一种单晶炉热场对中工装制造技术

本实用新型专利技术提供了一种单晶炉热场对中工装，涉及单晶炉技术领域。本实用新型专利技术包括基座，基座上滑动设有滑柱，滑柱上设有距离传感器，基座内设有定位夹持机构，所述基座上设有圆环形的滑轨，所述滑柱滑动设于滑轨内，通过所述定位夹持机构使基座固定在坩埚托杆上并且滑轨与坩埚托杆处于同轴状态。轨与坩埚托杆处于同轴状态。轨与坩埚托杆处于同轴状态。

A kind of tooling for thermal field alignment of single crystal furnace

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉热场对中工装


[0001]本技术涉及单晶炉
，具体涉及一种单晶炉热场对中工装。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。现有技术中，随着单晶炉的炉型及热场越来越大，并且运行时间较长，往往超过400h，合炉时，热场对中要求越来越高。
[0003]目前，只能依靠人员使用卷尺等测量工具对热场各个距离进行测量并校准对中，这种方法耗费时间长，作业效率低，缺乏可快速进行热场对中性检测的辅助工具，亟需解决。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是开发一种提高作业效率的单晶炉热场对中工装。
[0005]本技术通过如下的技术方案实现：
[0006]一种单晶炉热场对中工装，包括：
[0007]基座；
[0008]滑柱，滑动设于基座上；
[0009]距离传感器，设于滑柱上；
[0010]定位夹持机构，设于基座内；
[0011]其中，所述基座上设有圆环形的滑轨，所述滑柱滑动设于滑轨内，通过所述定位夹持机构使基座固定在坩埚托杆上并且滑轨与坩埚托杆处于同轴状态。
[0012]可选的，所述滑柱顶端转动设有转座，所述距离传感器设于转座上。
[0013]可选的，所述转座的转动轴水平并且与滑轨的径向垂直。
[0014]可选的，所述滑柱顶端设有转杆，所述转座与转杆转动连接，所述转杆端部设有与其螺纹配合的锁紧螺母。
[0015]可选的，所述定位夹持机构包括至少三个滑动设于基座底部的滑杆，多个所述滑杆环绕滑轨的圆心呈圆形布置，所述滑杆沿所述滑轨的径向方向滑动。
[0016]可选的，所述滑杆竖直设置，所述滑杆在其圆形布置的轨迹上等间距设置。
[0017]可选的，所述基座外的滑杆外表设有保护套。
[0018]可选的，所述基座内转动设有与滑轨处于同轴状态的驱动盘，所述基座上设有与驱动盘传动连接的驱动源，所述驱动盘上对应位置设有与滑杆配合的驱动槽，所述驱动槽为由驱动盘外侧向内侧延伸的弧形槽。
[0019]可选的，所述基座包括上支座和下支座，所述滑杆顶端与上支座底部滑动连接，所述下支座上对应设有与滑杆配合的滑槽，所述驱动盘转动设于上支座与下支座之间，所述上支座上设有与驱动盘传动连接的伺服电机。
[0020]可选的，所述上支座和下支座为同轴且平行设置的圆盘结构，所述滑轨及驱动盘
与上支座及下支座同轴设置。
[0021]本技术的有益效果是：
[0022]本技术利用了坩埚托杆在单晶炉台热场中不会发生形变的特点，基座固定于坩埚托杆上并以其作为基准点，保证热场安装的一致性，距离传感器以坩埚托杆为圆心做圆周运动以测量热场部件到圆心的距离，判断热场对中性并进行相应修正，提高了作业效率，基座在坩埚托杆上固定快捷，并且固定的同时自动完成定位使距离传感器以其为圆心圆周运动。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本技术结构图；
[0025]图2为下支座及驱动盘结构图；
[0026]图3为下支座结构图；
[0027]图4为驱动盘结构图。
具体实施方式
[0028]在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本专利技术创造的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
