本申请涉及一种晶圆吸附机械手，其包括固定件、多个夹持臂以及限位件，每个所述夹持臂上开设有至少一个安装槽。晶圆吸附机械手还包括安装于安装槽内的多个晶圆吸附机构，晶圆吸附机构包括抽吸管、弹性件、吸附件以及密封盖，抽吸管安装于安装槽的底部，弹性件围设于抽吸管的周侧，且弹性件夹持于安装槽的底部与吸附件之间，吸附件与抽吸管之间具有预定间隙，且与抽吸管连通，吸附件用于吸附晶圆，密封盖罩设在所述安装槽上以将吸附件限制于安装槽内，密封盖上开设有限位孔，吸附件在弹性件的弹力作用下穿过限位孔并露出密封盖以吸附晶圆。所述晶圆吸附机械手实现了吸附发生翘曲的晶圆。本申请还提供了一种具有该晶圆吸附机械手的晶圆吸附装置。晶圆吸附装置。晶圆吸附装置。
【技术实现步骤摘要】
晶圆吸附机械手与晶圆吸附装置
[0001]本申请涉及芯片制造
，尤其涉及一种晶圆吸附机械手以及一种具有该晶圆吸附机械手的晶圆吸附装置。
技术介绍
[0002]晶圆(Wafer)作为制作芯片的基本材料，被广泛地应用在电子设备领域中。在晶圆的加工过程中，通常需要通过机械手夹持晶圆并将晶圆传输至指定加工位置。业界内夹持晶圆的机械手大多为刚性机械手，其主要包括吸附机构以及机械手本体，其中，机械手本体用于放置晶圆，吸附机构利用吸力吸附住晶圆。
[0003]然而，在芯片的生产过程中，外延片由于生产工艺应力的原因，会产生一定的形变，这会导致晶圆出现翘曲的情况。此时，晶圆与吸附机构之间存在间隙，吸附机构无法与晶圆表面贴合，进而致使吸附机构不能够夹紧发生翘曲的晶圆。
技术实现思路
[0004]鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种晶圆吸附机械手以及一种具有该晶圆吸附机械手的晶圆吸附装置，旨在使晶圆吸附机械手能够吸附翘曲的晶圆，并增大晶圆吸附机械手的适用范围和应用场景。
[0005]一种晶圆吸附机械手，所述晶圆吸附机械手包括固定件、多个夹持臂以及限位件，多个所述夹持臂与所述限位件间隔设置且安装于所述固定件的一侧，每个所述夹持臂上开设有至少一个安装槽。所述晶圆吸附机械手还包括多个安装于所述安装槽内的晶圆吸附机构，每个所述晶圆吸附机构包括抽吸管、弹性件、吸附件以及密封盖。所述抽吸管安装于所述安装槽的底部，用于提供吸力，所述弹性件围设于所述抽吸管的周侧，且所述弹性件夹持于所述安装槽的底部与所述吸附件之间，所述吸附件与所述抽吸管之间具有预定间隙，且与所述抽吸管连通，所述吸附件用于吸附晶圆。所述密封盖罩设在所述安装槽上以将所述吸附件限制于所述安装槽内，所述密封盖上开设有限位孔，所述吸附件在所述弹性件的弹力作用下穿过所述限位孔并露出所述密封盖以吸附所述晶圆。
[0006]综上所述，本申请提供的所述晶圆吸附机械手包括抽吸管、弹性件、吸附件以及密封盖。所述弹性件夹持于所述安装槽的底部与所述吸附件之间，所述吸附件与所述抽吸管之间具有预定间隙，便于发生翘曲的晶圆压在所述吸附件上时，所述吸附件可实现微动调节，进而与所述发生翘曲的晶圆紧密贴合，使所述晶圆吸附机械手不但能够吸附表面水平的晶圆，也能够吸附发生翘曲的晶圆，增大了所述晶圆吸附机械手的适用范围和应用场景。
[0007]可选地，所述抽吸管包括吸附面以及与所述吸附面相交的外壁，所述吸附面位于所述抽吸管面对所述吸附件的一端。
[0008]可选地，所述吸附件上开设有一贯穿所述吸附件的吸附孔，所述吸附孔位于所述外壁的内侧，所述吸附孔与所述抽吸管连通，所述抽吸管提供的吸力使所述吸附孔内形成真空使所述吸附件吸附所述晶圆。
[0009]可选地，所述限位孔的尺寸小于所述吸附件的尺寸，所述限位孔的尺寸大于所述吸附孔的尺寸。
[0010]可选地，所述吸附件包括外表面以及与所述外表面相交的吸附端面，所述吸附面与所述外表面保持所述预定间隙，所述吸附面的弧度与所述外表面的弧度一致，所述弹性件夹持于所述安装槽的底部与所述吸附件的外表面之间。
[0011]可选地，所述密封盖包括限位曲面以及上表面，所述上表面与所述限位曲面相交，所述限位曲面位于所述密封盖面对所述吸附件的一端，所述限位曲面的弧度与所述外表面的弧度一致。
[0012]可选地，所述晶圆吸附机构还包括密封件，所述密封件设置于所述夹持臂和所述密封盖之间，并围设于所述安装槽周侧，所述密封件密封所述夹持臂和所述密封盖之间的间隙。
[0013]可选地，所述吸附件为球形吸嘴，所述吸附面为球面，所述吸附件的半径与所述抽吸管的吸附面的球面半径相同。
