一种简易滴胶喷头更换装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种简易滴胶喷头更换装置，包括喷涂组件、支座、控温组件、传送组件和夹取组件。其中，喷涂组件用于对晶圆喷涂光刻胶；支座用于放置喷涂组件，且每一支座对应放置有用于喷涂同种光刻胶的喷涂组件；控温组件用于对喷涂组件内的光刻胶控温，控温组件与支座及喷涂组件连接；传送组件上放置有多个支座，并带动多个支座移动，从而带动多种喷涂组件移动，改变喷涂组件的位置；夹取组件从传送组件上夹取任一支座，从而夹取对应喷涂组件，实现喷头的更换。整个过程实现了喷头的更换，加快了工艺的制程速度，且该喷头更换装置结构简单，制作方便。制作方便。制作方便。

【技术实现步骤摘要】
一种简易滴胶喷头更换装置


[0001]本技术涉及涂胶设备领域，尤指一种简易滴胶喷头更换装置。

技术介绍

[0002]目前，涂胶设备是集成电路生产过程中的刚需设备。晶圆在曝光前需在表面涂上一层光刻胶，其中，不同工艺对光刻胶的厚度、粘稠度有着不同需求，所以需要不同的光刻胶来进行涂布。因此，需要在涂胶设备上增加多管不同光刻胶，对此，对应的涂胶喷头也要增加。但现有技术中，喷头更换装置结构复杂，且不能自动选择需要更换的喷头，影响工艺的制程速度。因此，急需一种简易滴胶喷头更换装置，根据涂胶工艺需求不同，加上多个涂胶喷头，然后根据工艺程序选择不同的涂胶喷头，加快工艺的制程速度。