[0029]在本专利技术创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术创造的限制。
[0030]下面结合附图对本技术的实施例进行详细说明。
[0031]如图1~4所示，本技术公开了一种单晶炉热场对中工装，包括基座，基座包括上支座1和下支座2，上支座1和下支座2为同轴且平行设置的圆盘结构。
[0032]上支座1与下支座2之间滑动设有三个滑杆6，滑杆6顶端与上支座1底部滑动连接，滑杆6底端穿过下支座2伸出，下支座2下部的滑杆6外表设有一层保护套7，保护套7为橡胶套。下支座2上对应设有与滑杆6配合的滑槽11，滑杆6穿过滑槽11与其滑动连接，滑槽11沿滑杆6滑动方向设置。
[0033]滑杆6垂直于上支座1及下支座2设置，滑杆6沿上支座1及下支座2的径向滑动，三个滑杆6环绕上支座1及下支座2的圆心呈圆形等间距设置。
[0034]上支座1顶部设有滑轨4，滑轨4为圆环形，滑轨4与上支座1同轴设置，滑轨4内滑动设有滑柱8，滑柱8竖直设置。
[0035]滑柱8顶端转动设有转座9，转座9的转动轴水平并且与上支座1的径向垂直，转座9上设有距离传感器10。滑柱8顶端设有转杆，转座9与转杆转动连接，转座9绕转杆转动，转杆端部设有与其螺纹配合的锁紧螺母，旋转锁紧螺母，锁紧螺母顶紧在转座9上实现对转座9的固定，松开锁紧螺母，可转动转座9调整其倾斜角度，使距离传感器10对不同的热场部件进行测距。
[0036]上支座1与下支座2之间转动设有驱动盘3，驱动盘3与上支座1及下支座2同轴设置，驱动盘3与上支座1及下支座2平行设置。驱动盘3中心设有与其同轴固定连接的转轴，转轴两端分别与上支座1及下支座2的圆心转动连接，上支座1上对应位置固定设有与转轴传动连接的伺服电机5，伺服电机5驱动转轴带动驱动盘3转动。
[0037]驱动盘3上对应位置设有与滑杆6配合的驱动槽12，驱动槽12位置与滑杆6对应，滑杆6穿过驱动槽12且两者滑动接触，驱动槽12弧形布置，驱动槽12由驱动盘3外侧向内侧延伸。驱动盘3转动带动驱动槽12转动，驱动槽12与滑杆6配合，对滑杆6形成推动，使三个滑杆6在上支座1及下支座2的径向上同步滑动。
[0038]本技术使用时，基座卡套在坩埚托杆上，伺服电机5驱动转轴使驱动盘3转动，驱动盘3转动，驱动槽12与滑杆6配合，推动三个滑杆6同步向内侧滑动，下支座2下部的滑杆6夹紧在坩埚托杆上，使得上支座1及下支座2与坩埚托杆处于同轴状态，实现基座在坩埚托杆上的定位和固定，滑轨4与坩埚托杆处于同轴状态，滑柱8圆周运动的圆心处于坩埚托杆上。滑动滑柱8，使滑柱8圆周滑动，距离传感器10随之圆周滑动，距离传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉热场对中工装，其特征在于，包括：基座；滑柱，滑动设于基座上；距离传感器，设于滑柱上；定位夹持机构，设于基座内；其中，所述基座上设有圆环形的滑轨，所述滑柱滑动设于滑轨内，通过所述定位夹持机构使基座固定在坩埚托杆上并且滑轨与坩埚托杆处于同轴状态。2.根据权利要求1所述的单晶炉热场对中工装，其特征在于，所述滑柱顶端转动设有转座，所述距离传感器设于转座上。3.根据权利要求2所述的单晶炉热场对中工装，其特征在于，所述转座的转动轴水平并且与滑轨的径向垂直。4.根据权利要求3所述的单晶炉热场对中工装，其特征在于，所述滑柱顶端设有转杆，所述转座与转杆转动连接，所述转杆端部设有与其螺纹配合的锁紧螺母。5.根据权利要求1所述的单晶炉热场对中工装，其特征在于，所述定位夹持机构包括至少三个滑动设于基座底部的滑杆，多个所述滑杆环绕滑轨的圆心呈圆形布置，所述滑杆沿所述滑轨的径向方向滑动。6.根据权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘军明，刘忠琼，林永圳，陈效贤，张军，马自成，
申请(专利权)人：四川永祥光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：