一种用于扩散炉的炉体调节机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于扩散炉的炉体调节机构，包括支撑架，包括支架、第一支撑杆和第二支撑杆，第一支撑杆与第二支撑杆设于支架上并能沿支架移动，且第一支撑杆和第二支撑杆用于承托炉体；调节装置，分别与第一支撑杆、第二支撑杆相连，用于驱动第一支撑杆和第二支撑杆独立移动；调节装置能驱动第一支撑杆和第二支撑杆同向移动，以调节炉体在支撑架上的水平位置；调节装置能驱动第一支撑杆和第二支撑杆相互靠近或远离，以调节炉体的高度位置。根据本实用新型专利技术提供的用于扩散炉的炉体调节机构，可以分别调节第一支撑杆和第二支撑杆的位置，两根支撑杆的移动保持独立，从而分别调节炉体的水平位置和高度位置，提高炉体定位精度。提高炉体定位精度。提高炉体定位精度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于扩散炉的炉体调节机构


[0001]本技术炉体安装
，特别是涉及一种用于扩散炉的炉体调节机构。

技术介绍

[0002]随着光伏产业的不断发展，硅片加工工艺对炉体定位的精度要求不断提高。由于管式设备是一种对硅片在炉体中轴线进行化学工艺和传送的设备，提高炉体安装精度能有效提升管式设备的稳定性。目前管式设备对炉体进行安装定位方式是：先用两根支撑杆将炉体支撑起来，然后调节这两根支撑杆的位置完成对炉体的径向定位。炉体定位完成后，继续安装其他零件和元器件。设备组装完成后，开始进入生产。
[0003]管式设备在工况下运转一段时间后，炉体需要重新调节定位。此时，为避免大规模的拆装零件和元器件，不能调节炉体内侧的支撑杆，只能通过调节炉体外侧的支撑杆来实现炉体的定位。由于内侧支撑杆支撑炉体的位置始终是内侧支撑杆的棱线位置，在调节外侧支撑杆时，炉体在水平移动的同时也伴随上下移动，无法独立调节炉体的水平位置或高度位置，导致炉体定位误差提高，精度降低。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种用于扩散炉的炉体调节机构，可以分别调节第一支撑杆和第二支撑杆的位置，两根支撑杆的移动保持独立，从而分别调节炉体的水平位置和高度位置，提高炉体定位精度。
[0005]根据本技术的第一方面实施例的一种用于扩散炉的炉体调节机构，包括支撑架，用于支撑炉体，支撑架包括支架、第一支撑杆和第二支撑杆，第一支撑杆与第二支撑杆设于支架上并能沿支架移动，且第一支撑杆和第二支撑杆用于承托炉体；调节装置，设于支撑架其中一侧，调节装置分别与第一支撑杆、第二支撑杆相连，用于驱动第一支撑杆和第二支撑杆独立移动；调节装置能驱动第一支撑杆和第二支撑杆同向移动，以调节炉体在支撑架上的水平位置；调节装置能驱动第一支撑杆和第二支撑杆相互靠近或远离，以调节炉体的高度位置。
[0006]根据本技术实施例的一种用于扩散炉的炉体调节机构，至少具有如下技术效果：第一支撑杆和第二支撑杆支撑炉体的位置是杆体棱线与炉体的相接位置，当炉体使用一段时间后，需要重新对炉体调节定位，若驱动第一支撑杆与第二支撑杆向左移动，则第一支撑杆棱线和第二支撑杆棱线之间的距离不变，炉体随第一支撑杆和第二支撑杆向左移动，炉体的中轴线也只在水平方向向左移动，而不会改变炉体的高度位置；若驱动第一支撑杆和第二支撑杆相互靠近，则第一支撑杆和第二支撑杆会将炉体顶起，炉体中轴线始终在第一支撑杆和第二支撑杆之间的中心平面上，炉体中轴线上移，但不会水平偏移，因此不会改变炉体的水平位置。通过对第一支撑杆和第二支撑杆的独立驱动，可以根据实际需要调节炉体的位置，分别控制炉体在水平方向和高度方向的位移，重新对炉体定位，减小定位误差，提高定位精度。
[0007]根据本技术的一些实施例，第一支撑杆与第二支撑杆平行设置，支架垂直于第一支撑杆。
[0008]根据本技术的一些实施例，调节装置包括调节座、第一驱动部和第二驱动部，调节座与支架固定连接，第一驱动部和第二驱动部与调节座活动连接，第一驱动部与第一支撑杆相连以驱动第一支撑杆移动，第二驱动部与第二支撑杆相连以驱动第二支撑杆移动。
[0009]根据本技术的一些实施例，第一驱动部包括调节螺杆和调节板，调节板设于第一支撑杆上，调节螺杆一端转动设于调节座上并相对于调节座轴向固定，另一端穿过调节板并与调节板螺纹连接，旋转调节螺杆能驱动调节板和第一支撑杆移动。
[0010]根据本技术的一些实施例，第一支撑杆与调节板之间固定连接有方通，调节螺杆远离调节座的一端穿过调节板并伸入方通内。
[0011]根据本技术的一些实施例，第二驱动部包括调节丝杠和顶块，顶块与第二支撑杆连接，调节丝杠一端转动设于调节座上并相对于调节座轴向固定，另一端穿过顶块并与顶块螺纹连接，旋转调节丝杠能驱动顶块和第二支撑杆移动。
[0012]根据本技术的一些实施例，顶块设于第二支撑杆底部，第二驱动部设于第一驱动部下方。
[0013]根据本技术的一些实施例，调节座上设有两个安装口，调节螺杆和调节丝杠分别穿设于两个安装口内。
