本申请提供一种极紫外光源、辐射源及其装置，极紫外光源包括模块容器及洗涤系统。洗涤系统在模块容器中可以包括多个槽。多个槽可以包括第一槽及第二槽。模块容器中第二槽可能低于第一槽。第二槽的单位体积大于第一槽的单位体积。体积。体积。
Extreme ultraviolet light source, radiation source and device
【技术实现步骤摘要】
极紫外光源、辐射源及其装置
[0001]本揭露涉及极紫外光源、辐射源及其装置。
技术介绍
[0002]辐射源，诸如极紫外(extreme ultraviolet；EUV)源，可使用激光激励粒子(诸如锡Sn)粒子以产生光(例如，EUV光)。在操作中，激光激励粒子以产生发出在期望辐射波长范围中的光的电浆(例如，锡基电浆)。辐射源的模块容器可包括一洗涤系统，此洗涤系统包括一组叶片及泵。在操作中，洗涤系统从模块容器泵送剩余蒸汽(例如，透过叶片，使用泵)。
技术实现思路
[0003]本揭露的一些实施方式提供一种极紫外光源，包括：模块容器以及洗涤系统。洗涤系统包括：多个槽在模块容器中，这些槽包括第一槽及第二槽。其中模块容器中第二槽低于第一槽，并且其中第二槽的单位体积大于第一槽的单位体积。
[0004]本揭露的一些实施方式提供一种辐射源，包括：模块容器以及洗涤系统。洗涤系统包括：第一槽，与从模块容器排放液体相关联；以及第二槽，与从模块容器排放液体相关联。其中第二槽连接至第一槽以允许第二槽接收液体收集在第一槽中的一部分，并且其中第二槽的尺寸防止第二槽由于液体收集在第一槽中的部分被第二槽接收而溢流。
[0005]本揭露的一些实施方式提供一种辐射源装置，包括：模块容器以及洗涤系统。洗涤系统包括：多个叶片层在模块容器内，这些叶片层包括第一叶片层及第二叶片层；以及多个槽，在模块容器中，这些槽包括第一槽及第二槽。其中第一槽用于经由第一叶片层收集液体，其中第二槽用于经由第二叶片层并从第一槽收集液体，并且其中第二槽的单位体积大于第一槽的单位体积。
附图说明
[0006]当结合附图阅读时，根据以下详细描述可更好地理解本揭示案的态样。应注意，根据工业标准实务，各种特征未按比例绘制。事实上，为论述清楚，各特征的尺寸可任意地增加或缩小。
[0007]图1为图示包括本文所述洗涤系统的示例辐射源的图；
[0008]图2A～图2E为本文所述洗涤系统的槽及叶片层的实施例的图；
[0009]图3A及图3B为图示本文所述洗涤系统的槽及叶片层的替代实施例的图；
[0010]图4为图示本文所述洗涤系统的透视图的图；
[0011]图5为图示本文所述洗涤系统的横截面视图的图；
[0012]图6为本文所述微影系统的实施例的图。
[0013]【符号说明】
[0014]100:辐射源
[0015]102:模块容器
[0016]104:收集器
[0017]106:中间焦点盖
[0018]108:洗涤系统
[0019]110a:槽
[0020]110b:槽
[0021]110c:槽
[0022]110d:槽
[0023]110e:槽
[0024]112b:叶片层
[0025]112c:叶片层
[0026]112d:叶片层
[0027]112e:叶片层
[0028]114:排放路径
[0029]150:激光光束
[0030]152:靶材
[0031]154:电浆
[0032]156:电浆发射
[0033]158:辐射
[0034]160:中间焦点
[0035]162:液体
[0036]402:排放路径
[0037]404a:排放孔
[0038]404b:排放孔
[0039]404c:排放孔
[0040]404d:排放孔
[0041]502:基本平坦的部分
[0042]504:边缘
[0043]506:线
[0044]508:内边缘
[0045]510:外边缘
[0046]600:微影系统
[0047]602:曝光工具
[0048]604:主光罩
[0049]606:半导体基板
[0050]608:头部
[0051]610:照明器
[0052]612:投影光学盒
[0053]614:基板台
[0054]616a:反射镜
[0055]616b:反射镜
[0056]618:反射镜
[0057]620a:反射镜
[0058]620b:反射镜
[0059]620c:反射镜
