光学器件制造技术

在光学器件中，基体和可动部由从规定方向上的一侧起依次具有第1半导体层、绝缘层和第2半导体层的半导体基片构成。基体由第1半导体层、绝缘层和第2半导体层构成。可动部具有由第2半导体层构成的配置部。光学功能部配置在配置部的一侧的表面上。光学器件还具有设置于基体的电极垫，电极垫在以到达第2半导体层的方式在第1半导体层的一侧的表面形成的开口内，配置在第2半导体层的一侧的表面上。配置在第2半导体层的一侧的表面上。配置在第2半导体层的一侧的表面上。

Optics

【技术实现步骤摘要】
光学器件
[0001]本申请是申请日为2018年7月6日、申请号为201880041551.9、专利技术名称为反射镜单元的专利申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及光学器件。

技术介绍

[0003]已知有根据MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)技术在SOI(Silicon On Insulator：绝缘体上硅)基片形成有干涉光学系统的光学器件(例如，参照专利文献1)。这样的光学器件由于能够提供实现了高精度的光学配置的FTIR(傅立叶变换红外光谱仪)而受到瞩目。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特表2012
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524295号公报

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的问题
[0008]在上述那样的光学器件，构成干涉光学系统的可动反射镜沿SOI基片的主面移动。与此相对，为了实现可动反射镜的反射镜面的大型化，考虑采用可动反射镜沿与SOI基片的主面垂直的方向移动的结构。但是，仅是采用那样的结构并不能充分地保护反射镜面，而存在作为器件的可靠性下降的问题。
[0009]本专利技术的一个方面的目的在于提供可靠性高的光学器件。
[0010]用于解决问题的方式
[0011]本专利技术的一个方面的光学器件包括：具有主面的基体；以能够沿与主面交叉的规定方向移动的方式在基体被支承的可动部；和配置在可动部上的光学功能部，基体和可动部由从规定方向上的一侧起依次具有第1半导体层、绝缘层和第2半导体层的半导体基片构成，基体由第1半导体层、绝缘层和第2半导体层构成，可动部具有由第2半导体层构成的配置部，光学功能部配置在配置部的一侧的表面上，构成基体的第1半导体层比构成基体的第2半导体层厚，基体的一侧的表面，位于比光学功能部靠一侧。
[0012]在该光学器件中，基体的一侧的表面位于比光学功能部靠一侧。由此，能够利用基体保护光学功能部，例如能够抑制由于搬运时等的直接的接触而损伤光学功能部。进一步，在该光学器件中，构成基体的第1半导体层比构成基体的第2半导体层厚。由此，能够确保基体相对于光学功能部的突出量，能够利用基体有效地保护光学功能部。由此，根据该光学器件，能够提高可靠性。
[0013]也可以为如下结构：可动部还具有配置在光学功能部的周边的梁部，梁部由配置在第2半导体层上的第1半导体层和绝缘层构成，梁部的一侧的端面，位于比光学功能部靠
一侧。在这种情况下，利用梁部也能够保护光学功能部。进一步，还能够利用梁部抑制可动部的移动中的变形。
[0014]梁部也可以以在从规定方向看时沿配置部的外缘延伸的方式配置在配置部的一侧的表面上。在这种情况下，能够将梁部配置在光学功能部附近，能够更有效地保护光学功能部。进一步，由于梁部配置在配置部上，所以能够更恰当地抑制配置部的变形。
[0015]也可以可动部还具有在从规定方向看时包围配置部的框部和将配置部与框部相互连结的连结部，框部和连结部由第2半导体层构成，梁部以在从规定方向看时沿框部延伸的方式配置在框部的一侧的表面上。
[0016]在这种情况下，能够利用梁部更加有效地保护光学功能部。进一步，能够利用梁部抑制框部的变形，进而能够抑制起因于框部的变形的配置部的变形。
[0017]构成梁部的第1半导体层也可以比构成基体的第1半导体层薄。在这种情况下，能够抑制在可动部的移动中梁部从基体的突出，能够增加规定方向上的可动部的移动量。
[0018]本专利技术的一个方面的光学器件也可以为如下结构：还具有设置于基体的电极垫，电极垫在以到达第2半导体层的方式在第1半导体层的一侧的表面形成的开口内，配置在第2半导体层的一侧的表面上，基体具有槽部，该槽部以到达第2半导体层的方式形成于第1半导体层的一侧的表面，且以在从规定方向看时包围开口的方式延伸。在这种情况下，能够利用槽部实现电极垫的电绝缘性，能够进一步提高可靠性。
[0019]电极垫也可以跨开口的底面和侧面延伸。在这种情况下，能够实现大面积的电极垫。
[0020]也可以为如下结构：电极垫和光学功能部分别由金属层构成，构成电极垫的金属层比构成光学功能部的金属层厚。在这种情况下，能够抑制光学功能部的变形，并且能够实现对电极垫的电连接。