[0014]根据本技术的一些实施例，安装口为U型缺口，一端设置在调节座中部，另一端延伸至调节座侧面，以便将调节螺杆和调节丝杠连接到调节座上。
[0015]根据本技术的一些实施例，还包括限位装置，两个限位装置分别设于第一支撑杆和第二支撑杆上，用于限制第一支撑杆和第二支撑杆的移动范围。
[0016]根据本技术的一些实施例，限位装置包括限位螺钉和第一限位槽，第一限位槽设于支架上，第一支撑杆设于第一限位槽上方，限位螺钉穿过第一支撑杆并伸入第一限位槽，第一限位槽沿第一支撑杆的移动方向延伸，限位螺钉能沿第一限位槽移动，以限制第一支撑杆的移动范围。
[0017]根据本技术的一些实施例，限位螺钉穿过第一限位槽并从下方伸出，并且限位螺钉伸出第一限位槽的一端连接有限位螺母，以限制限位螺钉在高度方向的位移。
[0018]根据本技术的一些实施例，顶块上设有让位口，以避开限位螺钉和限位螺母。
[0019]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0020]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0021]图1是本技术实施例的安装结构示意图；
[0022]图2是图1中A
‑
A向的局部剖面视图；
[0023]图3是本技术实施例的爆炸视图；
[0024]图4是图2中B
‑
B向的局部剖面视图。
[0025]附图标记：
[0026]支撑架100，炉体101，支架110，架体111，安装板112，第一板113，第二板114，第一限位槽115，限位螺钉116，限位螺母117，第二限位孔118，限位圆孔119，第一支撑杆120，第二支撑杆130；
[0027]调节装置200，调节座210，安装口211，第一驱动部220，调节螺杆221，调节板222，方通223，第二驱动部230，调节丝杠231，顶块232，让位口233，卡环240。
具体实施方式
[0028]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0029]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于扩散炉的炉体调节机构，其特征在于包括：支撑架(100)，用于支撑所述炉体(101)，所述支撑架(100)包括支架(110)、第一支撑杆(120)和第二支撑杆(130)，所述第一支撑杆(120)与所述第二支撑杆(130)设于所述支架(110)上并能沿所述支架(110)移动，且所述第一支撑杆(120)和所述第二支撑杆(130)用于承托所述炉体(101)；调节装置(200)，设于所述支撑架(100)其中一侧，所述调节装置(200)分别与所述第一支撑杆(120)、所述第二支撑杆(130)相连，用于驱动所述第一支撑杆(120)和所述第二支撑杆(130)独立移动；所述调节装置(200)能驱动所述第一支撑杆(120)和所述第二支撑杆(130)同向移动，以调节所述炉体(101)在所述支撑架(100)上的水平位置；所述调节装置(200)能驱动所述第一支撑杆(120)和所述第二支撑杆(130)相互靠近或远离，以调节所述炉体(101)的高度位置。2.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的炉体调节机构，其特征在于：所述第一支撑杆(120)与所述第二支撑杆(130)平行设置，所述支架(110)垂直于所述第一支撑杆(120)。3.根据权利要求2所述的一种用于扩散炉的炉体调节机构，其特征在于：所述调节装置(200)包括调节座(210)、第一驱动部(220)和第二驱动部(230)，所述调节座(210)与所述支架(110)固定连接，所述第一驱动部(220)和所述第二驱动部(230)与所述调节座(210)活动连接，所述第一驱动部(220)与所述第一支撑杆(120)相连以驱动所述第一支撑杆(120)移动，所述第二驱动部(230)与所述第二支撑杆(130)相连以驱动所述第二支撑杆(130)移动。4.根据权利要求3所述的一种用于扩散炉的炉体调节机构，其特征在于：所述第一驱动部(220)包括调节螺杆(221)和调节板(222)，所述调节板(222)设于所述第一支撑杆(120)上，所述调节螺杆(221)一端转动设于所述调节座(210)上并相对于所述调节座(210)轴向固定，另一端穿过所述调节板(222)并与所述调节板(222)螺纹连接，旋转所述调节螺杆(221)能驱动所述调节板(222)和所述第一支撑杆(120)移动。5.根据权利要求4所述的一种用于扩散炉的炉体调节机构，其特征在于：所述第一支撑杆(120)与所述调节板(222)之间固定连接有方通(223)，所述调节螺杆(221)远离所述调节座(210)的一端穿过所述调节板(222)并伸入所述方通(223)内。6.根据权利要求4所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：李时俊，张枭，韩泉，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：