一种一体化隔膜阀加工平台制造技术

本发明专利技术公开了一种一体化隔膜阀加工平台，包含平台板、纵向驱动机构、横向驱动机构、若干隔膜阀夹具和隔膜阀夹具径向驱动机构，平台板设置在纵向驱动机构上由纵向驱动机构驱动沿水平面纵向移动，纵向驱动机构设置在横向驱动机构上由横向驱动机构驱动沿水平面横向移动，若干隔膜阀夹具呈环形分布在隔膜阀夹持工位外侧平台板上并且由隔膜阀夹具径向驱动机构驱动沿平台板的径向移动，隔膜阀夹具的上端设置有上侧压板，上侧压板由上侧压板驱动机构驱动沿竖直方向升降。本发明专利技术通过径向夹持与竖直方向同时压紧夹持的方式，从而减少了对进行夹持力度的需求，从而解决了现有技术夹持力度大影响加工精度的问题。影响加工精度的问题。影响加工精度的问题。

An integrated diaphragm valve processing platform

【技术实现步骤摘要】
一种一体化隔膜阀加工平台


[0001]本专利技术涉及一种加工平台，特别是一种一体化隔膜阀加工平台，属于隔膜阀加工


技术介绍

[0002]在集成电路行业中，湿法清洗是集成电路芯片制备过程中的重要工艺步骤，主要是用化学溶液清洗晶圆，去除一些颗粒和金属杂质污染。而高纯液体隔膜阀是湿法清洗的核心零部件之一，隔膜阀介质接触面小，几乎没有产品沉积的机会，非常容易清洁且所需密封力较小。然而高纯液体隔膜阀的加工精度要求很高，加工精度的高低直接影响最终产品的效果。
[0003]现有技术中，对于隔膜阀这种圆形阀体，常规加工是通过三爪夹具对隔膜阀进行固定，其通过螺旋线结构对三爪驱动从而使其将阀体抓紧固定。为了保证加工的稳定性，三爪夹具对隔膜阀的夹持力度较大，容易使隔膜阀的表面损伤且对隔膜阀内部应力产生一定影响，进而影响最终的加工精度和效果。

