扫描电镜的样品平台及扫描电镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扫描电镜的样品平台及扫描电镜，样品平台包括：基座；旋转驱动组件，旋转驱动组件包括：蜗轮，蜗轮可枢转地设在基座上；蜗杆座，蜗杆座设在基座上；蜗杆，蜗杆设在蜗杆座上且啮合蜗轮以驱使蜗轮转动；驱动件，驱动件连接蜗杆以驱使蜗杆转动；样品承载台，样品承载台用于沿周向放置多个样品，样品承载台连接蜗轮以在蜗轮的带动下旋转。本实用新型专利技术通过蜗轮、蜗杆、蜗杆座及驱动件的配合使样品承载台旋转，从而使不同的样品移动到电子束下进行观测，提高空间利用率，同时蜗轮、蜗杆及蜗杆座的配合使整体结构强度高，从而提高了负载能力。负载能力。负载能力。

Sample platform of SEM and SEM

【技术实现步骤摘要】
扫描电镜的样品平台及扫描电镜


[0001]本技术涉及扫描电镜的零部件
，尤其是涉及一种扫描电镜的样品平台及扫描电镜。

技术介绍

[0002]随着科技的发展，扫描电镜在各科研、企事业单位被广泛应用。扫描电镜是阴极与阳极之间的高压产生高速电子，经过多级聚焦形成极细的电子束，在试样品表面逐点扫描激发表面的各种信号，最后收集并分析。为了减少更换试样品抽真空的耗时，样品托上一次会装几种甚至几十种不同的试样品，但是相关技术的方案使用杆件作为支撑，整体结构的强度低、负载能力差。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种扫描电镜的样品平台，提高结构的强度，增加负载能力。
[0004]本技术还提出应用上述样品平台的扫描电镜，提高结构的强度，增加负载能力。
[0005]根据本技术实施例的扫描电镜的样品平台，包括：基座；旋转驱动组件，所述旋转驱动组件包括：蜗轮，所述蜗轮可枢转地设在所述基座上；蜗杆座，所述蜗杆座设在所述基座上；蜗杆，所述蜗杆设在所述蜗杆座上且啮合所述蜗轮以驱使所述蜗轮转动；驱动件，所述驱动件连接所述蜗杆以驱使所述蜗杆转动；样品承载台，所述样品承载台用于沿周向放置多个样品，所述样品承载台连接所述蜗轮以在所述蜗轮的带动下旋转。
[0006]根据本技术实施例的扫描电镜的样品平台，通过蜗轮、蜗杆、蜗杆座及驱动件的配合使样品承载台旋转，从而使不同的样品移动到电子束下进行观测，提高空间利用率，同时蜗轮、蜗杆及蜗杆座的配合使整体结构强度高，从而提高了负载能力。
[0007]一些实施例中，所述蜗杆座包括间隔开设置的第一安装座和第二安装座，所述蜗杆的一端设有角接触轴承，所述角接触轴承设在第一安装座内，所述蜗杆的另一端设有深沟球轴承，所述深沟球轴承设在第二安装座内。
[0008]一些具体实施例中，所述第一安装座和所述角接触轴承设在所述蜗杆的靠近所述驱动件的一侧。
[0009]一些更具体的实施例中，所述蜗杆的靠近所述驱动件的一端设有螺纹安装部，所述第一安装座的靠近所述驱动件的一侧设有锁紧螺母，所述锁紧螺母设在所述螺纹安装部上且止抵在所述角接触轴承上。
[0010]可选地，所述第一安装座上设有装配孔，所述装配孔的远离所述驱动件的一端设有定位挡肩，所述角接触轴承的外圈设在所述装配孔内且止抵在所述定位挡肩上，所述锁紧螺母止抵在所述角接触轴承的内圈上。
[0011]一些实施例中，所述蜗杆座还包括固定座，所述固定座连接所述第一安装座和所
述第二安装座，所述固定座上设有安装孔，所述安装孔沿垂直于所述蜗杆轴向方向的第一方向延伸，所述基座上设有螺孔，所述螺孔内设有紧固件，所述紧固件穿设在所述安装孔内，所述固定座相对所述紧固件可沿所述第一方向调节。
[0012]进一步地，所述固定座的厚度小于所述第一安装座和所述第二安装座的厚度，所述基座上设有定位凸台和靠近所述定位凸台设置的定位面，所述固定座止抵在所述定位凸台上，所述第一安装座和所述第二安装座止抵在所述定位面上。
[0013]一些实施例中，所述蜗杆和所述驱动件的输出轴之间设有深沟槽联轴器，所述深沟槽联轴器的一端连接所述输出轴且另一端连接所述蜗杆。
[0014]可选地，所述驱动件为真空二相步进电机，所述样品平台还包括屏蔽壳，所述屏蔽壳设在所述基座上，所述真空二相步进电机设在所述屏蔽壳内，所述屏蔽壳上设有通孔，所述真空二相步进电机的输出轴穿过所述通孔与所述深沟槽联轴器相连。
[0015]根据本技术实施例的扫描电镜，包括上述的扫描电镜的样品平台。
