本实用新型专利技术涉及一种晶圆加工用夹爪机构，包括夹爪盒本体，夹爪盒本体的顶部和底部分别设置有上盖和下盖，夹爪盒本体内沿着Y轴的正方向依次设置有轴固定块和夹爪驱动机构，夹爪盒本体沿着X轴负方向的一侧设置有夹爪连接块，夹爪连接块通过夹爪连接轴与夹爪盒本体内的轴固定块相连接。本实用新型专利技术一种晶圆加工用夹爪机构，通过夹爪盒本体的夹爪驱动机构可以实现对晶圆盒的夹取操作，结构设置合理，操作简单，使用方便；夹爪连接块通过夹爪连接轴与夹爪盒本体内的轴固定块相连接的结构设置，可以方便通过夹爪连接块控制夹爪盒本体的运动情况。情况。情况。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆加工用夹爪机构
[0001]本技术涉及晶圆加工相关
，尤其涉及一种晶圆加工用夹爪机构。
技术介绍
[0002]晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。其中晶圆盒是其行业常见装晶圆及蓝宝石的装置。晶圆盒的进出操作通常是人工拿取的方式，需要设计一种夹取装置可以实现对晶圆盒的进出料的夹取操作。
[0003]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆加工用夹爪机构，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种晶圆加工用夹爪机构。
[0005]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0006]一种晶圆加工用夹爪机构，包括夹爪盒本体，夹爪盒本体的顶部和底部分别设置有上盖和下盖，夹爪盒本体内沿着Y轴的正方向依次设置有轴固定块和夹爪驱动机构，夹爪盒本体沿着X轴负方向的一侧设置有夹爪连接块，夹爪连接块通过夹爪连接轴与夹爪盒本体内的轴固定块相连接，夹爪驱动机构包括夹爪、夹爪电机、蜗杆座、蜗杆和蜗轮，夹爪电机通过电机座安装在蜗杆座上，夹爪电机沿着X轴正方向一侧的驱动端与蜗杆座内沿着X轴方向的蜗杆驱动连接设置，蜗杆与沿着Y轴负方向一侧的蜗轮相连接，蜗轮底部的两侧分别设置有夹爪固定轴，夹爪盒本体沿着X轴方向两侧的中间位置均设置有夹爪，夹爪的内侧通过夹爪臂安装在夹爪盒本体内的夹爪臂安装块上，夹爪臂与夹爪臂安装块铰接，夹爪固定轴与连杆的第一侧相连接，连杆的第二侧通过连接棒与夹爪连接臂相连接，夹爪连接臂与夹爪臂的内侧底部相连接。
[0007]作为本技术的进一步改进，蜗杆座的上方还设置有轴承安装板，轴承安装板通过立柱安装在下盖上，蜗轮的顶部连接设置有蜗轮盘，蜗轮盘的顶部通过第一轴承与轴承安装板相连接，蜗轮盘的底部通过第二轴承与下盖相连接。
[0008]作为本技术的进一步改进，蜗轮盘上设置有第一感应片，轴承安装板上设置有第一感应器安装板，第一感应器安装板上沿着X轴方向的两侧均设置有与第一感应片相配合的第一感应器。
[0009]作为本技术的进一步改进，夹爪臂沿着Y轴方向的一侧还设置有第二感应片，夹爪臂一侧的下盖上设置有与第二感应片相配合的第二感应器。
[0010]作为本技术的进一步改进，夹爪臂的底部内侧还连接设置有拉簧，拉簧与轴承安装板相连接。
[0011]作为本技术的进一步改进，夹爪底部内侧的下盖上设置有夹爪限位块。
[0012]借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
[0013]本技术一种晶圆加工用夹爪机构，通过夹爪盒本体的夹爪驱动机构可以实现
对晶圆盒的夹取操作，结构设置合理，操作简单，使用方便；夹爪连接块通过夹爪连接轴与夹爪盒本体内的轴固定块相连接的结构设置，可以方便通过夹爪连接块控制夹爪盒本体的运动情况。
[0014]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0016]图1是本技术一种晶圆加工用夹爪机构的结构示意图；
[0017]图2是图1中去除上盖后的俯视图；
[0018]图3是图1中去除下盖后的仰视图。
[0019]其中，图中各附图标记的含义如下。
[0020]1 夹爪盒本体
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2 夹爪连接块
[0021]3 上盖
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4 下盖
[0022]5 夹爪
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6 夹爪限位块
[0023]7 夹爪连接轴
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8 轴固定块
