激光功率检测调整装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种激光功率检测调整装置及方法，所述方法包括：测试激光器输出激光的功率，获得功率与占空比的线性图；半波片调整激光的垂直方向o光和水平方向e光的光程差，消偏分光镜调整激光的偏振态使其按固定能量比例分为两束，其中一束激光直接对产品进行打标；功率传感器接收另一束激光并将激光的实际功率传输至计算机；计算机将实际功率与功率设定范围进行比较，若未超出功率设定范围，则继续对产品进行打标，若超出功率设定范围，则对激光器的输出功率进行调整。本发明专利技术能够保证激光功率输出的稳定性从而保证产品打印深度的一致性，降低产品受激光热损伤的机率，减少由于打印造成的NG品从而整体提高产品的生产良率。率。率。

Laser power detection and adjustment device and method

【技术实现步骤摘要】
激光功率检测调整装置及方法


[0001]本专利技术涉及激光打印
，特别涉及一种激光功率检测调整装置及方法。

技术介绍

[0002]目前半导体分立、IC（integrated circuit，集成电路）及晶圆裸晶芯片产品的印字基本都是通过激光打印实现，目前行业对激光印字的效果检测基本都是靠视觉对打印后的印字进行检测，但这种方式主要是检测印字的重印、漏印、错印，但对于印字深度是没法检测的。激光印字的深度主要由激光功率大小直接决定，如果激光功率输出不稳定就有可能发生打印不上或直接打穿产品的塑封表面的保护层而伤到芯片。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种激光功率检测调整装置及方法，保证激光功率输出的稳定性从而保证产品打印深度的一致性，降低产品受激光热损伤的机率，减少由于打印造成的NG品从而整体提高产品的生产良率。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种激光功率检测调整方法，包括以下步骤：测试激光器输出的激光的功率，获得功率与占空比的线性图；半波片调整所述激光的垂直方向o光和水平方向e光的光程差，消偏分光镜调整所述激光的偏振态使其按固定能量比例分为两束，其中一束激光直接对产品进行打标；功率传感器接收另一束激光并将所述激光的实际功率传输至计算机；以及所述计算机将实际功率与功率设定范围进行比较，若未超出所述功率设定范围，则继续对产品进行打标，若超出所述功率设定范围，则所述计算机根据功率与占空比的线性图对所述激光器的输出功率进行调整。
[0005]可选的，所述固定能量比例包含1：99，对所述产品进行打标的激光的能量占比为99%。
[0006]可选的，若实际功率超出所述功率设定范围，所述调整方法还包括：所述计算机根据LOG记录对打标参数进行自检，若检测所述打标参数未被人为修改，则通过打标控制器对所述激光器的输出功率进行调整；若检测所述打标参数被人为修改，则需要将所述打标参数修改至初始值；其中，所述打标参数的初始值是对产品进行打标测试时获得的参数，所述LOG记录包含所述打标参数的初始值，所述LOG记录存储于所述计算机内。
[0007]可选的，所述打标控制器对所述激光器的输出功率进行调整的次数超过3次之后，若实际功率再次超出所述功率设定范围，所述打标控制器停机报警。
[0008]可选的，所述LOG记录还包含所述打标控制器和所述激光器出光板的自检数据。
[0009]相应的，本专利技术还提供一种激光功率检测调整装置，包括：激光器，用于发射激光；半波片，用于调整所述激光的垂直方向o光和水平方向e光的光程差；
通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征，除非内容另外明确指出外。
[0022]图1是本专利技术一实施例提供的激光功率检测调整装置的结构示意图, 图2是本专利技术一实施例提供的激光功率检测调整装置的工作原理图，图3是本专利技术另一实施例提供的激光功率检测调整装置的工作原理图。如图1至图3所示，本专利技术提供的激光功率检测调整装置包括：激光器1，用于发射激光；半波片2，用于调整所述激光的垂直方向o光和水平方向e光的光程差；消偏分光镜3，用于调整所述激光的偏振态使其按固定能量比例分为两束，其中一束激光直接对产品进行打标；功率传感器6，用于接收另一束激光并将所述激光的实际功率传输至计算机8；计算机8，用于将实际功率与功率设定范围进行比较，若未超出所述功率设定范围，则继续对产品进行打标，若超出所述功率设定范围，则所述计算机8根据功率与占空比的线性图对激光器的输出功率进行调整。
[0023]本实施例中，所述激光器1包含但不限于光纤激光器、CO2激光器、固体激光器、绿光激光器或紫外激光器。
