真空载样车及真空系统技术方案

本公开提供了一种真空载样车及真空系统，真空载样车包括：车体，滑动装置，与车体连接，用于使车体滑动；以及一个或多个载样装置，设置在车体上，用于竖立地承载样品。用于竖立地承载样品。用于竖立地承载样品。

Vacuum sample vehicle and vacuum system

【技术实现步骤摘要】
真空载样车及真空系统


[0001]本公开涉及真空传样
，特别涉及一种真空载样车以及包含真空载样车的真空系统。

技术介绍

[0002]真空传样系统主要是将不同的真空系统互联起来，使样品能够在真空环境下传递到不同的处理系统或者分析系统中。真空传样系统被广泛应用于真空、超高真空、表面科学、航空航天以及半导体等领域。互联的真空系统结构庞大，通常样品在一个设备或仪器处完成一项处理或分析后，需要转向另一设备或仪器进行下一步的处理或分析，只能通过载样车在真空管道内穿行进行传样。
[0003]目前的技术中，真空载样车通过圆形或六边形托盘承载样品，样品配合托盘形状在平放状态下与托盘卡合在一起。当载样车到达指定位置后，需要与抓取装置以及升降装置相互配合，经过至少六个步骤完成样品转移，步骤繁琐，操作不便，且增加掉样风险。另外，传统技术中的载样车每次仅能传递一个样品，传递样品数量较少，传样效率低。

技术实现思路

[0004]本公开提供了一种真空载样车，其特征在于，包括：车体，滑动装置，与车体连接，用于使车体滑动；以及一个或多个载样装置，设置在车体上，用于竖立地承载样品。
[0005]在一些实施例中，载样装置，包括：凸台，设置在车体上；以及一个或多个托架，设置在凸台上，用于使样品竖立在托架中。
[0006]在一些实施例中，一个或多个托架沿弧线放射状分布在凸台上。
[0007]在一些实施例中，凸台整体沿弧线延伸，并且凸台的上表面向弧线内侧倾斜。
[0008]在一些实施例中，一个或多个载样装置包括：第一载样装置和第二载样装置，第一载样装置与第二载样装置对称设置且间隔开。
[0009]在一些实施例中，一个或多个载样装置还包括：第三载样装置和第四载样装置，第三载样装置与第四载样装置对称设置且间隔开，第一载样装置和第二载样装置与第三载样装置和第四载样装置相对于车体的中心对称设置。
[0010]在一些实施例中，真空载样车还包括：一个或多个附加载样装置，设置在车体的至少一端，附加载样装置包括：附加凸台，设置在车体的至少一端上；以及一个或多个附加托架，设置在附加凸台上，用于竖立地承载附加物品。
[0011]在一些实施例中，滑动装置包括：多个滑轮，设置在车体上。
[0012]在一些实施例中，多个滑轮包括：至少两对定心滑轮；以及至少一对偏心滑轮。
[0013]在一些实施例中，真空载样车还包括：驱动装置，设置在车体上，用于接收驱动以带动车体滑动。
[0014]在一些实施例中，驱动装置包括：驱动磁体，包括外弧面；导磁体，驱动磁体通过导磁体安装在车体上。
[0015]在一些实施例中，驱动装置还包括：C型安装座，横向设置在车体上，C型开口用于容纳轨道，其中所述导磁体设置在所述C型安装座底部。
[0016]在一些实施例中，车体包括：多个开口；和/或多个加强筋。
[0017]本公开提供了一种真空系统，包括：真空腔；真空轨道，设置在真空腔中；以及根据本公开中任一项实施例中的真空载样车，通过滑动装置滑动设置在真空轨道上。
[0018]根据本公开一些实施例的真空载样车能够带来有益的技术效果。例如，根据本公开一些实施例的真空载样车能够解决常规技术中操作不便、传递样品数量较少等问题，能够实现稳定传样、极大程度上避免掉样问题、传递样品数量多的技术效果。
[0019]根据本公开一些实施例的真空系统能够带来有益的技术效果。例如，根据本公开一些实施例的真空系统能够解决常规技术中步骤繁琐、掉样风险高、传样效率低等问题，能够实现传样步骤简洁、传样效率高的技术效果。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1示出根据本公开一些实施例的真空载样车的立体结构示意图；
[0022]图2示出根据本公开一些实施例的真空载样车的俯视图；
[0023]图3示出根据本公开另一些实施例的驱动装置的侧视图；以及
[0024]图4示出根据本公开一些实施例的真空系统的示意图。
[0025]在上述附图中，各附图标记分别表示：
[0026]100真空载样车
[0027]10车体
[0028]11a、11b开口
[0029]12加强筋
[0030]20滑动装置
[0031]21滑轮
[0032]211a、211b定心滑轮
[0033]212a偏心滑轮
[0034]30载样装置
[0035]30a第一载样装置
[0036]30b第二载样装置
[0037]30c第三载样装置
[0038]30d第四载样装置
[0039]31凸台
[0040]31a第一凸台
[0041]32b第二凸台
[0042]33c第三凸台
[0043]34d第四凸台
[0044]32、32a、32b、32c、32d托架
[0045]40a、40b附加载样装置
[0046]50、650驱动装置
[0047]51a、51b、651a、651b驱动磁体
[0048]652a、652b导磁体
[0049]53a、53b、653a、653b C型安装座
[0050]531a、531b C型开口
[0051]200样品
[0052]300附加物品
[0053]400真空轨道
[0054]500真空腔
[0055]1000真空系统
具体实施方式
[0056]下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。
[0057]在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
[0058]图1示出根据本公开一些实施例的真空载样车100的立体结构示意图。图2示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空载样车，其特征在于，包括：车体，滑动装置，与所述车体连接，用于使所述车体滑动；以及一个或多个载样装置，设置在所述车体上，用于竖立地承载样品，所述载样装置包括：凸台，设置在所述车体上；以及一个或多个托架，设置在所述凸台上，用于使所述样品竖立在所述托架中。2.根据权利要求1所述的真空载样车，其特征在于，所述一个或多个托架沿弧线放射状分布在所述凸台上。3.根据权利要求2所述的真空载样车，其特征在于，所述凸台整体沿所述弧线延伸，并且所述凸台的上表面向所述弧线内侧倾斜。4.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的真空载样车，其特征在于，所述一个或多个载样装置包括：第一载样装置和第二载样装置，所述第一载样装置与所述第二载样装置对称设置且间隔开。5.根据权利要求4所述的真空载样车，其特征在于，所述一个或多个载样装置还包括：第三载样装置和第四载样装置，所述第三载样装置与所述第四载样装置对称设置且间隔开，所述第一载样装置和所述第二载样装置与所述第三载样装置和所述第四载样装置相对于所述车体的中心对称设置。6.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的真空载样车，其特征在于，还包括：一个或多个附加载样装置，设置在所述车体的至少一端，所述附加载样装置包括：附加凸台，设置在所述车体的至...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈飞，王天邻，施燮锋，
申请(专利权)人：费勉仪器科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：