本实用新型专利技术公开了一种掩膜版拆膜装置，包括上层部件和下层部件，所述上层部件和所述下层部件贴合设置且通过固定件可拆卸固定；所述上层部件包括上层水平部和与所述上层水平部一体设置的折弯部，所述折弯部呈上翘设置且游离端设置为倒角，所述折弯部的厚度由与所述上层水平部连接端至游离端依次减小。本装置可以将贴在掩膜版上的膜翘起，可适用于不同尺寸的膜的拆除工作，使用简便、高效且造价较低。拆膜时手持该装置，利用上层部件的折弯部将膜翘起，折弯部的游离端厚度较薄，且端部设置为倒角，方便置于膜与掩膜版之间的缝隙处的同时也避免端部对膜造成损坏；整个装置小巧方便，手持使用，灵活性高。灵活性高。灵活性高。
A mask plate film removal device
【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版拆膜装置
[0001]本技术涉及掩膜版加工
，更具体地说，涉及一种掩膜版拆膜装置。
技术介绍
[0002]在掩膜版生产过程中有时需要进行贴膜工序，贴膜工序旨在为曝光时增加Mask(掩膜版)的洁净度。
[0003]贴膜工序中也存在一些异常因素，比如贴膜居中不合理，贴膜后检查新增异物以及对下游客户贴膜产品进行服务等情况下会涉及到撬膜重贴等工序，届时将需要一种撬膜工具将原本石英板材与膜贴合后的产品进行拆模处理，膜拆除后用丙酮对膜框印痕擦拭后方可进行后续的清洗，检查以及贴膜等工序。
[0004]膜与石英基板之间靠强力粘合剂进行粘附，在膜拆除时需要做以下两个方面的保护工作：
①
膜拆除工具的设计不能对石英板材造成二次损伤；
②
膜拆除工具设计需要将强力粘合剂完整取出，不能出现连续断线，残胶的出现会导致后续清洗良率降低，影响产品质量。
[0005]目前G8.5代光掩膜版行业涉及贴膜尺寸涵盖仅十余种，贴膜最小尺寸为520*800mm，最大1400*1600mm，设计一种掩膜版拆膜装置能够适用于如此之多的产品尺寸，将有效的增加工作效率、降低工具老化更新所带来的消耗费用。
技术实现思路
[0006]本技术的目的在于提供一种掩膜版拆膜装置，用以解决上述
技术介绍
中存在的技术问题。
[0007]本技术技术方案一种掩膜版拆膜装置，包括上层部件和下层部件，所述上层部件和所述下层部件贴合设置且通过固定件可拆卸固定；所述上层部件包括上层水平部和与所述上层水平部一体设置的折弯部，所述折弯部呈上翘设置且游离端设置为倒角，所述折弯部的厚度由与所述上层水平部连接端至游离端依次减小。
[0008]在一个优选地实施例中，所述下层部件包括下层水平部和与所述下层水平部一体设置的倾斜部，所述倾斜部呈直角三角形，且所述倾斜部的两直角边分别与所述下层水平部的侧面与顶面重合，所述倾斜部的斜面与所述水平部的连接处设置为倒角。
[0009]在一个优选地实施例中，所述上层部件和所述下层部件上均设置有一一对应的螺纹孔，所述固定件包括由下至上依次穿过所述下层部件和所述上层部件上螺纹孔的沉头螺母。
[0010]在一个优选地实施例中，所述下层部件上设置有三螺纹孔且等距分布，一个位于所述倾斜部、两个位于所述下层水平部，且三个所述螺纹孔位于所述下层部件的轴线上。
[0011]在一个优选地实施例中，所述上层部件为不锈钢材质，所述下层部件为POM材质，所述上层部件的厚度小于所述下层部件的厚度。
[0012]在一个优选地实施例中，所述上层水平部和所述下层水平部的直角边做圆滑处
理。
[0013]本技术技术方案的有益效果是：
[0014]1.本装置可以将贴在掩膜版上的膜翘起，可适用于不同尺寸的膜的拆除工作，使用简便、高效且造价较低。
[0015]2.拆膜时手持该装置，利用上层部件的折弯部将膜翘起，折弯部的游离端厚度较薄，且端部设置为倒角，方便置于膜与掩膜版之间的缝隙处的同时也避免端部对膜造成损坏；整个装置小巧方便，手持使用，灵活性高。
[0016]3.上层部件的不锈钢材质可以达到拆膜的刚性要求，下层部件的POM材质可有效避免产品外表面划伤，降低产品报废风险。
附图说明
[0017]图1为本技术侧视图，
[0018]图2为本技术结构拆解图，
[0019]图3为本技术仰视图。
[0020]附图标记说明：1上层部件、11上层水平部、12折弯部、2下层部件、21下层水平部、22倾斜部、3螺纹孔、4沉头螺母。
