一种集成电路测试设备的计量系统与方法技术方案

本发明专利技术属于集成电路测试技术领域，具体涉及集成电路测试设备的计量系统与方法。其中，集成电路测试设备的计量系统包括集成电路测试设备、计量板和万用表，所述集成电路测试设备包括电源板卡，所述电源板卡包括FOVI源、QTMU源和ACS源，所述计量板分别与所述FOVI源、QTMU源和ACS源连接，所述万用表与所述计量板连接。所述计量板用于将FOVI源、QTMU源和ACS源从集成电路测试设备内部引出，以使万用表能够测取电源板卡的电压与电流。本发明专利技术通过计量板将电源板卡从成电路测试设备内部引出，使得可以通过万用表单独对电源板卡进行电源电压与电源电流的测试，判定电源精度是否准确。极大的缩短了计量时间，有效的提高了测试系统的使用效率。用效率。用效率。

A measurement system and method of integrated circuit test equipment

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路测试设备的计量系统与方法


[0001]本专利技术属于集成电路测试
，具体涉及集成电路测试设备的计量系统与方法。

技术介绍

[0002]目前，模拟测试系统STS8200只有系统校准板，在系统测试进行日常检验维护或测试存在偏差或对测试系统是否出现偏差存在质疑时，只能使用系统校准板对其进行检验校正，而系统校准板存在以下问题：（1）精度计量数据不清晰，无法具体定位到是哪路源出现了偏差，偏差有多大均无法显示；（2）由于精度计量后还需要进行校准，整个过程时间长，校准一次约5
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6小时，严重影响测试机的使用效率。
[0003]针对以上系统校准板存在的问题，亟需设计一款精度高、时间短、数据清晰明确的精度计量系统，提高测试系统的使用效率。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供了一种集成电路测试设备额计量系统与方法，解决了至少一种现有技术中存在的技术问题。
[0005]本专利技术的一个技术方案提供了一种集成电路测试设备的计量系统，包括集成电路测试设备、计量板和万用表，所述集成电路测试设备包括电源板卡，所述电源板卡包括FOVI源、QTMU源和ACS源，所述计量板分别与所述FOVI源、QTMU源和ACS源连接，所述万用表与所述计量板连接；所述计量板用于将FOVI源、QTMU源和ACS源从集成电路测试设备内部引出，以使万用表能够测取电源板卡的电压与电流。
[0006]进一步地，所述计量板包括继电器模块、继电器控制位接口模块、FOVI源接口模块、QTMU源接口模块、ACS源接口模块；所述继电器模块的其中一个输出管脚与QTMU源接口模块连接，所述继电器模块的另一个输出管脚与ACS源接口模块连接，所述继电器模块的控制管脚与继电器控制位接口模块连接，所述继电器模块的输入端管脚与FOVI源接口模块连接，所述继电器控制位接口模块与集成电路测试设备的控制单元模块连接，所述ACS源接口模块与集成电路测试设备的ACS源连接，所述QTMU源接口模块与集成电路测试设备的QTMU源连接；所述集成电路测试设备的控制单元模块根据测试规则，生成控制信号，所述继电器模块能够根据所述控制信号，选择FOVI源接口模块的连接对象。
[0007]进一步地，所述继电器模块包括由多个继电器和电阻组成的电路结构。
[0008]进一步地，所述集成电路测试设备的型号为STS8200。
[0009]进一步地，其特征在于，所述万用表采用六位半表，具体型号为KEYSIGHT 34461A。
[0010]进一步地，测试电压时，所述六位半表通过计量板与电源板卡并联，测试电流时，所述六位半表通过计量板与电源板卡串联。
[0011]本专利技术的的另一个技术方案提供了一种集成电路测试设备计量方法，该方法运用在上述任一所述的集成电路测试设备电源板卡的校验系统中，包括根据电源板卡不同的电压档位，控制集成电路测试设备施加与档位对应的电压；获取万用表测试得到的电压数据；根据电压数据与集成电路测试设备测试获得的电压，判断电源板卡是否存在电压精度误差；根据电源板卡不同的电流档位，控制集成电路测试设备施加与档位对应的电流；获取万用表测试得到的电流数据；根据电流数据与集成电路测试设备测试获得的电流，判断电源板卡是否存在电流精度误差。
[0012]进一步地，根据电压数据与集成电路测试设备测试获得的电压，判断电源板卡是否存在电压精度误差，包括：当电压数据与集成电路测试设备测试获得的电压差值大于5%时，判定电源板卡存在电压精度误差。
[0013]进一步地，根据电压数据与集成电路测试设备测试获得的电压，判断电源板卡是否存在电流精度误差，包括：当电流数据与集成电路测试设备测试获得的电流差值大于5%时，判定电源板卡存在电流精度误差。
[0014]本专利技术的有益效果：本专利技术通过计量板将电源板卡从成电路测试设备内部引出，使得可以通过万用表单独对电源板卡进行电源电压与电源电流的测试，判定是否电源精度误差。相较于使用系统校准板花费5
