外延片手动移栽夹具制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种外延片手动移栽夹具。所述外延片手动移栽夹具，包括两个夹臂，每一夹臂包括相互连接的一夹柄部和一夹头部，两个所述夹柄部相互连接，两个所述夹头部相对设置；两个弹性构件，每一弹性构件连接于一夹头部，至少每一弹性构件的内缘部具有弧形轮廓，所述弧形轮廓与外延片的一侧周缘部吻合，两个所述弹性构件之间形成一夹持空间，所述夹持空间用于夹持所述外延片。本实用新型专利技术提供的外延片手动移栽夹具，通过弹性构件具有弧形轮廓的内缘部对外延片外延进行夹取，方便操作，且该夹具夹持外延片的外径表面，不会损伤外延片的上下表面。上下表面。上下表面。

【技术实现步骤摘要】
外延片手动移栽夹具


[0001]本技术属于晶片夹具
，具体涉及一种外延片手动移栽夹具。

技术介绍

[0002]目前在光学晶片领域，晶片本身具有薄、脆的特点，光学晶片对其表面的完整程度要求非常高，因此，操作人员双手佩戴手套拿取晶片的侧面；另外，操作人员通常使用一些夹具来夹取晶片(外延片)，如镊子、真空吸附盘等，提高了夹取的效果，同时也避免了操作人员直接通过双手直接夹取晶片带来的不利影响。
[0003]如专利CN 201389812Y公开了一种晶片镊子，在实际生产运输过程中，有以下不便之处：1.采用镊子夹取外延片平面时，容易对外延片造成划伤，导致外延片的不良；2.当外延片生长完了之后，是置于一个类似水平的面上，镊子伸进平面与外延片之间操作不便。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种外延片手动移栽夹具，以克服现有技术中存在的不足。
[0005]为实现前述目的，本技术实施例采用的技术方案包括：
[0006]本技术实施例提供了一种外延片手动移栽夹具，包括：
[0007]两个夹臂，每一夹臂包括相互连接的一夹柄部和一夹头部，两个所述夹柄部相互连接，两个所述夹头部相对设置；
[0008]两个弹性构件，每一弹性构件连接于一夹头部，至少每一弹性构件的内缘部具有弧形轮廓，所述弧形轮廓与外延片的一侧周缘部吻合，两个所述弹性构件之间形成一夹持空间，所述夹持空间用于夹持所述外延片。
[0009]进一步地，所述弹性构件的内缘部具有台阶结构，所述台阶结构具有第一台阶面和第二台阶面，其中第一台阶面与所述外延片的一侧周缘部接触，第二台阶面与所述外延片的上表面接触。
[0010]进一步地，所述弹性构件的至少一端向外延伸，并形成弧形限位机构，所述弧形限位机构的弯曲方向与所述弹性构件内缘部的弯曲方向相反。
[0011]进一步地，所述弹性构件是硅胶材质的。
[0012]进一步地，所述夹柄部还设置有握持机构。
[0013]更进一步地，所述握持机构为环形握持机构，且每一握持机构与相应夹柄部固定连接或一体设置。
[0014]进一步地，两个所述夹柄部的末端固定连接或一体设置。
[0015]进一步地，所述的外延片手动移栽夹具，还包括夹角控制组件，所述夹角控制组件包括传感器，所述传感器与至少一个所述夹臂连接，并用于检测所述外延片的直径。
[0016]更进一步地，所述夹角控制组件还包括外延片直径显示器，所述外延片直径显示器与所述传感器连接。
[0017]更进一步地，所述外延片直径显示器设置于两个夹臂之间，每一夹臂与所述外延片直径显示器之间设置一传感器，两个所述传感器对称分布。
[0018]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0019](1)本技术实施例提供的一种外延片手动移栽夹具，通过弹性构件具有弧形轮廓的内缘部对外延片外延进行夹取，方便操作，且该夹具夹持外延片的外径表面，不会损伤外延片的上下表面。
[0020](2)本技术实施例提供的一种外延片手动移栽夹具，其中，弹性构件的内缘部具有台阶结构，通过台阶结构的第二台阶面从上向下盖住外延片，并通过台阶结构的第一台阶面抵住外延片的周缘部，进而对外延片进行夹取，避免对外延片的上下表面造成损伤。
[0021](3)本技术实施例提供的一种外延片手动移栽夹具，其中，弹性构件由硅胶材质制成，采用硅胶材质与外延片接触，防止刮伤，且采用硅胶材质与外延片接触防止相对滑动；此外，弹性构件的至少一端向外延伸，并形成弯曲方向与弹性构件内缘部的弯曲方向相反的弧形限位机构，进一步防止外延片在夹持过程中旋转，以及，将转移的外延片放下时，利于使外延片与夹持机构分离。