[0060]620d:反射镜
[0061]620e:反射镜
[0062]620f:反射镜
[0063]A:面积
[0064]A0:面积
[0065]A1:面积
[0066]A2:面积
[0067]A3:面积
[0068]D1:距离
[0069]H1:高度
[0070]L:长度
[0071]O1:偏移量
[0072]O2:偏移量
[0073]P1:周长
[0074]P2:周长
[0075]P3:周长
[0076]r:半径
[0077]r1:半径
[0078]r2:半径
[0079]r3:半径
[0080]V1:单位体积
[0081]V2:单位体积
[0082]V3:单位体积
[0083]W1:宽度
[0084]W2:宽度
[0085]W3:宽度
[0086]W4:宽度
[0087]W5:宽度
[0088]xL:侧壁长度
具体实施方式
[0089]以下揭示内容提供许多不同实施例或实例，以便实现所提供标的的不同特征。下文描述部件及排列的特定例子以简化本揭示。当然，这些仅为例子且不意欲为限制性。举例而言，在随后描述中第一特征在第二特征上方或在第二特征上的形成可包括第一及第二特
征形成为直接接触的实施例，以及亦可包括额外特征可形成在第一及第二特征之间，使得第一及第二特征可不直接接触的实施例。另外，本揭示案在各实例中可重复元件符号及/或字母。此重复为出于简单清楚的目的，且本身不指示所论述各实施例及/或配置之间的关系。
[0090]另外，空间相对术语，诸如“之下”、“下方”、“下部”、“上方”、“上部”及类似者，在此为便于描述可用于描述诸图中所图示一个元件或特征与另一(些)元件或(多个)特征的关系。除图形中描绘的取向外，空间相对术语意欲包含元件在使用或操作中的不同取向。设备可为不同取向(旋转90度或在其他的取向)及可因此同样地解释在此使用的空间相对描述词。
[0091]如上所述，辐射源(诸如EUV源)的模块容器可以包括一洗涤系统，此洗涤系统设计用于从模块容器泵出蒸汽。例如，泵可以透过洗涤系统吸入蒸汽并透过模块容器的排气口泵出蒸汽。在操作中，一些粒子冷凝在洗涤系统的叶片上以在叶片上形成液体。冷凝在叶片上的液体沿叶片排放并积聚在洗涤系统的槽中。随后液体从槽排放并透过辐射源的洗涤系统的排放路径排放。
[0092]有时，洗涤系统具有多个叶片(本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种极紫外光源，其特征在于，包括：一模块容器；以及一洗涤系统包括：多个槽，在该模块容器中，该些槽包括一第一槽及一第二槽，其中该模块容器中该第二槽低于该第一槽，并且其中该第二槽的一单位体积大于该第一槽的一单位体积。2.如权利要求1所述的极紫外光源，其特征在于，该洗涤系统包括：一排放路径，在该些槽之间延伸并从该些槽的一顶部槽延伸至该些槽的一底部槽；以及多个排放孔，连接该些槽之间的该排放路径，其中每个槽包括该些排放孔中的一相应排放孔，并且其中该些排放孔的尺寸从该顶部槽至该底部槽逐渐增大。3.如权利要求1所述的极紫外光源，其特征在于，该洗涤系统在该些槽之间包括多个叶片层；其中该些叶片层中的一叶片在该第一槽与该第二槽之间相对于该第二槽约居中；并且其中该叶片偏离该第一槽的一中心。4.一种辐射源，其特征在于，包括：一模块容器；以及一洗涤系统包括：一第一槽，与从该模块容器排放一液体相关联；以及一第二槽，与从该模块容器排放该液体相关联，其中该第二槽连接至该第一槽以允许该第二槽接收该液体收集在该第一槽中的一部分，并且其中该第二槽的一尺寸防止该第二槽由于该液体收集在该第一槽中的该部分被该第二槽接收而溢流。5.如权利要求4所述的辐射源，其特征在于，该第一槽的一单位体积小于该第二槽的一单位体积。6.如权利要求4所述的辐射源，其特征在于，该模块容器进一步包括与从该模块容器排放该液体相关联的一第三槽，其中该第三槽连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：张钧凯，江育昇，刘育德，杨基，黄清俊，郑博中，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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