【技术实现步骤摘要】
一种具有多层内翅片的热阱结构
[0001]本技术涉及热阱领域,具体为一种具有多层内翅片的热阱结构。
技术介绍
[0002]热阱是指炼油、化工中排出余热的场所,在一些工艺过程,如ALD和CVD中需要通反应气体,反应气体在工艺腔内反应,反应后的气体通过排气管路排到腔体外,排出气体一般有危害,在进入排气泵之前,为了保护排气泵,需要把气体进行无害处理,加热分解或加热反应是一种方式,而现有的排气结构并不能增加与气体的接触面积,也不能产生较小的流阻,功能性差,使用不方便;为此提供了一种具有多层内翅片的热阱结构。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是针对现有技术的缺陷,提供一种具有多层内翅片的热阱结构,以解决上述
技术介绍
提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种具有多层内翅片的热阱结构,包括外管、内管和内翅片,所述外管和内管之间连接有若干个内翅片。
[0005]作为本技术的一种优选技术方案,所述内翅片分别与外管和内管焊接相连。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案,所述外管、内管和内翅片均采用金属材料制成。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案,所述内翅片上喷砂处理, 提高比表面积。
[0008]本技术的有益效果是:该结构为内翅片管,在制作过程中内翅片焊接在外管内,并做喷砂处理,从而将有限的管径内实现较大的表面积,也降低了流阻,还具有良好的导热性。
附图说明
[0009]图1为本技术的结构示意图。
[0010]图 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有多层内翅片的热阱结构,包括外管(1)、内管(2)和内翅片(3),其特征在于:所述外管(1)和内管(2)之间连接有若干个内翅片(3)。2.根据权利要求1所述的一种具有多层内翅片的热阱结构,其特征在于:所述内翅片(3)分别与外管(1)和内管...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘晓东,
申请(专利权)人:上海晶普材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。