一种超声检测模组、制作方法、驱动方法和显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种超声检测模组、制作方法、驱动方法和显示装置，其中一实施例的超声检测模组包括依次层叠设置在基板上的检测电路和超声波传感器，其中，超声波传感器用于发射超声波、以及接收反射的超声波并输出第一电信号；检测电路包括复位单元、传输保持单元、存储单元和读取单元，其中，检测电路响应于复位单元接收的复位控制信号、以及传输保持单元接收的传输保持控制信号接收第一电信号，并通过传输保持单元将第一电信号存储并按照预设时间保持在存储单元，响应于读取单元接收的读取控制信号读取传输保持单元输出的第二电信号；复位单元、存储单元和读取单元为低温多晶硅薄膜晶体管，传输保持单元为金属氧化物薄膜晶体管。管。管。

The invention relates to an ultrasonic testing module, a manufacturing method, a driving method and a display device

【技术实现步骤摘要】
一种超声检测模组、制作方法、驱动方法和显示装置


[0001]本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种超声检测模组、制作方法、驱动方法和显示装置。

技术介绍

[0002]近年来超声波传感器在电子消费领域、汽车领域、工业领域和医学检测领域都存在广泛的应用。在消费电子和医学领域主要作为超声成像传感器应用于指纹识别、手势识别和超声成像等方面。
[0003]传感器成像的清晰度决定了用户的体验程度的好坏，例如在医疗检测领域，成像的质量越高，越有助于医生对患者的病情进行更加准确的判断从而进行合理的医学治疗，因此，如何提高超声波传感器的清晰度成为亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题至少之一，本专利技术第一个实施例提供一种超声检测模组，包括依次层叠设置在基板上的检测电路和超声波传感器，其中，
[0005]所述超声波传感器，用于发射超声波、以及接收反射的超声波并输出第一电信号；
[0006]所述检测电路包括复位单元、传输保持单元、存储单元和读取单元，其中，所述检测电路响应于所述复位单元接收的复位控制信号、以及所述传输保持单元接收的传输保持控制信号接收所述第一电信号，并通过所述传输保持单元将所述第一电信号存储并按照预设时间保持在所述存储单元，响应于所述读取单元接收的读取控制信号读取所述传输保持单元输出的第二电信号；
[0007]所述复位单元、存储单元和读取单元为低温多晶硅薄膜晶体管，所述传输保持单元为金属氧化物薄膜晶体管。
[0008]例如，在本申请一些实施例提供的超声检测模组中，所述复位单元、传输保持单元、存储单元和读取单元均包括第一端、第二端和控制端；
[0009]所述复位单元的第一端与所述传输保持单元的第一端连接于第一节点，所述复位单元的第二端接入复位电压，所述复位单元的控制端接入所述复位控制信号，所述复位单元响应于所述复位控制信号将所述第一节点置为复位电压；
[0010]所述传输保持单元的第一端与所述超声波传感器的第一端连接于所述第一节点，所述传输保持单元的第二端与所述存储单元的控制端连接，所述传输保持单元的控制端接入所述传输保持控制信号，在所述复位控制信号的控制下，所述传输保持单元响应于所述传输保持控制信号将所述超声波传感器的第一端输出的第一电信号从所述传输保持单元的第一端传输至所述传输保持单元的第二端以传输至所述存储单元的控制端；
[0011]所述存储单元的第一端接入第一电源信号，所述存储单元的第二端与所述读取单元的第一端连接，所述存储单元对所述第一电信号进行放大并输出所述第二电信号；
[0012]所述读取单元的第二端与读取线连接，所述读取单元的控制端接入所述读取控制
信号，所述读取单元响应于所述读取控制信号将所述第二电信号从所述读取单元的第一端传输至所述读取单元的第二端。
[0013]例如，在本申请一些实施例提供的超声检测模组中，所述检测电路包括：
[0014]设置在所述基板上的图案化的第一有源材料层，所述第一有源材料层包括同层设置的所述复位单元的有源层、存储单元的有源层和读取单元的有源层；
[0015]覆盖所述第一有源材料层和露出的所述基板的第一栅绝缘层；
[0016]设置在所述第一栅绝缘层上的图案化的第一栅极材料层，所述第一栅极材料层包括同层设置的所述复位单元的栅极、存储单元的栅极和读取单元的栅极；
[0017]覆盖所述第一栅极材料层和露出的所述第一栅绝缘层的第一层间绝缘层；
[0018]设置在所述第一层间绝缘层上的图案化的第二有源材料层，所述第二有源材料层为所述传输保持单元的有源层；
[0019]覆盖所述第二有源材料层和露出的所述第一层间绝缘层的第二栅绝缘层；