[0014]综上所述，本申请提供的所述晶圆吸附机械手包括抽吸管、弹性件、吸附件以及密封盖。所述弹性件夹持于所述安装槽的底部与所述吸附件之间，所述吸附件与所述抽吸管之间具有预定间隙，便于发生翘曲的晶圆压在所述吸附件上时，所述吸附件可实现微动调节，进而与所述发生翘曲的晶圆紧密贴合，使所述晶圆吸附机械手不但能够吸附表面水平的晶圆，也能够吸附发生翘曲的晶圆，增大了所述晶圆吸附机械手的适用范围和应用场景。此外，所述晶圆吸附机械手的抽吸管、弹性件、吸附件以及密封盖可单独形成，当所述晶圆吸附机械手的某个元件损坏时，只需更换损坏的元件即可，而无需更换整个晶圆吸附机械手，进而降低了维护成本。
[0015]基于同样的技术构思，本申请还提供一种晶圆吸附装置，所述晶圆吸附装置包括晶圆传输装置、箱体以及上述的晶圆吸附机械手，所述晶圆传输装置与所述箱体滑动连接，所述晶圆传输装置与所述晶圆吸附机械手固定连接，所述晶圆传输装置将吸附于所述晶圆吸附机械手上的晶圆传输至指定加工位置。
[0016]可选地，所述箱体内安装固定有驱动电机与抽吸电机，所述驱动电机与所述晶圆传输装置通过传动机构连接，所述驱动电机驱动所述晶圆传输装置发生移动或转动，所述抽吸电机与所述晶圆吸附机械手内的抽吸管连通，所述抽吸电机提供吸力使所述吸附件内形成真空。
[0017]综上所述，在本申请提供的所述晶圆吸附装置中，所述晶圆吸附机械手包括抽吸管、弹性件、吸附件以及密封盖。所述弹性件夹持于所述安装槽的底部与所述吸附件之间，所述吸附件与所述抽吸管之间具有预定间隙，便于发生翘曲的晶圆压在所述吸附件上时，所述吸附件可实现微动调节，进而与所述发生翘曲的晶圆紧密贴合，使所述晶圆吸附机械手不但能够吸附表面水平的晶圆，也能够吸附发生翘曲的晶圆，增大了所述晶圆吸附机械手的适用范围和应用场景。此外，所述晶圆吸附机械手的抽吸管、弹性件、吸附件以及密封盖可单独形成，当所述晶圆吸附机械手的某个元件损坏时，只需更换损坏的元件即可，而无需更换整个晶圆吸附机械手，进而降低了维护成本。
附图说明
[0018]图1为本申请实施例公开的晶圆吸附机械手的俯视结构示意图；
[0019]图2为本申请实施例公开的晶圆吸附机械手的正视结构示意图；
[0020]图3为图1所示的晶圆吸附机械手沿I
‑
I方向的截面示意图；
[0021]图4为图3所示的晶圆吸附机械手中结构IV的放大示意图；
[0022]图5为本申请实施例公开的晶圆吸附机械手与晶圆的俯视结构示意图；
[0023]图6为图5所示的晶圆吸附机械手与晶圆沿II
‑
II方向的截面示意图；
[0024]图7为图6所示的晶圆吸附机械手与晶圆中结构VII的放大示意图；
[0025]图8为本申请实施例公开的晶圆吸附装置的结构示意图。
[0026]附图标记说明：
[0027]10
‑
机械手本体；
[0028]11
‑
固定件；
[0029]12
‑
夹持臂；
[0030]13
‑
限位件；
[0031]14
‑
安装槽；
[0032]20
‑
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆吸附机械手，所述晶圆吸附机械手包括固定件、多个夹持臂以及限位件，多个所述夹持臂与所述限位件间隔设置且安装于所述固定件的一侧，每个所述夹持臂上开设有至少一个安装槽，其特征在于，所述晶圆吸附机械手还包括多个安装于所述安装槽内的晶圆吸附机构，每个所述晶圆吸附机构包括抽吸管、弹性件、吸附件以及密封盖，所述抽吸管安装于所述安装槽的底部，用于提供吸力，所述弹性件围设于所述抽吸管的周侧，且所述弹性件夹持于所述安装槽的底部与所述吸附件之间，所述吸附件与所述抽吸管之间具有预定间隙，且与所述抽吸管连通，所述吸附件用于吸附晶圆，所述密封盖罩设在所述安装槽上以将所述吸附件限制于所述安装槽内，所述密封盖上开设有限位孔，所述吸附件在所述弹性件的弹力作用下穿过所述限位孔并露出所述密封盖以吸附所述晶圆。2.如权利要求1所述的晶圆吸附机械手，其特征在于，所述抽吸管包括吸附面以及与所述吸附面相交的外壁，所述吸附面位于所述抽吸管面对所述吸附件的一端。3.如权利要求2所述的晶圆吸附机械手，其特征在于，所述吸附件上开设有一贯穿所述吸附件的吸附孔，所述吸附孔位于所述外壁的内侧，所述吸附孔与所述抽吸管连通，所述抽吸管提供的吸力使所述吸附孔内形成真空使所述吸附件吸附所述晶圆。4.如权利要求3所述的晶圆吸附机械手，其特征在于，所述限位孔的尺寸小于所述吸附件的尺寸，所述限位孔的尺寸大于所述吸附孔的尺寸。5.如权利要求3所述的晶圆吸附机械手，其特征在于，所述吸附件包括外表面以及与所述外表面相交的吸附端面，所述吸附面与所述外表面保持所述预...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗顺松，陈旋宇，王怀超，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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