[0016]根据本技术实施例的扫描电镜，通过蜗轮、蜗杆、蜗杆座及驱动件的配合使样品承载台旋转，从而使不同的样品移动到电子束下进行观测，提高空间利用率，同时蜗轮、蜗杆及蜗杆座的配合使整体结构强度高，从而提高了负载能力。
[0017]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0018]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0019]图1为本技术实施例中样品平台的爆炸示意图；
[0020]图2为本技术实施例中旋转驱动组件的剖视图。
[0021]附图标记：
[0022]100、样品平台；
[0023]10、基座；12、螺孔；13、定位凸台；14、定位面；
[0024]20、样品承载台；26、紧固件；
[0025]30、旋转驱动组件；31、蜗杆座；311、第一安装座；3111、锁紧螺母；3112、装配孔；3113、定位挡肩；312、第二安装座；313、固定座；3131、安装孔；32、蜗杆；321、角接触轴承；322、深沟球轴承；323、螺纹安装部；33、蜗轮；34、驱动件；35、深沟槽联轴器；
[0026]60、屏蔽壳。
具体实施方式
[0027]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0028]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、
“
顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0029]此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。
[0030]在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0031]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0032]下面结合附图描述本技术实施例的扫面电镜的样品平台100。
[0033]如图1所示，根据本技术实施例的扫面电镜的样品平台100，扫面电镜的样品平台100包括：基座10、旋转驱动组件30及样品承载台20。
[0034]旋转驱动组件30包括：蜗轮33、蜗杆座本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜的样品平台，其特征在于，包括：基座；旋转驱动组件，所述旋转驱动组件包括：蜗轮，所述蜗轮可枢转地设在所述基座上；蜗杆座，所述蜗杆座设在所述基座上；蜗杆，所述蜗杆设在所述蜗杆座上且啮合所述蜗轮以驱使所述蜗轮转动；驱动件，所述驱动件连接所述蜗杆以驱使所述蜗杆转动；样品承载台，所述样品承载台用于沿周向放置多个样品，所述样品承载台连接所述蜗轮以在所述蜗轮的带动下旋转。2.根据权利要求1所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述蜗杆座包括间隔开设置的第一安装座和第二安装座，所述蜗杆的一端设有角接触轴承，所述角接触轴承设在第一安装座内，所述蜗杆的另一端设有深沟球轴承，所述深沟球轴承设在第二安装座内。3.根据权利要求2所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述第一安装座和所述角接触轴承设在所述蜗杆的靠近所述驱动件的一侧。4.根据权利要求3所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述蜗杆的靠近所述驱动件的一端设有螺纹安装部，所述第一安装座的靠近所述驱动件的一侧设有锁紧螺母，所述锁紧螺母设在所述螺纹安装部上且止抵在所述角接触轴承上。5.根据权利要求4所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述第一安装座上设有装配孔，所述装配孔的远离所述驱动件的一端设有定位挡肩，所述角接触轴承的外圈设在所述装配孔内且止抵在所述定位挡肩上，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴天成，潘结春，张俊，
申请(专利权)人：国仪量子合肥技术有限公司，
类型：新型
国别省市：