一种硅片吸附吸盘制造技术

本发明专利技术提供一种硅片吸附吸盘，包括吸盘本体，其特征在于：吸盘本体为圆盘形，吸盘本体的圆周上十字垂直对称的设置有四个抓耳，吸盘本体内连通四处抓耳的十字路径上设有气道，气道上开有吸附孔，吸盘本体的吸附面上对称分散设置有弹性垫片。此新型结构的硅片吸附吸盘通过优化吸盘的结构，适当减少吸盘与硅片的接触面积，在吸盘表面按特定排列方式设置泡棉垫片，既保证吸附硅片时受力的均匀分布，又能保护硅片表面的光滑完整，因此能极大提高整体生产产能，减少碎片的出现，增加良率。增加良率。增加良率。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片吸附吸盘


[0001]本专利技术属于太阳能光伏领域，具体涉及一种硅片吸附吸盘。

技术介绍

[0002]太阳能电池的制造需要经过制绒、扩散、激光掺杂、前氧化、刻蚀、后氧化、镀膜、丝网印刷和烧结测试这几大工序。其中，每一道工序都有自己不同的环境特征，在特定工序中需要抓取电池硅片的吸盘也有特殊要求，在激光掺杂工艺过程中，通过吸盘转移搬运硅片，现有使用的吸盘与硅片形状相同，吸附硅片时整个贴于硅片表面，有一个不容忽视的问题亟待解决，那就是吸盘与硅片接触面积过大，硅片本身质地脆弱，硅片在吸附转移的过程中易发生碎片，碎片残渣还可能残留在吸盘上，造成硅片表面划损或增加碎片发生概率。

技术实现思路

[0003]鉴于以上，本专利技术提供一种新型结构的硅片吸附吸盘，通过优化吸盘的结构，适当减少吸盘与硅片的接触面积，在吸盘表面按特定排列方式设置泡棉垫片，既保证吸附硅片时受力的均匀分布，又能保护硅片表面的光滑完整，因此能极大提高整体生产产能，减少碎片的出现，增加良率。
[0004]具体技术方案如下：
[0005]一种硅片吸附吸盘，包括吸盘本体，其特征在于：吸盘本体为圆盘形，吸盘本体的圆周上十字垂直对称的设置有四个抓耳，吸盘本体内连通四处抓耳的十字路径上设有气道，气道上开有吸附孔，吸盘本体的吸附面上对称分散设置有弹性垫片。
[0006]进一步，吸盘本体上的弹性垫片为泡棉垫块，由吸盘本体圆心向外呈环状分布有四圈。
[0007]进一步，吸盘本体的气道相交中心处开设有反吹孔。
[0008]进一步，吸盘本体上还开设有辅助通孔，位于吸盘本体上气道相间的区域上，贯通吸盘本体。
[0009]本专利技术附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0010]本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0011]图1所示为硅片吸附吸盘结构示意图：
[0012]其中，1
‑
吸盘本体，2
‑
抓耳，3
‑
吸附孔，4
‑
弹性垫片，5
‑
反吹孔，6
‑
辅助通孔。
具体实施方式
[0013]下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能解释为
对本专利技术的限制。
[0014]参照图1，本实施例一种硅片吸附吸盘，包括吸盘本体1，吸盘本体为圆盘形，吸盘本体1的圆周上十字垂直对称的设置有四个抓耳2，吸附硅片时四个抓耳2对应吸附硅片的四个端角。吸盘本体1内连通四处抓耳2的十字路径上设有气道（图未示，但不影响理解），气道上开有吸附孔3，吸盘本体1的吸附面上对称分散设置有弹性垫片4，优选的，吸盘本体1上的弹性垫片4为泡棉垫块，由吸盘本体1圆心向外呈环状分布有四圈，四个抓耳2的吸附面上也铺设有有弹性垫片4，泡棉垫块这种对称环状分散结构的设计，既保证吸附硅片时受力的均匀分布，又能减少吸盘本身与硅片的接触面积。
[0015]进一步，吸盘本体1的气道相交中心处开设有反吹孔5，卸载硅片时此孔向硅片吹气，便于卸片。
[0016]另外优选的，吸盘本体1上还开设有辅助通孔6，位于吸盘本体1上气道相间的区域上，贯通吸盘本体1，此结构的设计可以减轻吸盘本身重量的同时进一步减少吸盘与硅片的接触面积。
[0017]本实施例中的硅片吸附吸盘可直接应用在现有的硅片转移装置中，吸气、出气的气管及真空设备连接吸盘本体上方，此处为成熟现有技术，不做赘述不影响对本申请技术方案的理解。
[0018]尽管参照本专利技术的示意性实施例对本专利技术的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本专利技术原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本专利技术的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片吸附吸盘，包括吸盘本体，其特征在于：吸盘本体为圆盘形，吸盘本体的圆周上十字垂直对称的设置有四个抓耳，吸盘本体内连通四处抓耳的十字路径上设有气道，气道上开有吸附孔，吸盘本体的吸附面上对称分散设置有弹性垫片。2.根据权利要求1所述的硅片吸附吸盘，其特征在于，吸盘本体上的弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：时永健，
申请(专利权)人：江苏润阳世纪光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：