[0020]设置在所述第二栅绝缘层上的图案化的第二栅极材料层，所述第二栅极材料层为所述传输保持单元的栅极；
[0021]覆盖所述第二栅极材料层和露出的所述第二栅绝缘层的第二层间绝缘层；
[0022]设置在所述第二层间绝缘层上的图案化的第一金属层，所述第一金属层包括同层设置的所述复位单元的源极和漏极、传输保持单元的源极和漏极、存储单元的源极和漏极和读取单元的源极和漏极、以及第一连接金属，所述源极和漏极通过过孔与对应的有源层连接，所述第一连接金属通过过孔与所述存储单元的栅极连接；
[0023]覆盖所述第一金属层和露出的所述第二层间绝缘层的第一无机层；
[0024]设置在所述第一无机层上的图案化的第二金属层，所述第二金属层通过对应的过孔分别连接所述传输保持单元的漏极和所述第一连接金属；以及
[0025]覆盖所述第二金属层的和露出的所述第一无机层的第二无机层。
[0026]例如，在本申请一些实施例提供的超声检测模组中，所述超声波传感器包括：
[0027]所述第二金属层复用的第一电极；
[0028]覆盖所述第二无机层的压电材料层；以及
[0029]覆盖所述压电材料层的第二电极。
[0030]例如，在本申请一些实施例提供的超声检测模组中，所述复位单元、传输保持单元、存储单元和读取单元均包括第一端、第二端和控制端；
[0031]所述复位单元的第一端与所述传输保持单元的第一端连接于第二节点，所述复位单元的第二端接入复位电压，所述复位单元的控制端接入所述复位控制信号，所述复位单元响应于所述复位控制信号将所述第二节点置为复位电压；
[0032]所述传输保持单元的第一端与所述超声波传感器的第一端连接于所述第二节点，所述传输保持单元的第二端与所述存储单元的第一端连接，所述传输保持单元的控制端接入所述传输保持控制信号，在所述复位控制信号的控制下，所述传输保持单元响应于所述传输保持控制信号将所述超声波传感器的第一端输出的第一电信号从所述传输保持单元的第一端传输至所述传输保持单元的第二端以传输至所述存储单元的第一端；
[0033]所述存储单元的第二端与所述读取单元的第一端连接，所述存储单元的控制端接入存储控制信号，所述存储单元响应于所述存储控制信号将所述第一电信号传输至所述存
储单元的第二端并作为所述第二电信号输出；
[0034]所述读取单元的第二端与读取线连接，所述读取单元的控制端接入所述读取控制信号，所述读取单元响应于所述读取控制信号将所述第二电信号从所述读取单元的第一端传输至所述读取单元的第二端。
[0035]例如，在本申请一些实施例提供的超声检测模组中，所述检测电路包括：
[0036]设置在所述基板上的图案化的第三有源材料层，所述第三有源材料层包括同层设置的所述复位单元的有源层、存储单元的有源层和读取单元的有源层；
[0037]覆盖所述第三有源材料层和露出的所述基板的第三栅绝缘层；
[0038]设置在所述第三栅绝缘层上的图案化的第三栅极材料层，所述第三栅极材料层包括同层设置的所述复位单元的栅极、存储单元的栅极和读取单元的栅极；
[0039]覆盖所述第三栅极材料层和露出的所述第三栅绝缘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超声检测模组，其特征在于，包括依次层叠设置在基板上的检测电路和超声波传感器，其中，所述超声波传感器，用于发射超声波、以及接收反射的超声波并输出第一电信号；所述检测电路包括复位单元、传输保持单元、存储单元和读取单元，其中，所述检测电路响应于所述复位单元接收的复位控制信号、以及所述传输保持单元接收的传输保持控制信号接收所述第一电信号，并通过所述传输保持单元将所述第一电信号存储并按照预设时间保持在所述存储单元，响应于所述读取单元接收的读取控制信号读取所述传输保持单元输出的第二电信号；所述复位单元、存储单元和读取单元为低温多晶硅薄膜晶体管，所述传输保持单元为金属氧化物薄膜晶体管。2.根据权利要求1所述的超声检测模组，其特征在于，所述复位单元、传输保持单元、存储单元和读取单元均包括第一端、第二端和控制端；所述复位单元的第一端与所述传输保持单元的第一端连接于第一节点，所述复位单元的第二端接入复位电压，所述复位单元的控制端接入所述复位控制信号，所述复位单元响应于所述复位控制信号将所述第一节点置为复位电压；所述传输保持单元的第一端与所述超声波传感器的第一端连接于所述第一节点，所述传输保持单元的第二端与所述存储单元的控制端连接，所述传输保持单元的控制端接入所述传输保持控制信号，在所述复位控制信号的控制下，所述传输保持单元响应于所述传输保持控制信号将所述超声波传感器的第一端输出的第一电信号从所述传输保持单元的第一端传输至所述传输保持单元的第二端以传输至所述存储单元的控制端；所述存储单元的第一端接入第一电源信号，所述存储单元的第二端与所述读取单元的第一端连接，所述存储单元对所述第一电信号进行放大并输出所述第二电信号；所述读取单元的第二端与读取线连接，所述读取单元的控制端接入所述读取控制信号，所述读取单元响应于所述读取控制信号将所述第二电信号从所述读取单元的第一端传输至所述读取单元的第二端。