工业用机器人制造技术

一种工业用机器人，其输送半导体晶圆等输送对象物，通过安装于手的基端部的检测机构，可以检测配置于远离工业用机器人的位置的输送对象物，还可以防止检测机构在工业用机器人进行规定动作时成为工业用机器人的动作的障碍。该工业用机器人具备：在前端侧装载输送对象物(2)的手(3)、用于检测输送对象物(2)的检测机构(10)以及使检测机构(10)转动的转动机构(11)。检测机构(10)具备发光部(21)和受光部(22)，并且可转动地安装于手(3)的基端部。转动机构(11)使检测机构(10)在发光部(21)及受光部(22)远离手(3)的检测位置(10A)和发光部(21)及受光部(22)接近手(3)的避让位置之间转动。动。动。

Industrial robots

【技术实现步骤摘要】
工业用机器人


[0001]本专利技术涉及一种输送半导体晶圆等输送对象物的工业用机器人。

技术介绍

[0002]以往，已知一种自动输送半导体晶圆的无人输送车(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的无人输送车具备转载半导体晶圆的转载装置和收纳半导体晶圆的缓冲盒。在缓冲盒中形成有载置半导体晶圆的端部的多层架，能够在上下方向上以固定间距收纳多个半导体晶圆。转载装置具备由手(转载手)、第一臂和第二臂构成的转载臂。从上下方向观察时的手的形状为细长的长方形。
[0003]在专利文献1所记载的转载装置中，在手的前端部形成有用于吸附并抓握半导体晶圆的吸附孔。吸附孔形成于从上下方向观察时的形状为细长的长方形的手的长边方向的一端部。在手的与前端部相反侧的部分的基端部(即，手的长边方向的另一端部)安装有映射传感器。映射传感器具备光电传感器。光电传感器从手的基端朝向手的长边方向的另一侧突出。在专利文献1所记载的转载装置中，通过以使映射传感器接近缓冲盒的状态使手下降，通过光电传感器检测缓冲盒的每个架上有无半导体晶圆。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2002－313876号公报