技术实现思路

[0004]本专利技术所要解决的技术问题是提供一种一体化隔膜阀加工平台，其对隔膜阀的夹持力度需求较小，解决了现有技术夹持力度大影响加工精度的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案是：一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：包含平台板、纵向驱动机构、横向驱动机构、若干隔膜阀夹具和隔膜阀夹具径向驱动机构，平台板设置在纵向驱动机构上由纵向驱动机构驱动沿水平面纵向移动，纵向驱动机构设置在横向驱动机构上由横向驱动机构驱动沿水平面横向移动，若干隔膜阀夹具呈环形分布在隔膜阀夹持工位外侧平台板上并且由隔膜阀夹具径向驱动机构驱动沿平台板的径向移动，隔膜阀夹具的上端设置有上侧压板，上侧压板由上侧压板驱动机构驱动沿竖直方向升降。
[0006]进一步地，所述隔膜阀夹具包含L型夹具本体和夹具弹性垫，L型夹具本体下侧与隔膜阀夹具径向驱动机构连接，夹具弹性垫固定在L型夹具本体面向隔膜阀的内侧面上。
[0007]进一步地，所述上侧压板包含L型压板板体和压板弹性垫，隔膜阀夹具上端开有沿竖直方向的压板槽，L型压板板体的一侧竖直插入隔膜阀夹具上端压板槽内并且与压板槽滑动连接，L型压板板体与隔膜阀夹具内的上侧压板驱动机构驱动，压板弹性垫固定在L型压板板体另一侧的下侧面上。
[0008]进一步地，所述上侧压板驱动机构包含驱动块，隔膜阀夹具的内侧面上开有贯穿隔膜阀夹具内侧面以及压板槽的驱动块槽道，驱动块的外侧设置有凸起于驱动块的驱动块凸环，驱动块槽道为阶梯状槽道且驱动块槽道分别与驱动块凸环以及驱动块的本体匹配，驱动块位于隔膜阀夹具内的一端为楔形结构，L型压板板体对应驱动块端部位置开有与驱动块端部楔形结构匹配的楔形凹槽，L型压板板体的下端设置有凸起于L型压板板体的压板
凸环，压板槽也为阶梯槽且分别与L型压板板体和压板凸环匹配，L型压板板体的下端套设有一个弹簧，弹簧位于压板凸环与压板槽底部之间。
[0009]进一步地，所述隔膜阀夹具径向驱动机构包含上侧圆盘、下侧圆盘和下侧圆盘驱动机构，上侧圆盘通过支架固定在平台板的上方，下侧圆盘位于上侧圆盘的下侧并且与上侧圆盘同心设置，下侧圆盘通过中心转轴转动设置在平台板上侧，下侧圆盘与下侧圆盘驱动机构连接由下侧圆盘驱动机构驱动以中心转轴为圆形转动，上侧圆盘上开有数量与隔膜阀夹具相等的若干径向滑槽，径向滑槽沿上侧圆盘的径向设置并且若干径向滑槽沿着上侧圆盘的周向均匀分布，下侧圆盘上开有数量与隔膜阀夹具相等的若干弧形滑槽并且若干弧形滑槽沿着下侧圆盘的周向均匀分布，隔膜阀夹具的下端固定有一根竖直销轴，竖直销轴下端分别穿过上侧圆盘的径向滑槽和下侧圆盘的弧形滑槽并且竖直销轴滑动设置在径向滑槽和弧形滑槽内。
[0010]进一步地，所述下侧圆盘驱动机构包含伸缩气缸，伸缩气缸水平设置在下侧圆盘的下侧，伸缩气缸缸体端部通过铰轴铰接在平台板上，伸缩气缸的活塞杆端部通过铰轴铰接在下侧圆盘下侧面的边沿位置。
[0011]进一步地，所述平台板上隔膜阀夹持工位设置有若干根与隔膜阀阀体下端螺孔一一对应的定位销轴。
[0012]进一步地，所述定位销轴竖直设置且定位销轴的下端固定在平台板上侧，定位销轴的上端为半球形结构，定位销轴为上端封闭的空心管状结构，定位销轴内设置有气囊，定位销轴的侧面开有若干个条形孔，条形孔沿定位销轴的长度方向设置并且若干个条形孔沿着定位销轴的周向等间距分布。
[0013]进一步地，所述纵向驱动机构包含纵向螺杆、两根纵向滑竿、纵向第一固定板、纵向第二固定板、纵向螺杆驱动电机、两根纵向滑轨和纵向底板，纵向螺杆沿水平面纵向设置并且纵向螺杆的两端分别转动设置在纵向第一固定板和纵向第二固定板上，两根纵向滑竿平行设置在纵向螺杆的两侧并且纵向滑竿的两端分别固定在纵向第一固定板和纵向第二固定板上，纵向螺杆的一端与纵向螺杆驱动电机连接由纵向螺杆驱动电机驱动，平台板的下侧套设在纵向螺杆上与纵向螺杆螺纹连接，平台板的下侧还套设在两根纵向滑竿上与纵向滑竿滑动连接，两根纵向滑轨平行固定在纵向第一固定板和纵向第二固定板的两端，平台板的下侧通过滑套滑动设置在两根纵向滑轨上，纵向第一固定板、纵向第二固定板、纵向螺杆驱动电机和两根纵向滑轨分别固定在纵向底板上。
[0014]进一步地，所述横向驱动机构包含横向螺杆、两根横向滑竿、横向第一固定板、横向第二固定板、横向螺杆驱动电机和两根横向滑轨，横向螺杆沿水平面横向设置并且横向螺杆的两端分别转动设置在横向第一固定板和横向第二固定板上，两根横向滑竿平行设置在横向螺杆的两侧并且横向滑竿的两端分别固定在横向第一固定板和横向第二固定板上，横向螺杆的一端与横向螺杆驱动电机连接由横向螺杆驱动电机驱动，纵向底板的下侧套设在横向螺杆上与横向螺杆螺纹连接，纵向底板的下侧还套设在两根横向滑竿上与横向滑竿滑动连接，两根横向滑轨平行固定在横向第一固定板和横向第二固定板的两端，纵向底板的下侧通过滑套滑动设置在两根横向滑轨上。