技术实现思路

[0003]为解决上述问题，本技术的目的在于提供一种结构简单，且能在涂胶过程中，根据涂胶工艺的需求准确、快速地选择对应喷头的喷头更换装置，加快工艺的制程速度。
[0004]本技术提供的技术方案如下：
[0005]一种简易滴胶喷头更换装置，包括：
[0006]喷涂组件，所述喷涂组件用于对晶圆喷涂光刻胶；
[0007]支座，所述支座用于放置所述喷涂组件，每一支座对应放置有用于喷涂同种光刻胶的喷涂组件；
[0008]控温组件，所述控温组件用于对所述喷涂组件内的光刻胶控温，所述控温组件与所述支座及所述喷涂组件连接；
[0009]传送组件，所述传送组件上放置有所述支座，所述传送组件带动多个所述支座移动，从而带动多个所述喷涂组件移动，改变所述喷涂组件的位置；
[0010]夹取组件，所述夹取组件从所述传送组件上夹取任一所述支座，从而夹取对应喷涂组件，实现喷涂组件的更换。
[0011]在一些实施方式中，所述喷涂组件包括一光阻管和喷头，所述光阻管一端与所述喷头固定连接，所述光阻管用于放置并输送所述光刻胶，所述喷头将所述光阻管内光刻胶喷射至所述晶圆上。
[0012]在一些实施方式中，所述控温组件包括第一软管、第二软管、水泵和循环水，所述第一软管套设在所述光阻管上，所述第一软管和所述第二软管内存储有循环水，且均与所述水泵连通，所述第一软管和所述第二软管远离所述水泵的一端封闭，所述水泵实现所述第一软管和所述第二软管内所述循环水的交换流通。
[0013]在一些实施方式中，所述支座与所述传送组件接触的一侧为安装面；
[0014]所述支座开设有多组放置孔，每组放置孔包括第一放置孔和第二放置孔，所述第一放置孔用于放置所述喷涂组件及套设在所述喷涂组件上的第一软管；
[0015]所述第二放置孔用于放置所述第二软管；
[0016]所述第一放置孔和所述第二放置孔内分别各设有一夹具，用于固定所述软管。
[0017]在一些实施方式中，所述喷涂组件、所述第一软管和所述第二软管从所述支座背离所述安装面的一侧插入，且所述喷头从所述安装面一侧部分伸出所述支座，所述喷头通过紧固件与所述支座固定连接。
[0018]在一些实施方式中，所述支座开设有一定位孔，所述定位孔上固定安装有一把手，供所述夹取组件夹取；
[0019]或所述支座与所述安装面相背离的一侧上延伸有一把手，供所述夹取组件夹取。
[0020]在一些实施方式中，所述夹具包括一固定部、第一夹紧部和第二夹紧部，所述固定部为螺旋环绕结构，两端连接所述第一夹紧部，中间和所述第二夹紧部卡接，所述固定部套设在所述第一软管和所述第二软管远离所述水泵的一端；
[0021]所述第一夹紧部与所述第二夹紧部通过紧固件固定，与所述固定部共同实现对所述第一软管和所述第二软管的固定。
[0022]在一些实施方式中，所述支座上设有一组放置孔；
[0023]所述支座背离所述安装面的一侧为台阶结构；所述定位孔背离所述安装面的一侧低于所述放置孔背离所述安装面的一侧，形成所述台阶结构。
[0024]在一些实施方式中，所述支座侧边上固定有一个感应器，所述感应器用于感应所述支座是否已正确放置在所述传送组件上。
[0025]在一些实施方式中，所述夹取组件包括驱动件、传送件和机械臂；
[0026]所述驱动件驱动所述传送件运动，从而带动所述机械臂运动，使所述机械臂在固定的路程内进行往返运动，抓取所述支座。机械臂端头得夹子夹取不同滴胶喷头，机械臂端头的夹子由气缸上的两根气管进行控制；
[0027]所述传送组件根据预先设定的程序移动；
[0028]根据选择的所述喷涂组件不同，所述传送组件的移动距离不同，从而改变所述喷涂组件的位置，使所述机械臂夹取的所述喷涂组件不同。
[0029]与现有技术相比，本技术所提供的一种简易滴胶喷头更换装置具有以下有益效果：
[0030]本技术所提供的一种简易滴胶喷头更换装置，其设置了用于放置喷涂组件的支座，且每一支座对应放置有用于喷涂同种光刻胶的喷涂组件，然后将多个支座放置在传送组件上，使传送组件带动多个支座移动，从而带动多种喷涂组件移动，改变喷涂组件的位置。此时，夹取组件从传送组件上夹取任一支座，从而夹取对应喷涂组件，实现喷头的更换。整个过程实现了喷头的更换，加快了工艺的制程速度，且该喷头更换装置结构简单，制作方便。
附图说明
[0031]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细说明：
[0032]图1是本技术产品部分结构的立体结构分解图；
[0033]图2是本技术产品支座的立体结构示意图；
[0034]图3是本技术第一软管、第二软管及光阻管的立体结构示意图。
[0035]附图标号说明：
[0036]100、光阻管；
[0037]200、支座；201、第一放置孔；202、第二放置孔；203、定位孔；204、把手；205、感应器；
[0038]300、夹具；301、固定部；302、第一夹紧部；303、第二夹紧部；
[0039]400、第一软管；
[0040]500、第二软管。
具体实施方式
[0041]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本技术的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
[0042]为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与技术相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。
[0043]还应当进一步理解，在本申请说明书和所附权利要求书中使用的术语“和 /或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
[0044]在本文中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，包括：喷涂组件，所述喷涂组件用于对晶圆喷涂光刻胶；支座，所述支座用于放置所述喷涂组件，每一支座对应放置有用于喷涂同种光刻胶的喷涂组件；控温组件，所述控温组件用于对所述喷涂组件内的光刻胶控温，所述控温组件与所述支座及所述喷涂组件连接；传送组件，所述传送组件上放置有多个所述支座，所述传送组件带动多个所述支座移动，从而带动多种所述喷涂组件移动，改变所述喷涂组件的位置；夹取组件，所述夹取组件从所述传送组件上夹取任一所述支座，从而夹取对应喷涂组件，实现喷涂组件的更换。2.根据权利要求1所述的一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，所述喷涂组件包括一光阻管和喷头，所述光阻管一端与所述喷头固定连接，所述光阻管用于放置并输送所述光刻胶，所述喷头将所述光阻管内光刻胶喷射至所述晶圆上。3.根据权利要求2所述的一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，所述控温组件包括第一软管、第二软管、水泵和循环水，所述第一软管套设在所述光阻管上，所述第一软管和所述第二软管内存储有循环水，且均与所述水泵连通，所述第一软管和所述第二软管远离所述水泵的一端封闭，所述水泵实现所述第一软管和所述第二软管内所述循环水的交换流通。4.根据权利要求3所述的一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，所述支座开设有多组放置孔，每组放置孔包括第一放置孔和第二放置孔，所述第一放置孔用于放置所述喷涂组件及套设在所述喷涂组件上的第一软管；所述第二放置孔用于放置所述第二软管；所述第一放置孔和所述第二放置孔内分别各设有一夹具，用于固定所述第一软管和第二软管。5.根据权利要求4所述的一种简易滴胶喷头更换装置，其特征在于，所述支座与所述传送组件接触的一侧为安装面；所述喷涂组件、所述第一软管和所述第二软管从所述支座背离所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：林熔，
申请(专利权)人：上海众鸿电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：