智能配电柜及其配电方法技术

本公开提供了智能配电柜，包括：配电模块，用于从各电压等级的母线供电中，鉴别出所需电压等级的电源，获取所需电压等级的电源并精确输出。该配电柜中配电模块可以鉴别出所需电压等级的电源，并且使其精确输出，由此，可以增加激光器系统配置电源的合理性和可靠性。本公开还提供了一种智能配电方法。还提供了一种智能配电方法。还提供了一种智能配电方法。

Intelligent power distribution cabinet and its power distribution method

【技术实现步骤摘要】
智能配电柜及其配电方法


[0001]本公开涉及供配电
，具体涉及智能配电柜及其配电方法。

技术介绍

[0002]随着光刻机芯片工艺的发展，为光刻机光源提供光源的激光器所需能量也随之增大，激光器系统所需的配电系统也由此变得复杂，合理的配置与监测激光器各路供电就成了一整亟待解决的问题。在半导体产业链上，设备故障，都会导致芯片停止制作，而每一维修同样伴随着时间成本，所有如何能够准确快速的判断故障所在，迅速无误解决故障，也成了亟待解决的问题。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术中上述问题，本公开提供了智能配电柜及其配电方法，其能增加激光器系统配置电源的合理性和可靠性。。
[0004]本公开的一个方面提供了智能配电柜，包括：配电模块，用于从各电压等级的母线供电中，鉴别出所需电压等级的电源，获取所需电压等级的电源并精确输出。
[0005]进一步地，该智能配电柜还包括：配电底座，与配电模块一一对应，用于获取各电压等级的母线供电分别提供至配电模块，以及，表示提供的电源的电压等级，供对应配电模块进行鉴别。
[0006]进一步地，配电模块包括：配电电路，用于形成所需电压等级电源的输出通路；其中，配电底座上设有鉴别针，用于唯一表示所属配电底座提供的电源电压等级，以及驱动对应配电电路中形成所需电压等级电源的输出通路。
[0007]进一步地，配电模块还包括：设置在配电电路上的机械开关；该机械开关被对应鉴别针推动闭合后，在对应配电电路中唯一导通所需电压等级电源的输出通路。
[0008]进一步地，配电模块还包括：鉴别板，该鉴别板上分布有鉴别孔；其中，鉴别针通过对应鉴别孔穿过鉴别板后，以使对应的机械开关被推动闭合。
[0009]进一步地，同一配电模块下的鉴别孔和机械开关，以及对应鉴别针的位置分布唯一对应；鉴别孔展示并鉴别对应鉴别针所属配电底座提供的电源电压等级。
[0010]进一步地，配电模块还包括：配电连接器；配电底座还设置有供电连接器；其中，对应的配电连接器和供电连接器相适配；供电连接器与各电压等级的母线相连；配电电路设置在对应配电连接器的输入端与输出端之间；配电连接器与对应供电连接器相连获取对应配电底座的供电。
[0011]进一步地，该智能配电柜还包括：中央处理器；配电模块上设置有采集单元和处理器单元；其中，采集单元，用于采集所属配电模块的电源信息；处理器单元，用于将所属配电模块的电源信息上传至中央处理器。
[0012]本公开的另一个方面提供了智能配电方法，包括：从配电底座中获取各电压等级的母线供电分别提供至配电模块，其中，该配电底座表示提供的电源的电压等级供对应配
电模块进行鉴别；采用配电模块从各电压等级的母线供电中，鉴别出所需电压等级的电源，获取所需电压等级的电源并精确输出。
[0013]进一步地，该配电模块从各电压等级的母线供电中，鉴别出所需电压等级的电源，获取所需电压等级的电源并精确输出，具体包括：配电模块的机械开关被对应配电底座的鉴别针推动闭合后，在该配电模块的配电电路中唯一导通所需电压等级电源的输出通路，以输出所需电压等级电源。
[0014]本公开提供的智能配电柜及其配电方法，该配电柜中配电模块可以鉴别出所需电压等级的电源，并且使其精确输出，由此，可以增加激光器系统配置电源的合理性和可靠性。
附图说明
[0015]为了更完整地理解本公开及其优势，现在将参考结合附图的以下描述，其中：
[0016]图1示意性示出了根据本公开一实施例的智能配电柜的结构示意图；
[0017]图2示意性示出了根据本公开一实施例的与配电底座适配的配电模块的结构示意图；
[0018]图3示意性示出了根据本公开一实施例的智能配电柜的鉴别针、鉴别孔及配电电路的适配关系示意图；
[0019]图4示意性示出了根据本公开一实施例的智能配电方法的流程图。
具体实施方式
[0020]以下，将参照附图来描述本公开的实施例。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本公开的范围。在下面的详细描述中，为便于解释，阐述了许多具体的细节以提供对本公开实施例的全面理解。然而，明显地，一个或多个实施例在没有这些具体细节的情况下也可以被实施。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本公开的概念。
