边缘夹持的晶圆翻转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种边缘夹持的晶圆翻转装置，包括载台、支撑柱、转动组件、旋转元件以及两个第一夹持元件。支撑柱设置于载台上且包括第一柱及第二柱。转动组件组设于第一柱上且包括转轮。旋转元件枢接于转轮与第二柱，其中旋转元件包括第一基座及第二基座。两个第一夹持元件设置于旋转元件上，且包括第一上夹持片及第一下夹持片，第一上夹持片与第一下夹持片对应设置且是以电动控制。因此，本实用新型专利技术的边缘夹持的晶圆翻转装置在晶圆存在变形或翘曲下依旧可稳固、安全的夹持晶圆并进行翻转。转。转。

Wafer turnover device with edge clamping

【技术实现步骤摘要】
边缘夹持的晶圆翻转装置


[0001]本技术是关于边缘夹持的晶圆翻转装置，特别是一种适用于变形晶圆的边缘夹持的晶圆翻转装置。

技术介绍

[0002]在半导体制程中，需要对晶圆进行多道制程处理。依据不同的制程需要，晶圆可能需配合进行180度翻转。现有的晶圆翻转装置是以传统吸盘式或夹持式装置翻转晶圆。然而，由于晶圆经多道制程处理后可能产生变形或翘曲，在晶圆存在微量变形或翘曲(小于2mm)的情况下，现有的传统吸盘式或夹持式装置无法稳固、安全的夹持、传输晶圆，更无法对晶圆进行翻转。
[0003]因此，需要一种可以解决上述问题的晶圆的边缘夹持的晶圆翻转装置，经过研究实验完成本技术。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的是在提供一种边缘夹持的晶圆翻转装置，其可稳固、安全的夹持、传输晶圆，并对晶圆进行翻转，即使在晶圆存在严重变形或翘曲(小于10mm)的情况下，依旧能够对晶圆进行翻转。
[0005]为达成上述目的，本技术的边缘夹持的晶圆翻转装置包括载台、支撑柱、转动组件、旋转元件以及两个第一夹持元件。其中支撑柱设置于载台上且包括第一柱及第二柱，其中第一柱与第二柱对应设置，用以支撑转动组件、旋转元件以及第一夹持元件。转动组件组设于第一柱上且包括转轮。旋转元件枢接于转轮与第二柱，通过旋转转轮以连动旋转元件旋转，其中旋转元件包括第一基座及第二基座。两个第一夹持元件分别设置于第一基座的第一表面与第二基座的第二表面上，其中第一夹持元件包括第一上夹持片及第一下夹持片，第一上夹持片与第一下夹持片对应设置且是以电动控制，因此晶圆可放置于第一上夹持片与第一下夹持片之间，以夹持住晶圆进行翻转。
[0006]上述边缘夹持的晶圆翻转装置可还包括两个第二夹持元件，可分别设置于第一基座的第三表面与第二基座的第四表面上，其中第二夹持元件可包括第二上夹持片及第二下夹持片，第二上夹持片与第二下夹持片可对应设置且是以电动控制，而第二夹持元件的作动方式与第一夹持元件相似。
[0007]上述第一表面至第二表面的距离可为第一距离，第三表面至第四表面的距离可为第二距离，第一距离不同于第二距离，因此以应用于不同尺寸的晶圆，例如第一距离大于第二距离，或第一距离小于第二距离。
[0008]上述旋转元件可包括转轴，第二柱可包括孔洞，旋转元件的转轴可与第二柱的孔洞对应设置。
[0009]上述转动组件可连接动力元件。此外，上述动力元件可为马达。
[0010]通过上述的边缘夹持的晶圆翻转装置，可稳固、安全的夹持、传输晶圆，并对晶圆
进行翻转；即使在晶圆存在变形或翘曲的情况下，依旧能够对晶圆进行翻转。
[0011]以上概述与接下来的详细说明是为了进一步示例性说明本技术的申请专利范围。而有关本技术的其他目的与优点，将在后续的说明与图示加以阐述。
附图说明
[0012]图1是本技术实施例的边缘夹持的晶圆翻转装置的示意图。
[0013]图2是本技术实施例的边缘夹持的晶圆翻转装置的俯视图。
[0014]图3是本技术实施例的边缘夹持的晶圆翻转装置的侧视图。
[0015]图4是本技术实施例的边缘夹持的晶圆翻转装置的另一视角的侧视图。
[0016]附图标记说明
[0017]1：载台；
[0018]2：支撑柱；
[0019]21：第一柱；
[0020]22：第二柱；
[0021]221：孔洞；
[0022]3：转动组件；
[0023]31：转轮；
[0024]4：旋转元件；
