节能高效的PECVD反应炉管装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于管式PECVD设备。为解决上述的PECVD恒温时间过长、转化效率低的问题，本发明专利技术提供一种节能高效的PECVD反应炉管装置，包括外侧炉体、加热炉体、纤维保温圈、电磁感应加热装置、石墨舟、推杆、支撑杆及法兰盘，所述法兰盘设置在外侧炉体的上下两端，法兰盘与外侧炉体之间设置纤维保温圈，所述支撑杆设置在加热炉体内，石墨舟设置在支撑杆上，所述电磁感应加热装置的电磁感应线圈环绕石墨舟设置；所述推杆包括上推杆和下推杆，下推杆上设置放置槽，上推杆伸出炉管的两端，下推杆位于炉管内。本发明专利技术通过电磁感应加热，升温速度快，通过电磁感应的磁场分布增强化学气相沉积，提高转化效率。效率。

Energy saving and efficient PECVD reactor tube device

【技术实现步骤摘要】
节能高效的PECVD反应炉管装置


[0001]本专利技术属于管式PECVD设备，具体涉及一种节能高效的PECVD反应炉管装置。

技术介绍

[0002]光伏发电是半导体的光电效应，它可以利用半导体的光电效应将光能直接转变为电能，光伏发电相比于传统的发电系统具有能源质量较高、获取时间较短、在复杂地区也比较容易搭建、危险性低、能源绿色清洁等一系列优点。减少晶体硅的反射，能够提高光电转化效率。PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积)采用的等离子体增强化学气相沉积技术可以有效的减少晶体硅对于太阳光的反射，从而提高电池的转化效率。
[0003]管式PECVD设备是在低温下可以进行高质量淀积减反射膜的装置，主要包括有反应炉管、推舟机构、气路系统和真空系统。恒温是PECVD工艺流程中比较重要的一步，就是将送入反应炉管的硅片及石墨舟从室温加热到PECVD反应所需温度，并使石墨舟的截面温度进行均匀分布，这一工艺步骤大概要占据整个工艺流程的三分之二的时间，所以如何让硅片及石墨舟迅速高质量的完成恒温步骤，对于降低生产成本，提高生产效率具有积极作用。而目前，缺少缩短恒温时间的技术。基于此，提出本专利技术。

技术实现思路

[0004]为解决上述的PECVD恒温时间过长、转化效率低的技术问题，本专利技术提供了一种节能高效的PECVD反应炉管装置，通过电磁感应加热，提高加热速度，通过电磁感应的磁场分布增强化学气相沉积，提高转化效率。
[0005]本专利技术的技术方案如下：
[0006]一种节能高效的PECVD反应炉管装置，包括外侧炉体、加热炉体、纤维保温圈、电磁感应加热装置、石墨舟、推杆、支撑杆及法兰盘，所述法兰盘设置在外侧炉体的上下两端，法兰盘与外侧炉体之间设置纤维保温圈，所述支撑杆设置在加热炉体内，石墨舟设置在支撑杆上，所述电磁感应加热装置的电磁感应线圈环绕石墨舟设置；所述推杆包括上推杆和下推杆，下推杆上设置放置槽，上推杆伸出炉管的两端，下推杆位于炉管内。
[0007]进一步的，所述电磁感应线圈为矩形电磁感应线圈。
[0008]进一步的，所述推杆为可伸缩推杆。
[0009]进一步的，所述炉管装置的两端均设置推杆。
[0010]进一步的，所述维保温圈的材质为石棉。
[0011]进一步的，所述外侧炉体为石英炉体。
[0012]本专利技术的有益效果:
[0013]本专利技术采用电磁感应加热线圈对石墨舟进行辅助加热，相对于普通灯管辅助加热，电磁感应加热速度快，节约电能，并且电磁感应线圈是环绕在石墨舟上，相较于普通加热为内加热方式，通过其电磁感应的磁场分布可以增强化学气相沉积，提高转化效率，进而
可以缩短硅片和石墨舟的恒温时间。
附图说明
[0014]图1是实施例节能高效的PECVD反应炉管零件总装图(局部剖视图)。
[0015]图2是实施例炉管装置内部进行电磁辅助加热的装配示意图。
[0016]图3是实施例炉管装置中推杆的零件示意图。
[0017]附图中：1.前法兰盘；2.纤维保温圈；3.电磁感应加热装置；4.外侧炉体；5.石墨舟；6.后法兰盘；7推杆，8.支撑杆；9.电磁加热线圈，710.上推杆；711.下推杆；712.放置槽。
具体实施方式
[0018]下面结合具体实施例对本专利技术做进一步详细说明。
[0019]实施例
[0020]一种节能高效的PECVD反应炉管装置，如图1
‑
图2所示，包括前法兰盘1、纤维保温圈2、电磁感应加热装置3、外侧炉体4、石墨舟5、后法兰盘6、推杆7、支撑杆8、电磁加热线圈9。推杆7如图3所示，包括上推杆710、下推杆711和设置在下推杆上的放置槽712，上推杆710和下推杆711为可伸缩连接。该炉管装置的两端均设置推杆，采用伸缩式双向推送可对硅片进行快速的稳定的推送。
[0021]前法兰盘1和后法兰盘6分别设置于外侧炉体4的前后两端，法兰盘与炉体中间设置纤维保温圈2进行保温，可以减少热能散失。
[0022]外侧炉体4内为加热炉体，加热炉体内部设置有支撑杆8，支撑杆8上设置石墨舟5，上推杆710伸出炉管的两端，下推杆710位于炉管内，上推杆位于炉体外的一端连有操作手柄。
[0023]电磁感应加热装置3位于石墨舟5的外侧，电磁加热线圈9在石墨舟外侧环绕，用于对石墨舟进行辅助加热，本装置可以对送入反应炉管的硅片及石墨舟进行迅速升温，提高转化效率。
[0024]相对于普通灯管辅助加热，电磁感应加热速度快，节约电能。电磁感应线圈是环绕在石墨舟上，相较于现有的内加热方式，通过其电磁感应的磁场分布可以增强化学气相沉积，提高转化效率。
[0025]节能高效的PECVD反应炉管装置工作原理：炉管进行恒温处理时，硅片置于放置槽12上，通过可伸缩的推杆7将硅片送入反应炉，通过外侧炉体4以及电磁感应加热装置3对硅片及石墨舟5进行迅速加热，通过支撑杆8对电磁感应加热装置3及石墨舟5进行固定，前法兰盘1及后法兰盘6进行密封，利用纤维保温圈2进行保温。
[0026]与现有普通的反应炉管装置相比，同等条件下，利用本专利技术的节能高效的PECVD反应炉管装置，恒温时间缩短约20％，节约电能约10％，转化效率提高约25％。
[0027]以上所述的实施例仅是对本专利技术的优选实施方式进行描述，并非对本专利技术的范围进行限定，在不脱离本专利技术设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本专利技术的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本专利技术权利要求书确定的保护范围内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种节能高效的PECVD反应炉管装置，其特征在于，包括外侧炉体、加热炉体、纤维保温圈、电磁感应加热装置、石墨舟、推杆、支撑杆及法兰盘，所述法兰盘设置在外侧炉体的上下两端，法兰盘与外侧炉体之间设置纤维保温圈，所述支撑杆设置在加热炉体内，石墨舟设置在支撑杆上，所述电磁感应加热装置的电磁感应线圈环绕石墨舟设置；所述推杆包括上推杆和下推杆，下推杆上设置放置槽，上推杆伸出炉管的两端，下推杆位于炉管内...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘家敬，谷雨，
申请(专利权)人：青岛科技大学，
类型：发明
国别省市：