本实用新型专利技术提供了一种上胶机用光刻胶回收装置。该技术方案采用套管结构对回收路径上的光刻胶进行隔壁换热，从而在回收过程中使光刻胶温度降至常温，避免了因余热而影响胶料稳定性的问题。具体来看，本实用新型专利技术在内套管的上端设置广口，广口的上端与外套管的内壁焊接固定，在内套管的外壁上具有若干沿螺旋线分布的突出片，在相邻的突出片之间具有缝隙，内套管的下端由球形封头封闭，在内套管的内壁上具有内丝扣，芯管从外套管的顶端纵向伸入至内套管中，芯管与外套管焊接固定，内套管与外套管之间的空间为螺旋腔体，突出片位于螺旋腔体中。基于以上构造，可有效降低光刻胶的回收温度，确保了胶料的稳定性，具有突出的技术优势。具有突出的技术优势。具有突出的技术优势。
Photoresist recovery device for gluing machine
【技术实现步骤摘要】
上胶机用光刻胶回收装置
[0001]本技术涉及上胶机
，具体涉及一种上胶机用光刻胶回收装置。
技术介绍
[0002]光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像。光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。在光刻胶工艺过程中，涂层曝光、显影后，曝光部分被溶解，未曝光部分留下来，该涂层材料为正性光刻胶。如果曝光部分被保留下来，而未曝光被溶解，该涂层材料为负性光刻胶。按曝光光源和辐射源的不同，又分为紫外光刻胶(包括紫外正、负性光刻胶)、深紫外光刻胶、X
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射线胶、电子束胶、离子束胶等。光刻胶主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业。光刻胶生产技术较为复杂，品种规格较多，在电子工业集成电路的制造中，对所使用光刻胶有严格的要求。在上胶机的运行过程中，存在一定的光刻胶冗余现象，这部分光刻胶如不加以收集，则会因浪费而导致成本的上升。常规设备仅具有吸收式回收功能，被回收的光刻胶由常规管路送回光刻胶储罐，然而，被回收的光刻胶具有一定的余热，直接入罐会影响罐内胶料的稳定性，如何避免这一问题，一直以来都是本领域中有待接的技术问题。
技术实现思路
[0003]本技术旨在针对现有技术的技术缺陷，提供上胶机用光刻胶回收装置，以解决常规回收装置所回收的光刻胶具有大量余热的技术问题。
[0004]为实现以上技术目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]上胶机用光刻胶回收装置，包括外套管，输入管，排出管，下接头，内套管，广口，突出片，缝隙，球形封头，内丝扣，芯管，螺旋腔体，冷却水入口，冷却水出口，其中，在外套管的外壁上固定连接有输入管，在外套管的下端固定连接有排出管，在排出管的外壁上具有下接头，内套管位于外套管内部，在内套管的上端具有广口，广口的上端与外套管的内壁焊接固定，在内套管的外壁上具有若干沿螺旋线分布的突出片，在相邻的突出片之间具有缝隙，内套管的下端由球形封头封闭，在内套管的内壁上具有内丝扣，芯管从外套管的顶端纵向伸入至内套管中，芯管与外套管焊接固定，内套管与外套管之间的空间为螺旋腔体，突出片位于螺旋腔体中，输入管和排出管均与螺旋腔体相连通，在外套管的侧壁上具有冷却水入口，冷却水入口与内套管的内部空间相连通，芯管的外端为冷却水出口。
[0006]作为优选，外套管、内套管、芯管三者同轴，内套管的直径不小于外套管直径的1/2。
[0007]作为优选，输入管位于外套管侧端，输入管倾斜设置。
[0008]作为优选，在外套管的内壁上具有若干圆盘形状的凸点。
[0009]作为优选，所述凸点的轴线垂直于芯管的轴线。
[0010]本技术提供了一种上胶机用光刻胶回收装置。该技术方案采用套管结构对回收路径上的光刻胶进行隔壁换热，从而在回收过程中使光刻胶温度降至常温，避免了因余热而影响胶料稳定性的问题。具体来看，本技术在内套管的上端设置广口，广口的上端与外套管的内壁焊接固定，在内套管的外壁上具有若干沿螺旋线分布的突出片，在相邻的突出片之间具有缝隙，内套管的下端由球形封头封闭，在内套管的内壁上具有内丝扣，芯管从外套管的顶端纵向伸入至内套管中，芯管与外套管焊接固定，内套管与外套管之间的空间为螺旋腔体，突出片位于螺旋腔体中。基于以上构造，可有效降低光刻胶的回收温度，确保了胶料的稳定性，具有突出的技术优势。
附图说明
[0011]图1是本技术的内部结构图；
[0012]图2是内套管的立体图；
[0013]图3是内套管的侧视图；
[0014]图中：
[0015]1、外套管
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2、输入管
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3、排出管