[0021]在此使用的术语仅仅是为了描述具体实施例，而并非意在限制本公开。在此使用的术语“包括”、“包含”等表明了所述特征、步骤、操作和/或部件的存在，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、步骤、操作或部件。
[0022]在此使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有本领域技术人员通常所理解的含义，除非另外定义。应注意，这里使用的术语应解释为具有与本说明书的上下文相一致的含义，而不应以理想化或过于刻板的方式来解释。
[0023]本实施例公开提供了一种激光器系统，该激光器系统可以包括：如下所述的智能配电柜。
[0024]在本公开的实施例中，智能配电柜的结构可以包括如下所述。
[0025]如图1至2所示，该智能配电柜1包括：配电模块20，其用于从各电压等级的母线供电中，鉴别出所需电压等级的电源，获取所需电压等级的电源并精确输出。
[0026]根据本公开的实施例，该智能配电柜1还包括：配电底座10，其与配电模块20一一对应，用于获取各电压等级的母线供电分别提供至配电模块20，以及表示提供的电源的电压等级供对应配电模块20进行鉴别。
[0027]根据本公开的实施例，配电模块20包括配电电路，其用于形成所需电压等级电源的输出通路；其中，配电底座10上设有鉴别针101，用于唯一表示所属配电底座10提供的电源电压等级，以及驱动对应配电电路中形成所需电压等级电源的输出通路。
[0028]根据本公开的实施例，如图3所示，配电模块20还包括：设置在配电电路上的机械开关206。其中，该机械开关206被对应鉴别针101推动闭合后，在对应配电电路中唯一导通所需电压等级电源的输出通路。
[0029]在本实施例中，如图1所示，智能配电柜1的柜体上，固定设置有多个配电底座10，在本实施例中为3个。每个配电底座10都可获取不同电压等级的母线电源(供电电源)，然后提供其中一种电压等级的电源。每个配电底座10都可被一个配电模块20适配插入，从而获取配电底座10提供的电压等级的电源，进行输出。
[0030]如图1所示，假设，母线有三路(n＝3)，供电电源1的电压等级为aV，供电电源2的电压等级为bV，供电电源3的电压等级为cV。智能配电柜1的柜体上由左至右，三个配电底座10分别提供等级为aV、bV、cV的电源。
[0031]若当前配电模块20需要aV电源，则当前配电模块20从三个智能配电柜1中鉴别出提供aV电源的配电底座10(左一的配电底座10)，并适配插入，从左一的配电底座10中引出aV电源，进行输出。
[0032]在实际运用中，每个配电底座10除鉴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种智能配电柜，其特征在于，包括：配电模块(20)，用于从各电压等级的母线供电中，鉴别出所需电压等级的电源，获取所需电压等级的电源并精确输出。2.根据权利要求1所述的智能配电柜，其特征在于，还包括：配电底座(10)，与所述配电模块(20)一一对应，用于获取各电压等级的母线供电分别提供至所述配电模块(20)，以及，表示提供的电源的电压等级，供对应配电模块(20)进行鉴别。3.根据权利要求2所述的智能配电柜，其特征在于，所述配电模块(20)，包括：配电电路，用于形成所需电压等级电源的输出通路；所述配电底座(10)上设有鉴别针(101)，用于唯一表示所属配电底座(10)提供的电源电压等级，以及驱动对应配电电路中形成所需电压等级电源的输出通路。4.根据权利要求3所述的智能配电柜，其特征在于，所述配电模块(20)，还包括：设置在配电电路上的机械开关(206)；所述机械开关(206)被对应鉴别针(101)推动闭合后，在对应配电电路中唯一导通所需电压等级电源的输出通路。5.根据权利要求4所述的智能配电柜，其特征在于，所述配电模块(20)，还包括：鉴别板(205)；所述鉴别板(205)上分布有鉴别孔(201)；所述鉴别针(101)通过对应鉴别孔(201)穿过鉴别板(205)后，以使对应的所述机械开关(206)被推动闭合。6.根据权利要求5所述的智能配电柜，其特征在于，同一配电模块(20)下的鉴别孔(201)和机械开关(206)，以及对应鉴别针(101)的位置分布唯一对应；所述鉴别孔(201)展示并鉴别对应鉴别针(101)所属配...

【专利技术属性】
技术研发人员：张兵，徐向宇，曹沛，袁钊，李学，江锐，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：