[0015]本专利技术与现有技术相比，具有以下优点和效果：1、本专利技术的一体化隔膜阀加工平台通过径向夹持与竖直方向同时压紧夹持的方
式，从而减少了对进行夹持力度的需求，从而解决了现有技术夹持力度大影响加工精度的问题；2、本专利技术还通过定位销轴对隔膜阀的圆周自由度进行限制，从而进一步减少了夹具径向夹持力度的需求，同时定位销轴内置气囊，可以通过气囊膨胀对隔膜阀进行自动位置校准，提高了隔膜阀在平台上的定位精度；3、本专利技术竖直方向的夹持结构通过与径向夹持的配合，通过隔膜阀的自动挤压形成竖直方向的自锁紧，竖直夹持无需额外的驱动结构，整体结构紧凑简单，成本较低；4、本专利技术通过两个圆盘的径向滑槽和弧形滑槽的配合，并通过气缸进行压力控制，可以更好地控制夹具的径向夹持力度，与现有技术的螺旋线结构相比，控制更加精确，可以有效提高最终产品的加工精度。
附图说明
[0016]图1是本专利技术的一种一体化隔膜阀加工平台的示意图。
[0017]图2是本专利技术的隔膜阀夹具的示意图。
[0018]图3是本专利技术的隔膜阀夹具的另一状态的示意图。
[0019]图4是本专利技术的隔膜阀夹具径向驱动机构的侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：包含平台板、纵向驱动机构、横向驱动机构、若干隔膜阀夹具和隔膜阀夹具径向驱动机构，平台板设置在纵向驱动机构上由纵向驱动机构驱动沿水平面纵向移动，纵向驱动机构设置在横向驱动机构上由横向驱动机构驱动沿水平面横向移动，若干隔膜阀夹具呈环形分布在隔膜阀夹持工位外侧平台板上并且由隔膜阀夹具径向驱动机构驱动沿平台板的径向移动，隔膜阀夹具的上端设置有上侧压板，上侧压板由上侧压板驱动机构驱动沿竖直方向升降。2.根据权利要求1所述的一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：所述隔膜阀夹具包含L型夹具本体和夹具弹性垫，L型夹具本体下侧与隔膜阀夹具径向驱动机构连接，夹具弹性垫固定在L型夹具本体面向隔膜阀的内侧面上。3.根据权利要求1或2所述的一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：所述上侧压板包含L型压板板体和压板弹性垫，隔膜阀夹具上端开有沿竖直方向的压板槽，L型压板板体的一侧竖直插入隔膜阀夹具上端压板槽内并且与压板槽滑动连接，L型压板板体与隔膜阀夹具内的上侧压板驱动机构驱动，压板弹性垫固定在L型压板板体另一侧的下侧面上。4.根据权利要求3所述的一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：所述上侧压板驱动机构包含驱动块，隔膜阀夹具的内侧面上开有贯穿隔膜阀夹具内侧面以及压板槽的驱动块槽道，驱动块的外侧设置有凸起于驱动块的驱动块凸环，驱动块槽道为阶梯状槽道且驱动块槽道分别与驱动块凸环以及驱动块的本体匹配，驱动块位于隔膜阀夹具内的一端为楔形结构，L型压板板体对应驱动块端部位置开有与驱动块端部楔形结构匹配的楔形凹槽，L型压板板体的下端设置有凸起于L型压板板体的压板凸环，压板槽也为阶梯槽且分别与L型压板板体和压板凸环匹配，L型压板板体的下端套设有一个弹簧，弹簧位于压板凸环与压板槽底部之间。5.根据权利要求1所述的一种一体化隔膜阀加工平台，其特征在于：所述隔膜阀夹具径向驱动机构包含上侧圆盘、下侧圆盘和下侧圆盘驱动机构，上侧圆盘通过支架固定在平台板的上方，下侧圆盘位于上侧圆盘的下侧并且与上侧圆盘同心设置，下侧圆盘通过中心转轴转动设置在平台板上侧，下侧圆盘与下侧圆盘驱动机构连接由下侧圆盘驱动机构驱动以中心转轴为圆形转动，上侧圆盘上开有数量与隔膜阀夹具相等的若干径向滑槽，径向滑槽沿上侧圆盘的径向设置并且若干径向滑槽沿着上侧圆盘的周向均匀分布，下侧圆盘上开有数量与隔膜阀夹具相等的若干弧形滑槽并且若干弧形滑槽沿着下侧圆盘的周向均匀分布，隔膜阀夹具的下端固定有一根竖直销轴，竖直销轴下端分别穿过上侧圆盘的径向...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂辉，黄维，
申请(专利权)人：谷微半导体科技江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：