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4、下接头
[0016]5、内套管
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6、广口
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7、突出片
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8、缝隙
[0017]9、球形封头
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10、内丝扣
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11、芯管
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12、螺旋腔体
[0018]13、冷却水入口
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14、冷却水出口。
具体实施方式
[0019]以下将对本技术的具体实施方式进行详细描述。为了避免过多不必要的细节，在以下实施例中对属于公知的结构或功能将不进行详细描述。以下实施例中所使用的近似性语言可用于定量表述，表明在不改变基本功能的情况下可允许数量有一定的变动。除有定义外，以下实施例中所用的技术和科学术语具有与本技术所属领域技术人员普遍理解的相同含义。
[0020]实施例1
[0021]上胶机用光刻胶回收装置，如图1～3所示，包括外套管1，输入管2，排出管3，下接头4，内套管5，广口6，突出片7，缝隙8，球形封头9，内丝扣10，芯管11，螺旋腔体12，冷却水入口13，冷却水出口14，其中，在外套管1的外壁上固定连接有输入管2，在外套管1的下端固定连接有排出管3，在排出管3的外壁上具有下接头4，内套管5位于外套管1内部，在内套管5的上端具有广口6，广口6的上端与外套管1的内壁焊接固定，在内套管5的外壁上具有若干沿螺旋线分布的突出片7，在相邻的突出片7之间具有缝隙8，内套管5的下端由球形封头9封闭，在内套管5的内壁上具有内丝扣10，芯管11从外套管1的顶端纵向伸入至内套管5中，芯管11与外套管1焊接固定，内套管5与外套管1之间的空间为螺旋腔体12，突出片7位于螺旋腔体12中，输入管2和排出管3均与螺旋腔体12相连通，在外套管1的侧壁上具有冷却水入口13，冷却水入口13与内套管5的内部空间相连通，芯管11的外端为冷却水出口14。
[0022]实施例2
[0023]上胶机用光刻胶回收装置，如图1～3所示，包括外套管1，输入管2，排出管3，下接
头4，内套管5，广口6，突出片7，缝隙8，球形封头9，内丝扣10，芯管11，螺旋腔体12，冷却水入口13，冷却水出口14，其中，在外套管1的外壁上固定连接有输入管2，在外套管1的下端固定连接有排出管3，在排出管3的外壁上具有下接头4，内套管5位于外套管1内部，在内套管5的上端具有广口6，广口6的上端与外套管1的内壁焊接固定，在内套管5的外壁上具有若干沿螺旋线分布的突出片7，在相邻的突出片7之间具有缝隙8，内套管5的下端由球形封头9封闭，在内套管5的内壁上具有内丝扣10，芯管11从外套管1的顶端纵向伸入至内套管5中，芯管11与外套管1焊接固定，内套管5与外套管1之间的空间为螺旋腔体12，突出片7位于螺旋腔体12中，输入管2和排出管3均与螺旋腔体12相连通，在外套管1的侧壁上具本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.上胶机用光刻胶回收装置，其特征在于包括外套管(1)，输入管(2)，排出管(3)，下接头(4)，内套管(5)，广口(6)，突出片(7)，缝隙(8)，球形封头(9)，内丝扣(10)，芯管(11)，螺旋腔体(12)，冷却水入口(13)，冷却水出口(14)，其中，在外套管(1)的外壁上固定连接有输入管(2)，在外套管(1)的下端固定连接有排出管(3)，在排出管(3)的外壁上具有下接头(4)，内套管(5)位于外套管(1)内部，在内套管(5)的上端具有广口(6)，广口(6)的上端与外套管(1)的内壁焊接固定，在内套管(5)的外壁上具有若干沿螺旋线分布的突出片(7)，在相邻的突出片(7)之间具有缝隙(8)，内套管(5)的下端由球形封头(9)封闭，在内套管(5)的内壁上具有内丝扣(10)，芯管(11)从外套管(1)的顶端纵向伸入至内套管(5)中，芯管(11)与外套管(1)焊接固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：方廷宇，许忠信，李庆申，杨士林，张辉，
申请(专利权)人：山东强茂电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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