一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置制造方法及图纸

技术编号:34198136 阅读:61 留言:0更新日期:2022-07-17 17:54
本实用新型专利技术公开了一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,通过氧气瓶提供氧气,包括转接头、内管、外管,其中转接头的一侧连接有储气管,储气管分别通过轴承连接外管和内管,外管包绕于内管外,所述外管和内管的另一端通过轴承连接有轴一和轴二,并由轴一和轴二单独带动驱动,所述转接头与内管之间通过转动以控制氧气的流量大小。本方案通过气泵输出的恒定气压,经转接头进入储气管传而导至内管内,氧气通过内管放气孔进入外管,再通过外管的放气孔进入镀膜区域,同时内管与外管均可通过驱动转动,内管与外管放气孔的转动配合以及针阀来调节通入氧气的流量,并通过外管的旋转来调整氧气通入的位置与角度,以此来调节通入氧气分布的均匀性。氧气分布的均匀性。氧气分布的均匀性。

A controllable device for evenly feeding oxygen into vacuum aluminizing machine

【技术实现步骤摘要】
一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置


[0001]本技术涉及膜生产设备
,具体为一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置。

技术介绍

[0002]高阻隔膜主要是指能够对气体(氧气、水气等)具有高阻隔性能的薄膜。通过真空镀膜技术制备的高阻隔膜主要可分为金属膜和陶瓷膜,其中陶瓷膜近年来发展迅速,最大的优势在于消费者可以透过陶瓷膜看到商品,并且在整个包装过程中对商品不会产生金属污染。陶瓷膜中,使用的最多的是氧化铝与氧化硅薄膜。与氧化硅薄膜相比,氧化铝薄膜不仅在较薄时柔韧性比较好,而且无色透明、阻隔性能好。
[0003]氧化铝阻隔膜目前采用的生产方法主要有:电子束蒸发、化学气相沉积、磁控溅射、热蒸发镀铝通氧气等方法,其中电子束蒸发、化学气相沉积等是设备价格昂贵,而且镀料(Al2O3)价格高;磁控溅射生产效率低。
[0004]真空镀铝机设备价格低、生产效率高,但是如果直接通入氧气会存在氧气分布不均匀、产品性能稳定性差、阻隔性能差等问题。
[0005]为了解决上述问题,本案由此而生。

技术实现思路

[0006](一)解决的技术问题
[0007]针对现有技术的不足,本技术提供了一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0008](二)技术方案
[0009]为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,通过氧气瓶提供氧气,包括转接头、内管、外管,其中转接头的一侧连接有储气管,储气管分别通过轴承连接外管和内管,其中外管包绕于内管外,所述外管和内管的另一端通过轴承连接有轴一和轴二,并由轴一和轴二单独带动驱动,所述转接头与内管之间通过转动以控制氧气的流量大小,外管的转动以调整通入氧气的角度,并可通过与内管配合以控制氧气的流量大小。
[0010]优选的,所述内管与转接头对应端部的管口处均设置有尺寸相同半圆形的密封盖,两个半圆形的密封盖合并形成整个圆,并与内管与转接头端部的管口口径相同。
[0011]优选的,所述轴承包括轴承一、轴承二、轴承三、轴承四,所述外管通过分别设于两侧的轴承一与轴承三配合以对应旋转,内管通过轴承二与轴承四配合以对应旋转。
[0012]优选的,所述内管与外管上均沿其长度方向阵列有通孔。
[0013]优选的,所述内管、外观、储气管均采用无缝钢管,采用牌号为0Cr
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Ni9。
[0014](三)有益效果
[0015]采用上述技术方案后,本技术与现有技术相比,具备以下优点:本技术一
种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,通过气泵输出的恒定气压,经转接头进入储气管传而导至内管内,氧气通过内管放气孔进入外管,再通过外管的放气孔进入镀膜区域,同时内管与外管均可通过驱动转动,内管与外管放气孔的转动配合以及针阀来调节通入氧气的流量,并通过外管的旋转来调整氧气通入的位置与角度,以此来调节通入氧气分布的均匀性。
附图说明
[0016]图1为本技术安装位置整体示意图;
[0017]图2为本技术中外管与储气管连接示意图;
[0018]图3为本技术中内管与储气管连接示意图;
[0019]图4为本技术中内管与储气管连接正视图。
[0020]图中:1、转接头;2、储气管;3、内管;4、外管;5、轴承一;6、轴承二;7、轴承三;8、轴承四;9、轴一;10、轴二;11、氧气瓶。
具体实施方式
[0021]下面通过附图和实施例对本技术作进一步详细阐述。
[0022]如图1

