一种导流装置制造方法及图纸

本申请提供一种导流装置，导流装置包括溢流组件、基体和导流板，溢流组件具有出液口，溢流组件与基体连接；导流板设有出液侧，导流板用于承接从出液口流出的液体并使液体从出液侧排出；导流板与基体活动连接，用于调节出液侧相对于基体之间的距离。该导流装置使用时，能够应用于显影场景下，能根据基片的厚度调整导流板的高度，从而调整导流板和基片之间的距离，使得显影液能均匀覆盖基片的表面，同时，还能够适应不同厚度基片的显影，使用范围广。使用范围广。使用范围广。

【技术实现步骤摘要】
一种导流装置


[0001]本技术涉及半导体加工设备领域，具体而言，涉及一种导流装置。

技术介绍

[0002]连续喷雾显影是将显影液以雾状形式喷洒到基片上,同时基片以100r/min～500r/min的速度旋转。该方法容易导致显影单元内形成过多的小水滴式的显影液,它们类似一个个透镜,对后续的工艺会造成不良影响。另外显影液采用喷嘴以雾状形式喷出,从高压区进入低压区,会发生绝热冷却效应,从而改变显影单元内的温度,为此还需添加一个加热系统。
[0003]经专利技术人研究发现，现有的显影设备存在如下缺点：
[0004]显影液排出位置与定位基片的定位件之间的距离是固定的，使用范围小，并且显影效果差。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种导流装置，其能够适应对不同厚度尺寸的基片的作业场景，使用范围广，成本低，同时，在应用于基片显影场景下时显影效果好。
[0006]本技术的实施例是这样实现的：
[0007]本技术提供一种导流装置，包括：
[0008]溢流组件、基体和导流板，所述溢流组件具有出液口，所述溢流组件与所述基体连接；所述导流板设有出液侧，所述导流板用于承接从所述出液口流出的液体并使所述液体从所述出液侧排出；所述导流板与所述基体活动连接，用于调节所述出液侧相对于所述基体之间的距离。
[0009]在可选的实施方式中，所述导流板与所述基体在第一方向上可滑动地连接，以调节所述导流板与所述基体在所述第一方向上的距离，其中所述第一方向为导流板的厚度方向。
[0010]在可选的实施方式中，所述导流板与所述基体通过卡接组件连接；所述卡接组件具有相互切换的解锁状态和锁定状态，处于所述解锁状态时，所述导流板能相对于所述基体在所述第一方向上滑动，处于所述锁定状态时，所述导流板与所述基体在所述第一方向上相对固定。
[0011]在可选的实施方式中，所述卡接组件包括固定杆和多个凸起，所述多个凸起均与所述固定杆连接且在所述固定杆的延伸方向上间隔排布；所述固定杆与所述导流板连接；所述基体上设置有连通的避让孔和卡接孔；在所述卡接组件处于所述解锁状态时，所述固定杆穿设于所述避让孔内；所述卡接组件处于所述锁定状态时，所述固定杆穿设于所述卡接孔内，且所述多个凸起中的一个与所述卡接孔的孔口所在端面抵持。
[0012]在可选的实施方式中，所述凸起设置为环形结构。
[0013]在可选的实施方式中，所述导流板与所述基体在与第一方向具有夹角的第二方向
上可滑动地连接，以调节所述导流板与所述基体在所述第二方向上的距离。
[0014]在可选的实施方式中，所述导流板具有相连的引导平面和引导斜面，所述引导平面与所述引导斜面具有夹角，所述引导斜面远离所述引导平面的一侧设置为出液侧。
[0015]在可选的实施方式中，所述溢流组件与所述基体活动连接，以调节所述溢流组件与所述导流板之间的距离。
[0016]在可选的实施方式中，所述溢流组件包括溢流箱和连接件，所述出液口设于所述溢流箱上，所述连接件与所述溢流箱连接；所述连接件与所述基体活动连接，用于调节所述溢流箱与所述基体之间的距离。
[0017]在可选的实施方式中，所述基体上设置有调节件，所述调节件设置有多个间隔排布的插孔，所述连接件与多个所述插孔中的一个插接配合。
[0018]在可选的实施方式中，所述连接件上设置有固定孔，所述固定孔内用于插接固定销，所述固定销用于限制所述连接件脱离所述插孔。
[0019]本技术实施例的有益效果是：
[0020]综上所述，本实施例提供的导流装置，可以应用于基片显影作业场景下，使用时，将该导流装置与定位基片的定位装置配合，基片定位于定位装置上。然后，根据基片的厚度，调整导流板相对于基体的位置，从而调整导流板与基片之间的距离，如此，使得导流板与基片之间的距离可控，既保证从导流板流向基片的显影液能够均匀覆盖基片表面，还能够适应不同厚度尺寸的基片的显影，使用便捷灵活，使用范围广，降低成本。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0022]图1为本技术实施例的导流装置的结构示意图；
[0023]图2为图1中的局部放大结构示意图；
[0024]图3为本技术实施例的溢流组件的一视角的结构示意图；
[0025]图4为本技术实施例的溢流组件的另一视角的结构示意图；
[0026]图5为本技术实施例的基体的结构示意图；
[0027]图6为本技术实施例的安装条的结构示意图。
[0028]图标:
[0029]100
‑
溢流组件；110
‑
溢流箱；111
‑
第一补液口；112
‑
第二补液口；113
‑
第一出液口；114
‑
第二出液口；120
‑
连接件；121
‑
固定孔；130
‑
第一引导板；140
‑
第二引导板；200
‑
基体；210
‑
安装杆；220
‑
连接杆；300
‑
导流板；301
‑
安装条；310
‑
避让孔；320
‑
卡接孔；330
‑
出液侧；400
‑
调节件；410
‑
插孔；500
‑
固定销；600
‑
卡接组件；610
‑
固定杆；620
‑
凸起。
具体实施方式
[0030]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描
述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0031]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0033]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导流装置，其特征在于，包括：溢流组件、基体和导流板，所述溢流组件具有出液口，所述溢流组件与所述基体连接；所述导流板设有出液侧，所述导流板用于承接从所述出液口流出的液体并使所述液体从所述出液侧排出；所述导流板与所述基体活动连接，用于调节所述出液侧相对于所述基体之间的距离。2.根据权利要求1所述的导流装置，其特征在于：所述导流板与所述基体在第一方向上可滑动地连接，以调节所述导流板与所述基体在所述第一方向上的距离，其中所述第一方向为导流板的厚度方向。3.根据权利要求2所述的导流装置，其特征在于：所述导流板与所述基体通过卡接组件连接；所述卡接组件具有相互切换的解锁状态和锁定状态，处于所述解锁状态时，所述导流板能相对于所述基体在所述第一方向上滑动，处于所述锁定状态时，所述导流板与所述基体在所述第一方向上相对固定。4.根据权利要求3所述的导流装置，其特征在于：所述卡接组件包括固定杆和多个凸起，所述多个凸起均与所述固定杆连接且在所述固定杆的延伸方向上间隔排布；所述固定杆与所述导流板连接；所述基体上设置有连通的避让孔和卡接孔；在所述卡接组件处于所述解锁状态时，所述固定杆穿设于所述避让孔内；所述卡接组件处于所述锁定状态时，所述固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：史继英，刘博瑞，管文萌，
申请(专利权)人：成都博腾实达智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：