的第一腔室和第二腔室，所述第一腔室具有第一出口，所述第一腔室用于储存流体；所述第二腔室具有第二出口，所述第二腔室用于储存清洗液。
[0021]本专利技术实施例的有益效果是：
[0022]综上所述，本实施例提供的一体化加工设备，能够应用于显影场景，具体的，在对工件进行显影作业时，将工件定位于转动单元上，然后，根据工件的厚度尺寸通过倾角调节单元相应调节工件相对于水平面的倾角，也即，调整了工件相对于导流件的倾角，从导流件上流向工件表面的流体对于工件表面的冲击力小，不易损伤工件表面，显影质量高。由于根据工件厚度尺寸的不同，能够按需调整工件与导流件之间的角度，如此，能够适应不同尺寸工件的显影作业，且能保证显影质量，适用范围广，不需要针对不同尺寸工件设计专门的显影设备，降低成本。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0024]图1为本专利技术实施例的一体化加工设备的一视角结构示意图；
[0025]图2为本专利技术实施例的一体化加工设备的另一视角的结构示意图；
[0026]图3为本专利技术实施例的一体化加工设备的部分结构示意图；
[0027]图4为本专利技术实施例的转动盘和定位组件的结构示意图；
[0028]图5为本专利技术实施例的架体和锁紧单元的结构示意图；
[0029]图6为本专利技术实施例的锁紧单元的结构示意图；
[0030]图7为本专利技术实施例的导流件的结构示意图；
[0031]图8为本专利技术实施例的储液件的结构示意图。
[0032]图标:
[0033]001
‑
第一轴线；002
‑
第二轴线；100
‑
基台；110
‑
集液腔；120
‑
水泵；130
‑
安装块；200
‑
旋转装置；210
‑
倾角调节单元；211
‑
第一驱动器；212
‑
安装台；2121
‑
基体；2122
‑
板体；2123
‑
集液槽；2124
‑
排液口；220
‑
转动单元；221
‑
第二驱动器；222
‑
转动盘；223
‑
定位组件；300
‑
导流装置；310
‑
架体；311
‑
固定板；312
‑
固定杆；313
‑
调节杆；320
‑
储液件；321
‑
第一出口；3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种一体化加工设备，其特征在于，包括：基台；旋转装置，所述旋转装置包括倾角调节单元和转动单元，所述倾角调节单元设于所述基台上，所述转动单元与所述倾角调节单元连接，所述转动单元用于承载工件并能带动所述工件绕第一轴线转动；所述倾角调节单元用于驱动所述转动单元绕与所述第一轴线具有夹角的第二轴线转动；以及导流装置，所述导流装置包括架体、储液件和导流件，所述架体与所述倾角调节单元连接，所述储液件以及所述导流件均与所述架体连接，所述储液件用于输送液体至所述导流件，所述液体能通过所述导流件流动至定位于所述转动单元上的工件上。2.根据权利要求1所述的一体化加工设备，其特征在于：所述倾角调节单元包括第一驱动器和安装台，所述第一驱动器与所述基台连接，所述安装台与所述第一驱动器连接，所述第一驱动器用于驱动所述安装台绕所述第一轴线转动；所述转动单元以及所述架体均与所述安装台连接。3.根据权利要求2所述的一体化加工设备，其特征在于：所述安装台设有集液槽以及与所述集液槽连通的排液口；所述基台设置有集液腔，所述排液口与所述集液腔连通；所述转动单元设于所述集液槽中；所述集液槽用于收集从所述工件上落下的液体，并能从所述排液口进入所述集液腔内。4.根据权利要求2所述的一体化加工设备，其特征在于：所述转动单元包括第二驱动器、转动盘和定位组件，所述第二驱动器与所述安装台连接，所述转动盘与所述第二驱动器连接，所述第二驱动器用于驱动所述转动盘绕所述第二轴线转动；所述定位组件与所述转动盘连接，所述定位组件用于定位于位于所述转动盘上的工件。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：史继英，刘博瑞，管文萌，
申请(专利权)人：成都博腾实达智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：