[0024]9 夹爪臂
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10 夹爪臂安装块
[0025]11 夹爪连接臂
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12 夹爪电机
[0026]13 拉簧
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14 电机座
[0027]15 蜗杆座
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16 轴承安装板
[0028]17 蜗杆
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18 蜗轮
[0029]19 第一感应器安装板
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20 立柱
[0030]21 第一感应片
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22 第一轴承
[0031]23 蜗轮盘
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24 第一感应器
[0032]25 第二感应器
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26 第二感应片
[0033]27 连接棒
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28 连杆
[0034]29 第二轴承
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30 夹爪固定轴
具体实施方式
[0035]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0036]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图
中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0037]实施例
[0038]如图1～图3所示，
[0039]一种晶圆加工用夹爪机构，包括夹爪盒本体1，夹爪盒本体1的顶部和底部分别设置有上盖3和下盖4，夹爪盒本体1内沿着Y轴的正方向依次设置有轴固定块8和夹爪驱动机构，夹爪盒本体1沿着X轴负方向的一侧设置有夹爪连接块2，夹爪连接块2通过夹爪连接轴7与夹爪盒本体1内的轴固定块8相连接，夹爪驱动机构包括夹爪5、夹爪电机12、蜗杆座15、蜗杆17和蜗轮18，夹爪电机12通过电机座14安装在蜗杆座15上，夹爪电机12沿着X轴正方向一侧的驱动端与蜗杆座15内沿着X轴方向的蜗杆17驱动连接设置，蜗杆17与沿着Y轴负方向一侧的蜗轮18相连接，蜗轮1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工用夹爪机构，其特征在于，包括夹爪盒本体(1)，所述夹爪盒本体(1)的顶部和底部分别设置有上盖(3)和下盖(4)，所述夹爪盒本体(1)内沿着Y轴的正方向依次设置有轴固定块(8)和夹爪驱动机构，所述夹爪盒本体(1)沿着X轴负方向的一侧设置有夹爪连接块(2)，所述夹爪连接块(2)通过夹爪连接轴(7)与夹爪盒本体(1)内的轴固定块(8)相连接，所述夹爪驱动机构包括夹爪(5)、夹爪电机(12)、蜗杆座(15)、蜗杆(17)和蜗轮(18)，所述夹爪电机(12)通过电机座(14)安装在蜗杆座(15)上，所述夹爪电机(12)沿着X轴正方向一侧的驱动端与蜗杆座(15)内沿着X轴方向的蜗杆(17)驱动连接设置，所述蜗杆(17)与沿着Y轴负方向一侧的蜗轮(18)相连接，所述蜗轮(18)底部的两侧分别设置有夹爪固定轴(30)，所述夹爪盒本体(1)沿着X轴方向两侧的中间位置均设置有夹爪(5)，所述夹爪(5)的内侧通过夹爪臂(9)安装在夹爪盒本体(1)内的夹爪臂安装块(10)上，所述夹爪臂(9)与夹爪臂安装块(10)铰接，所述夹爪固定轴(30)与连杆(28)的第一侧相连接，所述连杆(28)的第二侧通过连接棒(27)与夹爪连接臂(11)相连接，所述夹爪连接臂(11)与夹爪臂(9)的内侧底部相连接。2....
【专利技术属性】
技术研发人员：陈曙光，林坚，王彭，
申请(专利权)人：泓浒苏州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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