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6小时，本精度计量系统对电压计量和电流计量均需1.5分钟，对FOVI源的计量总计不超过4分钟，极大的缩短了计量时间，有效的提高了测试系统的使用效率。
附图说明
[0015]图1是本专利技术中集成电路测试设备计量系统的结构示意图。
[0016]图2是本专利技术中计量板的结构示意图。
[0017]图3是本专利技术中计量板的结构框图。
[0018]图4是本专利技术中集成电路测试设备计量方法的流程图。
[0019]附图标记：集成电路测试设备1、计量板2、万用表3、FOVI源11、QTMU源12、ACS源13、继电器模块21、继电器控制位接口模块25、FOVI源接口模块22、QTMU源接口模块24、ACS源接口模块23、控制单元模块14。
具体实施方式
[0020]为了使本领域技术人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有
做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本专利技术保护的范围。
[0021]在本专利技术的实施例中，图1是根据本专利技术集成电路测试设备1计量系统的具体结构提供的结构示意图，如图1所示，本专利技术包括集成电路测试设备1、计量板2和万用表3，其中，所述集成电路测试设备1包括电源板卡和控制单元模块14，所述电源板卡包括FOVI源（八路电压电流源）11、QTMU源（四通道时间测量单元）12和ACS源（精密交流源表）13，所述计量板2分别与所述FOVI源11、QTMU源12和ACS源13连接，所述万用表3与所述计量板2连接，具体的，所述计量板2用于将FOVI源11、QTMU源12和ACS源13从集成电路测试设备1内部引出，以使万用表3能够测取电源板卡的电压与电流。
[0022]其中，计量板2是根据集成电路测试设备1的电源板卡进行设计，首先绘制电路原理图，然后根据电路原理图，进行电路板设计，最后制成计量板2，计量板2通过接插件与集成电路测试设备1进行连接，具体是与FOVI源11、QTMU源12和ACS源13连接。
[0023]在本专利技术的一个实施例中，如图2所示，所述计量板2包括继电器模块21、继电器控制位接口模块25、FOVI源接口模块22、QTMU源接口模块24、ACS源接口模块23，如图2中所示，X4部分为FOVI源接口模块22，X5部分为继电器控制位接口模块25，X6部分为包括QTMU源12接口、ACS源13接口和继电器。具体如图3所示，本计量板2的结构如下：所述继电器模块21的其中一个输出管脚与QTMU源接口模块24连接，所述继电器模块21的另一个输出管脚与ACS源接口模块23连接，所述继电器模块21的控制管脚与继电器控制位接口模块25连接，所述继电器模块21的输入端管脚与FOVI源接口模块22连接，所述继电器控制位接口模块25与集成电路测试设备的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路测试设备的计量系统，其特征在于，包括集成电路测试设备（1）、计量板（2）和万用表（3），所述集成电路测试设备（1）包括电源板卡，所述电源板卡包括FOVI源（11）、QTMU源（12）和ACS源（13），所述计量板（2）分别与所述FOVI源（11）、QTMU源（12）和ACS源（13）连接，所述万用表（3）与所述计量板（2）连接；所述计量板（2）用于将FOVI源（11）、QTMU源（12）和ACS源（13）从集成电路测试设备（1）内部引出，以使万用表（3）能够测取电源板卡的电压与电流。2.如权利要求1所述的集成电路测试设备的计量系统，其特征在于，所述计量板（2）包括继电器模块（21）、继电器控制位接口模块（25）、FOVI源接口模块（22）、QTMU源接口模块（24）、ACS源接口模块（23）；所述继电器模块（21）的其中一个输出管脚与QTMU源接口模块（24）连接，所述继电器模块（21）的另一个输出管脚与ACS源接口模块（23）连接，所述继电器模块（21）的控制管脚与继电器控制位接口模块（25）连接，所述继电器模块（21）的输入端管脚与FOVI源接口模块（22）连接，所述继电器控制位接口模块（25）与集成电路测试设备的控制单元模块（14）连接，所述ACS源接口模块（23）与集成电路测试设备（1）的ACS源（13）连接，所述QTMU源接口模块（24）与集成电路测试设备（1）的QTMU源（12）连接；所述集成电路测试设备（1）的控制单元模块（14）根据测试规则生成控制信号，所述继电器模块（21）能够根据所述控制信号，选择FOVI源接口模块（22）的连接对象。3.如权利要求2所述的集成电路测试设备的计量系统，其特征在于，所述继电器模块（21）包括由多个继电器和电阻组成的电路结构。4.如权利要求3所述的集成电路测试设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐彩彬，张春辉，孙恺凡，马锡春，奚留华，张凯虹，陆坚，
申请(专利权)人：无锡中微腾芯电子有限公司，
类型：发明
国别省市：