一种等离子刻蚀机清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及刻蚀机技术领域，具体为一种等离子刻蚀机清洁装置，包括主体的清理装置，所述主体的表面设置有阀门，所述主体的侧面设置有连接管，所述主体的表面固定连接有显示屏，所述主体的表面设置有按钮，所述清理装置设置在主体的内壁，所述清理装置包括清理板和限制块，所述限制块与主体的上表面固定连接，所述主体的内壁设置有清理板，所述清理板的上表面固定连接滑块，所述滑块与主体的表面滑动连接，所述限制块的内壁开设有限制槽。本实用新型专利技术，通过设置清理装置，有效地对设备的内部进行清理，起到了清理主体内部的情况，提高了设备在使用时，主体内部容易吸附灰尘颗粒，造成设备难以使用的情况，提高了设备的整洁性。洁性。洁性。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子刻蚀机清洁装置


[0001]本技术涉及刻蚀机
，尤其涉及一种等离子刻蚀机清洁装置。

技术介绍

[0002]等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机等，等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面，随着社会的发展，等离子刻蚀机大量用于工业生产中，目前大多数等离子刻蚀机在使用时，主体内部容易吸附灰尘，造成设备损坏无法使用的情况，不利于设备的使用，对此需要进行改进。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在主体内部容易吸附灰尘，造成设备损坏无法使用的情况，不利于设备使用的缺点，而提出的一种等离子刻蚀机清洁装置。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种等离子刻蚀机清洁装置，包括主体的清理装置，所述主体的表面设置有阀门，所述主体的侧面设置有连接管，所述主体的表面固定连接有显示屏，所述主体的表面设置有按钮，所述清理装置设置在主体的内壁，所述清理装置包括清理板和限制块，所述限制块与主体的上表面固定连接，所述主体的内壁设置有清理板，所述清理板的上表面固定连接滑块，所述滑块与主体的表面滑动连接，所述限制块的内壁开设有限制槽，所述限制槽的内壁滑动连接有限制杆。
[0005]优选的，所述限制杆与滑块的一侧卡接，所述限制块的侧面固定连接有抵块，设置限制杆，便于对滑块进行限制，降低了设备在使用时，容易出现晃动的情况。
[0006]优选的，所述限制杆远离滑块的一端固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧远离限制杆的一端与限制槽的内壁固定连接，设置第一弹簧，便于对限制杆施加弹力。
[0007]优选的，所述限制块的表面滑动连接有抵杆，所述抵杆与抵块的侧面抵接，设置抵杆，便于对限制杆进行移动。
[0008]优选的，所述主体的侧面设置有防脱装置，所述防脱装置包括连接头和弹块，所述连接头与主体的侧面固定连接，所述连接头的内壁开设有压槽，所述弹块与压槽的内壁滑动连接，所述弹块的一端固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧远离弹块的一端与压槽的内壁固定连接，所述连接管与连接头的内壁卡接，所述连接头的侧面固定连接有第一连接块，所述连接管的侧面固定连接有第二连接块，所述第一连接块的内壁转动连接有转杆，所述转杆的侧面开设有卡槽，所述第二连接块的内壁开设有凹槽，设置转杆，便于对连接管进行限制，降低了设备使用时，连接管容易出现脱离主体的情况。
[0009]优选的，所述凹槽的内壁滑动连接有卡杆，所述卡杆与卡槽的内壁卡接，设置卡杆，便于对转杆进行限制。
[0010]优选的，所述卡杆远离卡槽的一端固定连接有第三弹簧，所述第三弹簧远离卡杆
的一端与凹槽的内壁固定连接，所述卡杆远离第三弹簧的一端固定连接有压杆，设置第三弹簧，便于对卡杆施加弹力。
[0011]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于：
[0012]1、本技术中，通过设置清理装置，设备使用时，使用者，使用者按压抵杆，随即抵杆移动带动抵块移动，随即抵块带动限制杆移动，随即限制杆移动带动第一弹簧位移形变产生弹力，随即限制杆脱离滑块的一端，随即滑块失去束缚，随即滑动滑块带动清理板移动，完成设备的清理，通过设置清理装置，有效地对设备的内部进行清理，起到了清理主体内部的情况，提高了设备在使用时，主体内部容易吸附灰尘颗粒，造成设备难以使用的情况，提高了设备的整洁性。
附图说明
[0013]图1为本技术提出一种等离子刻蚀机清洁装置的立体结构示意图；