[0025]41：第一基座；
[0026]411：第一表面；
[0027]412：第三表面；
[0028]42：第二基座；
[0029]421：第二表面；
[0030]422：第四表面；
[0031]43：转轴；
[0032]5：第一夹持元件；
[0033]51：第一上夹持片；
[0034]52：第一下夹持片；
[0035]6：第二夹持元件；
[0036]61：第二上夹持片；
[0037]62：第二下夹持片；
[0038]7：动力元件；
[0039]100：边缘夹持的晶圆翻转装置；
[0040]L1：第一距离；
[0041]L2：第二距离。
具体实施方式
[0042]请参阅图1至图4，其分别为本技术实施例的边缘夹持的晶圆翻转装置的示意图、俯视图、侧视图及另一视角的侧视图。图中示出一种边缘夹持的晶圆翻转装置100，包括
一个载台1、一个支撑柱2、一个转动组件3、一个旋转元件4、两个第一夹持元件5、两个第二夹持元件6以及一个动力元件7。支撑柱2设置于载台1上且包括一个第一柱21及一个第二柱22，其中第一柱21与第二柱22对应设置，用以支撑转动组件3、旋转元件4、第一夹持元件5与第二夹持元件6。转动组件3组设于第一柱21上且包括一个转轮31；转动组件3的转轮31连接一个动力元件7，用以驱动旋转元件4进行旋转。旋转元件4枢接于转轮31，且旋转元件4的转轴43与第二柱22的一个孔洞221对应设置，通过旋转转轮31以连动旋转元件4旋转，其中旋转元件4包括一个第一基座41及一个第二基座42。在本实施例中，动力元件7为马达，但不限于此，可依据实际需求更换为任何动力源。
[0043]此外，第一夹持元件5分别设置于第一基座41的一个第一表面411与第二基座42的一个第二表面421上，其中第一夹持元件5包括一个第一上夹持片51及一个第一下夹持片52，第一上夹持片51与第一下夹持片52对应设置且是以电动控制，因此晶圆可放置于第一上夹持片51与第一下夹持片52之间，以上下夹合的方式夹持住晶圆进行翻转。另一方面，两个第二夹持元件6分别设置于第一基座41的一个第三表面412与第二基座42的一个第四表面422上，其中第二夹持元件6包括一个第二上夹持片61及一个第二下夹持片62，第二上夹持片61与第二下夹持片62对应设置且是以电动控制，而第二夹持元件6的作动方式与第一夹持元件1相似，故此处不再赘述。通过旋转元件4的旋转，使第一夹持元件5与第二夹持元件6上夹持的晶圆得以进行翻转。
[0044]在本实施例中，第一表面411至第二表面421的距离为一个第一距离L1，第三表面412至第四表面422的距离为一个第二距离L2，第一距离L1大于第二距离L2，但不限于此，可依据实际需求调整第一距离L1与第二距离L2，因此使第一夹持元件5与第二夹持元件6可分别对应于不同尺寸的晶圆，或可同时处理两种不同尺寸的晶圆。
[0045]因此，上述实施例的边缘夹持的晶圆翻转装置得以稳固、安全的夹持、传输晶圆，并对晶圆进行翻转。即使晶圆存在变形或翘曲的情况下，依旧能够稳固且安全的夹持、传输、及翻转晶圆。
[0046]上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本技术所主张的权利范围自应以申请专利范围本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种边缘夹持的晶圆翻转装置，其特征在于，包括：载台；支撑柱，设置于该载台上且包括第一柱及第二柱，其中该第一柱与该第二柱对应设置；转动组件，组设于该第一柱上且包括转轮；旋转元件，枢接于该转轮与该第二柱，其中该旋转元件包括第一基座及第二基座；以及两个第一夹持元件，分别设置于该第一基座的第一表面与该第二基座的第二表面上，其中该第一夹持元件包括第一上夹持片及第一下夹持片，该第一上夹持片与该第一下夹持片对应设置且是以电动控制。2.如权利要求1所述的边缘夹持的晶圆翻转装置，其特征在于，还包括两个第二夹持元件，分别设置于该第一基座的第三表面与该第二基座的第四表面上...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄宗闵，吴俊贤，彭成斌，柯宏坤，
申请(专利权)人：台湾富创得工程股份有限公司，
类型：新型
国别省市：