[0021]本专利技术的一个方面的反射镜单元包括：上述光学器件；相对于光学器件配置在规定方向的另一侧的光学功能部件；和相对于光学功能部件配置在另一侧的固定反射镜，光学功能部是与可动部一起构成可动反射镜的反射镜面，在光学器件形成有构成分束器单元与固定反射镜之间的光路的第1部分的第1光通过部，其中，该分束器单元与可动反射镜和固定反射镜一起构成干涉光学系统，在光学功能部件形成有构成分束器单元与固定反射镜之间的光路的第2部分的第2光通过部，第2光通过部对在分束器单元与可动反射镜之间的光路和分束器单元与固定反射镜之间的光路之间产生的光程差进行修正。
[0022]在该反射镜单元中，基于上述的理由能够提高可靠性。此外，提高光学功能部件的第2光通过部，能够修正在分束器单元与可动反射镜之间的光路和分束器单元与固定反射镜之间的光路之间产生的光路长度差。进一步，在该反射镜单元中，反射镜面配置在光学功能部件的附近。这样的结构在利用光学功能部件的第2光通过部修正光路长度差的情况下特别有效。
[0023]专利技术的效果
[0024]根据本专利技术的一个方面，能够提供可靠性高的光学器件。
附图说明
[0025]图1是一个实施方式的光组件的截面图。
[0026]图2是图1所示的反射镜单元的俯视图。
[0027]图3是沿图2所示的III
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III线的反射镜单元的截面图。
[0028]图4是沿图2所示的IV
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IV线的反射镜单元的截面图。
[0029]图5是沿图2所示的V
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V线的反射镜器件的示意的截面图。
[0030]图6是图2所示的反射镜器件的部分放大图。
[0031]图7是图2所示的光学功能部件的俯视图。
[0032]图8是沿图1所示的VIII
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VIII线的光组件的截面图。
[0033]图9是沿图1所示的IX
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IX线的光组件的截面图。
[0034]图10是图1所示的反射镜单元和分束器单元的示意的截面图。
[0035]图11是沿图2所示的XI
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XI线的反射镜器件的示意的截面图。
具体实施方式
[0036]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。另外，在各图中对同一或相当部分标注相同的附图标记，省略重复的部分。
[0037][光组件的结构][0038]如图1所示，光组件1包括反射镜单元2、分束器单元3、光入射部4、第1光检测器6、第2光源7、第2光检测器8、支承体9、第1支承结构11和第2支承结构12。反射镜单元2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学器件，其特征在于，包括：具有主面的基体；在所述基体被支承的可动部；和配置在所述可动部上的光学功能部，所述基体和所述可动部由从所述规定方向上的一侧起依次具有第1半导体层、绝缘层和第2半导体层的半导体基片构成，所述基体由所述第1半导体层、所述绝缘层和所述第2半导体层构成，所述可动部具有由所述第2半导体层构成的配置部，所述光学功能部配置在所述配置部的所述一侧的表面上，所述光学器件还具有设置于所述基体的电极垫，所述电极垫在以到达所述第2半导体层的方式在所述第1半导体层的所述一侧的表面形成的开口内，配置在所述第2半导体层的所述一侧的表面上。2.如权利要求1所述的光学器件，其特征在于：所述可动部还具有配置在所述光学功能部的周边的梁部，所述梁部由配置在所述第2半导体层上的所述第1半导体层和所述绝缘层构成，所述梁部的所述一侧的端面，位于比所述光学功能部靠所述一侧。3.如权利要求2所述的光学器件，其特征在于：所述梁部以在从所述规定方向看时沿所述配置部的外缘延伸的方式配置在所述配置部的所述一侧的所述表面上。4.如权利要求2或3所述的光学器件，其特征在于：所述可动部还具有在从所述规定方向看时包围所述配置部的框部和将所述配置部与所述框部相互连结的连结部，所述框部和所述连结部由所述第2半导体层构成，所述梁部以在从所述规定方向看时沿所述框部延伸的方式配置在所述框部的所述一侧的表面上。5.如权利要求2～4中的任一项所述的光学器件，其特征在于：构成所述梁部的所述第1半导体层比构成所述基体的所述第1半导体层薄。6.如权利要求1～5中的任一项所述的光学器件，其特征在于：所述基体具有槽部，该槽部以到达所述第2半导体层的方式形成于所述第1半导体层的所述一侧的所述表面，且以在从所述规定方向看时包围所述开口的方式延伸。7.如权利要求6所述的光学器件，其特征在于：所述电极垫跨所述开口的底面和侧面延伸。8.如权利要求6或7所述的光学器件，其特征在于：所述电极垫和所述光学功...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木智史，港谷恭辅，杉本达哉，藏本丰，柴山胜己，细川畅郎，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：