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的技术问题
[0008]在专利文献1所记载的转载装置中，由于映射传感器安装在手的基端部，所以与映射传感器安装在手的前端部的情况相比，可以使手的前端侧部分薄型化。因此，在该转载装置中，即使收纳于缓冲盒的半导体晶圆的上下方向上的间距变窄，也能够将手的前端侧部分插入缓冲盒中，并将半导体晶圆装载到手的前端侧部分。
[0009]另一方面，在专利文献1所记载的转载装置中，由于构成映射传感器的一部分的光电传感器从手的基端朝向手的长边方向的另一侧突出，例如，如果转载装置的一部分的结构配置于手的周围，则光电传感器在转载装置进行规定动作时干扰该结构，存在给转载装置的规定动作带来障碍的风险。为了防止光电传感器在转载装置进行规定动作时成为障碍，只要减少光电传感器从手的基端的突出量即可。但是，如果减少光电传感器从手的基端的突出量，则难以用映射传感器检测配置于远离转载装置的位置的半导体晶圆。
[0010]于是，本专利技术的课题在于，提供一种输送半导体晶圆等输送对象物的工业用机器人，通过安装于手的基端部的检测机构，能够检测配置于远离工业用机器人的位置的输送对象物，还能够防止检测机构在工业用机器人进行规定动作时成为工业用机器人的动作的障碍。
[0011]解决技术问题所采用的技术方案
[0012]为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种工业用机器人，其特征在于，具备在前端侧装载输送对象物的手、用于检测输送对象物的检测机构以及使检测机构转动的转动机构，检测机构具备发光部和接收从发光部射出的光的受光部，并且可转动地安装于手的基端部，转动机构使检测机构在发光部及受光部远离手的检测位置和发光部及受光部接近手的避让位置之间转动。
[0013]在本专利技术的工业用机器人中，转动机构使检测机构在发光部及受光部远离手的检测位置和发光部及受光部接近手的避让位置之间转动。因此，在本专利技术中，通过配置于检测位置的检测机构的发光部和受光部，能够检测配置于远离工业用机器人的位置的输送对象物。另外，在本专利技术中，当工业用机器人进行规定动作时，通过将检测机构配置于发光部及受光部接近手的避让位置，可以防止检测机构在工业用机器人进行规定动作时成为工业用机器人的动作的障碍。即，在本专利技术中，可以由安装于手的基端部的检测机构检测配置于远离工业用机器人的位置的输送对象物，还可以防止检测机构在工业用机器人进行规定动作时成为工业用机器人的动作的障碍。
[0014]在本专利技术中，理想的是，发光部和受光部以在水平方向上隔开间隔的状态配置，发光部的光轴与水平方向平行，转动机构使检测机构以与发光部的光轴平行的方向为转动的轴方向在检测位置和避让位置之间转动。据此，可以进一步减少配置于避让位置的检测机构的、在从手的前端朝向基端的方向上自手的突出量。因此，可以可靠地防止检测机构成为工业用机器人的动作的障碍。
[0015]在本专利技术中，例如，转动机构使检测机构在检测位置和避让位置之间转动90
°
。在该情况下，可以将检测机构的转动范围设为必要的最小范围。另外，在该情况下，例如，检测机构具备保持发光部及受光部的平板状的保持部件，当检测机构配置于检测位置时，保持部件的厚度方向和上下方向一致，当检测机构配置于避让位置时，保持部件的厚度方向和水平方向一致。
[0016]在本专利技术中，理想的是，检测机构具备保持部件和信号处理部，该保持部件保持发光部及受光部，该信号处理部具有安装有对受光部的输出信号进行处理的信号处理电路的电路基板，转动机构具备固定于保持部件的转动轴和固定于手的基端部且使转动轴转动的驱动源，信号处理部安装在保持部件上。一般来说，作为从信号处理部朝向手引出的配线，由于可以使用比连接受光部和信号处理部的配线粗的配线，据此，可以沿着转动轴穿绕比连接受光部和信号处理部的配线粗的配线。因此，即使沿着转动轴穿绕的配线伴随转动轴的转动而反复变形，也能够防止该配线断线。
[0017]专利技术效果
[0018]如上所述，在本专利技术中，在输送半导体晶圆等输送对象物的工业用机器人中，通过安装在手的基端部的检测机构可以检测配置于远离工业用机器人的位置的输送对象物，还可以防止检测机构在工业用机器人进行规定动作时成为工业用机器人的动作的障碍。
附图说明
[0019]图1是本专利技术的实施方式的工业用机器人的局部立体图。
[0020]图2是图1所示的手等的俯视图。
[0021]图3是图2所示的检测机构及转动机构的立体图。
[0022]图4是用于说明图2所示的检测机构的动作的侧视图。
[0023]附图标记说明
[0024]1…
机器人(工业用机器人)；2
…
晶圆(半导体晶圆、输送对象物)；3
…
手；10
…
检测机构；10A
…
检测位置；10B
…
避让位置；11
…
转动机构；21
…
发光部；22
…
受光部；23
…
保持部件；24
…
电路基板；25
…
信号处理部；28
…
转动轴；29
…
气缸(驱动源)；L
…
发光部的光轴。
具体实施方式
[0025]下面，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。
[0026](工业用机器人的概略结构)
[0027]图1是本专利技术的实施方式的工业用机器人1的局部的立体图。图2是图1所示的手3等的俯视图。
[0028]本方式的工业用机器人1(以下，设为“机器人1”。)是用于输送作为输送对象物的半导体晶圆2(以下，设为“晶圆2”。)的机器人。晶圆2形成为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工业用机器人，其特征在于，具备：在前端侧装载输送对象物的手、用于检测所述输送对象物的检测机构以及使所述检测机构转动的转动机构，所述检测机构具备发光部和接收从所述发光部射出的光的受光部，并且可转动地安装于所述手的基端部，所述转动机构使所述检测机构在所述发光部及所述受光部远离所述手的检测位置和所述发光部及所述受光部接近所述手的避让位置之间转动。2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，所述发光部和所述受光部以在水平方向上隔开间隔的状态配置，所述发光部的光轴与水平方向平行，所述转动机构使所述检测机构以与所述发光部的光轴平行的方向为转动的轴方向在所述检测位置和所述避让位置之间转动。3.根据权利要求2所述的工业用机器人，其特征在于，所述转动机构使所述检测机构在所述检...

【专利技术属性】
技术研发人员：白木隆裕，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：