[0022](4)本技术实施例提供的一种外延片手动移栽夹具，其中，通过设置夹角控制组件，以控制外延片手动移栽夹具的夹角范围，且夹角控制组件具体包括外延片直径显示器和传感器，以此获得夹取外延片的尺寸，进而使外延片手动移栽夹具还起到测量仪器的作用。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1是本技术实施例1中提供的一种外延片手动移栽夹具的结构示意图。
[0025]图2是图1中A部分的放大结构示意图。
[0026]图3是利用图1所示外延片手动移栽夹具夹持外延片的示意图。
[0027]图4是本技术实施例2中提供的一种外延片手动移栽夹具的结构示意图。
[0028]图5是利用图4所示外延片手动移栽夹具夹持外延片的示意图。
[0029]附图标记说明：1、夹臂，11、夹柄部，12、夹头部，2、弹性构件，21、第一台阶面，3、外延片，4、夹持空间，5、弧形限位机构，6、握持机构，7、夹角控制组件，71、传感器，72、外延片直径显示器。
具体实施方式
[0030]通过应连同所附图式一起阅读的以下具体实施方式将更完整地理解本技术。本文中揭示本技术的详细实施例；然而，应理解，所揭示的实施例仅具本技术的示范性，本技术可以各种形式来体现。因此，本文中所揭示的特定功能细节不应解释为具有限制性，而是仅解释为权利要求书的基础且解释为用于教示所属领域的技术人员在事实上任何适当详细实施例中以不同方式采用本技术的代表性基础。
[0031]实施例1
[0032]如图1和图3所示，一种外延片手动移栽夹具，包括两个夹臂1和两个弹性构件2，每一夹臂1包括相互连接的一夹柄部11和一夹头部12，两个夹柄部11相互连接，两个夹头部12相对设置；每一弹性构件2连接于一夹头部12，至少每一弹性构件2的内缘部具有弧形轮廓，弧形轮廓与外延片3的一侧周缘部吻合，两个弹性构件2之间形成一夹持空间4，夹持空间4用于夹持外延片3；具体实施时，每一弹性构件2的外缘部固定连接于一夹头部12的内侧面，且本实施例中，弹性构件2为弧形构件。
[0033]在具体实施过程中，两个夹柄部11的末端固定连接或一体设置，在本实施例中，两个夹柄部11的末端一体设置。
[0034]在本实施例中，弹性构件2的内缘部具有台阶结构，如图2所示，该台阶结构具有第一台阶面21和第二台阶面22，如图3所示，第一台阶面21与外延片3的一侧周缘部接触，第二台阶面22与外延片3的上表面接触，通过该台阶结构对外延片3进行夹取，可有效避免对外延片3的上下表面造成损伤。
[0035]在具体实施过程中，弹性构件2的至少一端向外延伸，并形成弧形限位机构5，弧形限位机构5的弯曲方向与弹性构件2内缘部的弯曲方向相反；在本实施例中，弹性构件2的两端分别向外延伸，并形成对称分布的弧形限位机构5，通过设置与弹性构件2内缘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外延片手动移栽夹具，其特征在于，包括：两个夹臂，每一夹臂包括相互连接的一夹柄部和一夹头部，两个所述夹柄部相互连接，两个所述夹头部相对设置；两个弹性构件，每一弹性构件连接于一夹头部，至少每一弹性构件的内缘部具有弧形轮廓，所述弧形轮廓与外延片的一侧周缘部吻合，两个所述弹性构件之间形成一夹持空间，所述夹持空间用于夹持所述外延片。2.根据权利要求1所述的外延片手动移栽夹具，其特征在于：所述弹性构件的内缘部具有台阶结构，所述台阶结构具有第一台阶面和第二台阶面，其中第一台阶面与所述外延片的一侧周缘部接触，第二台阶面与所述外延片的上表面接触。3.根据权利要求1所述的外延片手动移栽夹具，其特征在于：所述弹性构件的至少一端向外延伸，并形成弧形限位机构，所述弧形限位机构的弯曲方向与所述弹性构件内缘部的弯曲方向相反。4.根据权利要求1
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3中任一项所述的外延片手动移栽夹具，其特征在于：所述弹性构件是硅胶构件。...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡雨，戴冬云，
申请(专利权)人：江苏第三代半导体研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：