4所示:一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,包括转接头1,用于将气管转接入不锈钢管以通入氧气。储气管2,主要起连接一侧的轴承一5、轴承二6以及将泄露的气存储的作用。
[0023]内管3,可旋转来调整放气孔的位置,通过与储气管2配合来控制通入氧气的流量大小,具体可采用两者对应端部的管口处均设置半圆形的密封盖,使得在内管3转至两个密封盖重合时,通入的氧气流量最大(即尺寸为半圆形的口径大小),当转至两个密封盖交错时,则实现密封而不通入氧气流量。
[0024]外管4,可旋转调整通入氧气的角度(位置),并可通过与内管3配合来控制氧气的流量大小。
[0025]通过分别设于两侧的轴承一5与轴承三7配合以对应外管4的旋转;轴承二6与轴承四8配合以对应内管3的旋转。
[0026]其中轴一9、轴二10的一侧需设置驱动件(可采用常规设备如电机进行驱动,分别单独驱动轴一9和轴二10即可),进而配合两侧对应连接的轴承分别带动外管4和内管3的旋转。
[0027]参考附图2,驱动端位于附图的右侧。经轴承的配合能够实现内管3与外管4的单独旋转。
[0028]本方案氧气由氧气瓶11提供,经转接头1进入储气管2后进入内管3,通过气瓶的针阀以及旋转内管3与外管4的孔的配合调节氧气通入的大小和角度。
[0029]储气管2与开孔的外管4之间安装轴承来保证外管4可以转动,储气管2与开孔的内管3之间安装轴承来保证内管3也可转动。
[0030]本专利技术所涉及的管道均采用无缝钢管,采用牌号为0Cr
18
Ni9。
[0031]内管3与外管4的开孔数目与位置取决于蒸发舟的数目与位置,应在蒸发舟的正上方。
[0032]各连接部分均需检漏,泄露部位需进行油封,防止气体的泄漏。
[0033]实施案例
[0034]PET基材宽度为600mm,在已有的真空镀铝设备上进行改装。已有的真空镀铝设备可装6盘料,选用0Cr
18
Ni9无缝钢管,外管4与内管3长度均为600mm,外管4直径为30mm,开孔6
×
Φ4mm,内管3直径为7.5mm,开孔6
×
Φ4mm,每个孔的位置均在蒸发舟正上方60mm处,内管3与外管4的孔为同心。储气管2的直径为15mm,长度100mm。安装轴承、轴和电机,油封后进行检漏,检漏合格后开始蒸镀,蒸镀过程中对外管4和内管3进行旋转。
[0035]与未通氧气相比,WVTR降低了一个数量级,由1.2g/m2/24h降至0.5g/m2/24h,产品性能稳定,连续生产时一致性高。
[0036]以上所述依据实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项专利技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项使用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其保护的范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,通过氧气瓶提供氧气,其特征在于:包括转接头、内管、外管,其中转接头的一侧连接有储气管,储气管分别通过轴承连接外管和内管,其中外管包绕于内管外,所述外管和内管的另一端通过轴承连接有轴一和轴二,并由轴一和轴二单独带动驱动,所述转接头与内管之间通过转动以控制氧气的流量大小,外管的转动以调整通入氧气的角度,并可通过与内管配合以控制氧气的流量大小。2.根据权利要求1所述的一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,其特征在于:所述内管与转接头对应端部的管口处均设置有尺寸相同半圆形的密封盖,两个半圆形的密封盖合并形成整个圆,并与...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐从康贺涛
申请(专利权)人:浙江弘康半导体技术股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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