具体实施方式
[0021]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。本技术的实施例是为了示例和描述方便起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本技术限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本技术的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本技术从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
[0022]参照图1
‑
图3，本技术技术方案公开了一种掩膜版拆膜装置，通过本装置可以将贴在掩膜版上的膜翘起，可适用于不同尺寸的膜的拆除工作，使用简便、高效且造价较低。
[0023]本装置包括上层部件1和下层部件2，上层部件1和下层部件2贴合设置且通过固定件可拆卸固定。固定件将上层部件1和下层部件2固定为一个整体，上层部件1包括上层水平部11和与上层水平部11一体设置的折弯部12，折弯部12呈上翘设置且游离端设置为倒角，折弯部12的厚度由与上层水平部11连接端至游离端依次减小。拆膜时手持该装置，利用上层部件1的折弯部12将膜翘起，折弯部12的游离端厚度较薄，且端部设置为倒角，方便置于膜与掩膜版之间的缝隙处的同时也避免端部对膜造成损坏；整个装置小巧方便，手持使用，灵活性高。
[0024]下层部件2包括下层水平部21和与下层水平部21一体设置的倾斜部22，倾斜部22呈直角三角形，且倾斜部22的两直角边分别与下层水平部21的侧面与顶面重合，倾斜部22的斜面与水平部的连接处设置为倒角。拆膜时，折弯部12卡在膜下方、下层水平部21与倾斜部22的交界处与掩膜版接触，通过由上至下下压该拆膜装置可将膜翘起。下层水平部21与倾斜部22的连接处为受力点，将该连接处设置为倒角，避免在拆膜时下层部件2对掩膜版造成损坏。
[0025]上层部件1和下层部件2上均设置有一一对应的螺纹孔3，固定件包括由下至上依次穿过下层部件2和上层部件1上螺纹孔3的沉头螺母4。下层部件2上设置有三螺纹孔3且等距分布，一个位于倾斜部22、两个位于下层水平部21，且三个螺纹孔3位于下层部件2的轴线上。螺纹孔3采用上述分布方式保证上层部件1和下层部件2之间固定的牢固性。
[0026]上层部件1为不锈钢材质，下层部件2为POM材质，上层部件1的厚度小于下层部件2的厚度。上层部件1的不锈钢材质可以达到拆膜的刚性要求，下层部件2的POM材质可有效避免产品外表面划伤，降低产品报废风险。
[0027]上层水平部11和下层水平部21的直角边做圆滑处理，避免使用者手掌被划伤。
[0028]显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本技术保护的范围。本技术中未具体描述和解释说明的结构、装置以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种掩膜版拆膜装置，其特征在于：包括上层部件和下层部件，所述上层部件和所述下层部件贴合设置且通过固定件可拆卸固定；所述上层部件包括上层水平部和与所述上层水平部一体设置的折弯部，所述折弯部呈上翘设置且游离端设置为倒角，所述折弯部的厚度由与所述上层水平部连接端至游离端依次减小。2.根据权利要求1所述的一种掩膜版拆膜装置，其特征在于：所述下层部件包括下层水平部和与所述下层水平部一体设置的倾斜部，所述倾斜部呈直角三角形，且所述倾斜部的两直角边分别与所述下层水平部的侧面与顶面重合，所述倾斜部的斜面与所述水平部的连接处设置为倒角。3.根据权利要求2所述的一种掩膜版拆膜装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋恺，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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