[0024]所述激光器1输出的激光的偏振态是由一定比例的P偏振光和S偏振光组成的，且P光与S光的偏振比例是随机变化的，如果分光只采用普通的分光镜，那么反射光和透射光的能量比会随着P光和S光的比例变化而变化。而本专利技术中，采用所述半波片2和所述消偏分光镜3相结合的方式，通过调整所述激光的垂直方向o光和水平方向e光的光程差，调整所述激光的偏振态从而保证分光能量比例的稳定性确保测量的准确性。本实施例中，所述固定能量比例包含1:99，对所述产品进行打标的激光的能量占比为99%。所述消偏分光镜3将激光分为透射激光4与反射激光5两束激光，在本专利技术一实施例中，采用透射激光4对所述产品进行打标，请参考图2所示，所述透射激光4的能量占比为99%，所述反射激光5的能量占比为1%，即所述消偏分光镜3将激光分为99%的透射激光4与1%的反射激光5。在本专利技术另一实施例中，采用反射激光5对所述产品进行打标，请参考图3所示，所述透射激光4的能量占比为1%，所述反射激光5的能量占比为99%，即所述消偏分光镜3将激光分为1%的透射激光4与99%的反射激光5。当然，所述透射激光4与所述反射激光5的能量比例并不局限于1:99或99:1，还可以是其他的任何合适的比例。
[0025]所述激光功率检测调整装置还包括扫描振镜9，用于打标的能量占比为99%的透射激光4或反射激光5通过所述扫描振镜9之后对所述产品进行打标。
[0026]所述功率传感器6用于接收另一束激光（能量占比为1%的透射激光4或反射激光5）并将所述激光的实际功率传输至所述计算机8（Personal Computer，PC）。这种接收可以是实时的且所述功率传感器6接收的功率数据也是实时不断的传输至所述计算机8，或者，也可以采用一定时间间隔的方式去接收所述激光并传输至所述计算机8，本专利技术对此不作限定。
[0027]在正式对产品进行打标前，会进行打标调试，获得合适的打标参数，即获得打标参数的初始值，所述打标参数的初始值包含打标的功率设定范围，即适合进行打标的激光功率的一个范围，超过该范围则可能打标失败或打标异常。LOG（日志）记录包含所述打标参数
的初始值，所述LOG记录存储于所述计算机8内。所述计算机8用于将实际功率与功率设定范围进行比较，若实际功率未超出所述功率设定范围，则继续对产品进行打标，若实际功率超出所述功率设定范围，则所述计算机8根据功率与占空比的线性图对激光器的输出功率进行调整。
[0028]本实施例中，所述计算机8还用于根据LOG记录对打标参数进行自检，检测所述打标参数是否被人为修改。所述激光功率检测调整装置还包括打标控制器7，所述打标控制器7用于根据所述计算机8的自检结果，对所述激光器1的输出功率进行调整。具体的，所述计算机8内存储有所述LOG记录，所述LOG记录包含打标参数的初始值，所述打标控制器7内设置有所述激光器1正在进行打标时的打标参数，当实际功率超出所述功率设定范围时，所述计算机8根据L本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光功率检测调整方法，其特征在于，包括以下步骤：测试激光器输出的激光的功率，获得功率与占空比的线性图；半波片调整所述激光的垂直方向o光和水平方向e光的光程差，消偏分光镜调整所述激光的偏振态使其按固定能量比例分为两束，其中一束激光直接对产品进行打标；功率传感器接收另一束激光并将所述激光的实际功率传输至计算机；以及所述计算机将实际功率与功率设定范围进行比较，若未超出所述功率设定范围，则继续对产品进行打标，若超出所述功率设定范围，则所述计算机根据功率与占空比的线性图对所述激光器的输出功率进行调整。2.如权利要求1所述的激光功率检测调整方法，其特征在于，所述固定能量比例包含1：99，对所述产品进行打标的激光的能量占比为99%。3.如权利要求1所述的激光功率检测调整方法，其特征在于，若实际功率超出所述功率设定范围，所述调整方法还包括：所述计算机根据LOG记录对打标参数进行自检，若检测所述打标参数未被人为修改，则通过打标控制器对所述激光器的输出功率进行调整；若检测所述打标参数被人为修改，则需要将所述打标参数修改至初始值；其中，所述打标参数的初始值是对产品进行打标测试时获得的参数，所述LOG记录包含所述打标参数的初始值，所述LOG记录存储于所述计算机内。4.如权利要求3所述的激光功率检测调整方法，其特征在于，所述打标控制器对所述激光器的输出功率进行调整的次数超过3次之后，若实际功率再次超出所述功率设定范围，所述打标控制器停机报警。5.如权利要求3所述的激光功率检测调整方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：何国洪，
申请(专利权)人：佛山市联动科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：