[0014]图2为本技术提出一种等离子刻蚀机清洁装置的内部结构示意图；
[0015]图3为本技术提出一种等离子刻蚀机清洁装置的清理装置结构示意图；
[0016]图4为本技术提出一种等离子刻蚀机清洁装置的防脱装置结构示意图；
[0017]图5为本技术提出一种等离子刻蚀机清洁装置的图4中A处的放大结构图。
[0018]图例说明：1、主体；2、连接管；3、阀门；4、显示屏；5、按钮；6、清理装置；61、滑块；62、限制块；63、抵杆；64、限制槽；65、限制杆；66、第一弹簧；67、清理板；68、抵块；7、防脱装置；71、连接头；72、压槽；73、弹块；74、第二弹簧；75、第一连接块；76、第二连接块；77、转杆；78、凹槽；79、卡杆；710、卡槽；711、压杆；712、第三弹簧。
具体实施方式
[0019]请参阅图1
‑
5，本技术提供一种技术方案：一种等离子刻蚀机清洁装置，包括主体1的清理装置6，主体1的表面设置有阀门3，主体1的侧面设置有连接管2，主体1的表面固定连接有显示屏4，主体1的表面设置有按钮5。
[0020]下面具体说一下其清理装置6和防脱装置7的具体设置和作用。
[0021]本实施方案中：清理装置6包括清理板67和限制块62，限制块62与主体1的上表面固定连接，主体1的内壁设置有清理板67，清理板67的上表面固定连接滑块61，滑块61与主体1的表面滑动连接，限制块62的内壁开设有限制槽64，限制槽64的内壁滑动连接有限制杆65。
[0022]具体的，限制杆65与滑块61的一侧卡接，限制块62的侧面固定连接有抵块68。
[0023]在本实施例中：设置限制杆65，便于对滑块61进行限制，降低了设备在使用时，容易出现晃动的情况。
[0024]具体的，限制杆65远离滑块61的一端固定连接有第一弹簧66，第一弹簧66远离限制杆65的一端与限制槽64的内壁固定连接，设置第一弹簧66，便于对限制杆65施加弹力。
[0025]具体的，限制块62的表面滑动连接有抵杆63，抵杆63与抵块68的侧面抵接，设置抵杆63，便于对限制杆65进行移动。
[0026]本实施方案中：防脱装置7包括连接头71和弹块73，连接头71与主体1的侧面固定连接，连接头71的内壁开设有压槽72，弹块73与压槽72的内壁滑动连接，弹块73的一端固定
连接有第二弹簧74，第二弹簧74远离弹块73的一端与压槽72的内壁固定连接，连接管2与连接头71的内壁卡接，连接头71的侧面固定连接有第一连接块75，连接管2的侧面固定连接有第二连接块76，第一连接块75的内壁转动连接有转杆77，转杆77的侧面开设有卡槽710，第二连接块76的内壁开设有凹槽78。
[0027]在本实施例中：设置转杆77，便于对连接管2进行限制，降低了设备使用时，连接管2容易出现脱离主体1的情况。
[0028]具体的，凹槽78的内壁滑动连接有卡杆79，卡杆79与卡槽710的内壁卡接，设置卡杆79，便于对转杆77进行限制。
[0029]具体的，卡杆79远离卡槽710的一端固定连接有第三弹簧712，第三弹簧712远离卡杆79的一端与凹槽78的内壁固定连接，卡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀机清洁装置，包括主体(1)的清理装置(6)，其特征在于：所述主体(1)的表面设置有阀门(3)，所述主体(1)的侧面设置有连接管(2)，所述主体(1)的表面固定连接有显示屏(4)，所述主体(1)的表面设置有按钮(5)，所述清理装置(6)设置在主体(1)的内壁，所述清理装置(6)包括清理板(67)和限制块(62)，所述限制块(62)与主体(1)的上表面固定连接，所述主体(1)的内壁设置有清理板(67)，所述清理板(67)的上表面固定连接滑块(61)，所述滑块(61)与主体(1)的表面滑动连接，所述限制块(62)的内壁开设有限制槽(64)，所述限制槽(64)的内壁滑动连接有限制杆(65)。2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机清洁装置，其特征在于：所述限制杆(65)与滑块(61)的一侧卡接，所述限制块(62)的侧面固定连接有抵块(68)。3.根据权利要求2所述的一种等离子刻蚀机清洁装置，其特征在于：所述限制杆(65)远离滑块(61)的一端固定连接有第一弹簧(66)，所述第一弹簧(66)远离限制杆(65)的一端与限制槽(64)的内壁固定连接。4.根据权利要求3所述的一种等离子刻蚀机清洁装置，其特征在于：所述限制块(62)的表面滑动连接有抵杆(63)，所述抵杆(63)与抵块(68)的侧面抵接。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：牟宏山，肖钰，张新宇，
申请(专利权)人：无锡兴华衡辉科技有限公司，
类型：新型
国别省市：