3.根据权利要求2所述的超声检测模组，其特征在于，所述检测电路包括：设置在所述基板上的图案化的第一有源材料层，所述第一有源材料层包括同层设置的所述复位单元的有源层、存储单元的有源层和读取单元的有源层；覆盖所述第一有源材料层和露出的所述基板的第一栅绝缘层；设置在所述第一栅绝缘层上的图案化的第一栅极材料层，所述第一栅极材料层包括同层设置的所述复位单元的栅极、存储单元的栅极和读取单元的栅极；覆盖所述第一栅极材料层和露出的所述第一栅绝缘层的第一层间绝缘层；设置在所述第一层间绝缘层上的图案化的第二有源材料层，所述第二有源材料层为所述传输保持单元的有源层；覆盖所述第二有源材料层和露出的所述第一层间绝缘层的第二栅绝缘层；设置在所述第二栅绝缘层上的图案化的第二栅极材料层，所述第二栅极材料层为所述传输保持单元的栅极；覆盖所述第二栅极材料层和露出的所述第二栅绝缘层的第二层间绝缘层；设置在所述第二层间绝缘层上的图案化的第一金属层，所述第一金属层包括同层设置
的所述复位单元的源极和漏极、传输保持单元的源极和漏极、存储单元的源极和漏极和读取单元的源极和漏极、以及第一连接金属，所述源极和漏极通过过孔与对应的有源层连接，所述第一连接金属通过过孔与所述存储单元的栅极连接；覆盖所述第一金属层和露出的所述第二层间绝缘层的第一无机层；设置在所述第一无机层上的图案化的第二金属层，所述第二金属层通过对应的过孔分别连接所述传输保持单元的漏极和所述第一连接金属；以及覆盖所述第二金属层的和露出的所述第一无机层的第二无机层。4.根据权利要求3所述的超声检测模组，其特征在于，所述超声波传感器包括：所述第二金属层复用的第一电极；覆盖所述第二无机层的压电材料层；以及覆盖所述压电材料层的第二电极。5.根据权利要求1所述的超声检测模组，其特征在于，所述复位单元、传输保持单元、存储单元和读取单元均包括第一端、第二端和控制端；所述复位单元的第一端与所述传输保持单元的第一端连接于第二节点，所述复位单元的第二端接入复位电压，所述复位单元的控制端接入所述复位控制信号，所述复位单元响应于所述复位控制信号将所述第二节点置为复位电压；所述传输保持单元的第一端与所述超声波传感器的第一端连接于所述第二节点，所述传输保持单元的第二端与所述存储单元的第一端连接，所述传输保持单元的控制端接入所述传输保持控制信号，在所述复位控制信号的控制下，所述传输保持单元响应于所述传输保持控制信号将所述超声波传感器的第一端输出的第一电信号从所述传输保持单元的第一端传输至所述传输保持单元的第二端以传输至所述存储单元的第一端；所述存储单元的第二端与所述读取单元的第一端连接，所述存储单元的控制端接入存储控制信号，所述存储单元响应于所述存储控制信号将所述第一电信号传输至所述存储单元的第二端并作为所述第二电信号输出；所述读取单元的第二端与读取线连接，所述读取单元的控制端接入所述读取控制信号，所述读取单元响应于所述读取控制信号将所述第二电信号从所述读取单元的第一端传输至所述读取单元的第二端。6.根据权利要求5所述的超声检测模组，其特征在于，所述检测电路包括：设置在所述基板上的图案化的第三有源材料层，所述第三有源材料层包括同层设置的所述复位单元的有源层、存储单元的有源层和读取单元的有源层；覆盖所述第三有源材料层和露出的所述基板的第三栅绝缘层；设置在所述第三栅绝缘层上的图案化的第三栅极材料层，所述第三栅极材料层包括同层设置的所述复位单元的栅极、存储单元的栅极和读取单元的栅极；覆盖所述第三栅极材料层和露出的所述第三栅绝缘层的第三层间绝缘层；设置在所述第三层间绝缘层上的图案化的第四有源材料层，所述第四有源材料层为所述传输保持单元的有源层；覆盖所述第四有源材料层和露出的所述第三层间绝缘层的第四栅绝缘层；设置在所述第四栅绝缘层上的图案化的第四栅极材料层，所述第四栅极材料层为所述传输保持单元的栅极；
覆盖所述第四栅极材料层和露出的所述第四栅绝缘层的第四层间绝缘层；设置在所述第四层间绝缘层上的图案化的第三金属层，所述第三金属层包括同层设置的所述复位单元的源极和漏极、传输保持单元的源极和漏极、以及存储单元的源极和漏极和读取单元的源极和漏极，所述源极和漏极通过过孔与对应的有源层连接；覆盖所述第三金属层和露出的所述第四层间绝缘层的第三无机层；设置在所述第三无机层上的图案化的第四金属层，所述第四金属层通过对应的过孔分别连接所述传输保持单元的漏极和所述存储单元的源极；以及覆盖所述第四金属层的和露出的所述第三无机层的第四无机...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔钊，姚琪，张锋，董立文，侯东飞，李禹桥，吕志军，孟德天，刘文渠，李柳青，佟月，曹永刚，黄睿，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：