一种样品夹具及测试方法技术

本发明专利技术提供了一种样品夹具及测试方法，属于试验器具技术领域，克服了现有技术中的样品载台安装、转移过程中易脱落、易变形、便利性差、耗时长、效率低的缺陷，从而提供一种样品夹具及测试方法。本发明专利技术中的样品夹具，包括：底座，所述底座设置有凹槽，所述凹槽的深度小于样品载台的高度，以暴露所述样品载台的承载部位；引导结构，可拆卸的安装在所述底座上，所述引导结构具有与所述凹槽连通设置的滑槽和贴附在所述底座的一侧的支撑板，所述滑槽适于引导样品载台在重力作用下滑动至所述凹槽中。导样品载台在重力作用下滑动至所述凹槽中。导样品载台在重力作用下滑动至所述凹槽中。

A sample fixture and test method

【技术实现步骤摘要】
一种样品夹具及测试方法


[0001]本专利技术属于试验器具
，具体涉及一种样品夹具及测试方法。

技术介绍

[0002]目前研究材料的晶体取向分析主要通过三个手段：(1)利用X光衍射或中子衍射进行宏观统计分析；(2)利用透射电镜(TEM)的电子衍射进行微区晶体结构分析；(3)利用扫描电镜(SEM)中的电子背散射衍射(EBSD)技术进行微区的晶体取向分析。
[0003]传统的EBSD分析由于分析区域大，获得的晶粒数量多，被广泛采用，但是受到信号激发区域的限制，其空间分辨率较低(>100nm)。有研究者尝试将透射信号应用于传统的EBSD技术中，称为透射式电子背散射衍射技术(t
‑
EBSD)，该技术能够应用于小于50nm的晶粒、晶界特性研究及大变形量的样品分析。
[0004]t
‑
EBSD分析采用的样品通常为直径3mm的透射电镜样品，由于其制备出的样品位置随机，因此适用于观察均匀的组织；聚焦离子束(FIB)制备方法主要应用于对观察区域有特定需求的样品，可以精准定位到特定感兴趣区域，该方法目前已被广泛应用于材料分析领域。常规的FIB制备TEM样品进行t
‑
EBSD分析时，有以下缺点：(1)放置半铜网时，由于放置区域小且半铜网夹持不方便，导致安装困难，半铜网易脱落，易变形；(2)t
‑
EBSD分析时半铜网需要转移到t
‑
EBSD专用样品台上，取放样品时存在铜网变形和样品从铜网脱落等问题，同时便利性差，耗时长，效率低。

技术实现思路

[0005]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的样品载台(即半铜网)安装、转移过程中易脱落、易变形、便利性差、耗时长、效率低的缺陷，从而提供一种样品夹具及测试方法。
[0006]为此，本专利技术提供了以下技术方案。
[0007]一方面，本专利技术提供了一种样品夹具，包括：
[0008]底座，所述底座设置有凹槽，所述凹槽的深度小于样品载台的高度，以暴露所述样品载台的承载部位；
[0009]引导结构，可拆卸的安装在所述底座上，所述引导结构具有与所述凹槽连通设置的滑槽和贴附在所述底座的一侧的支撑板，所述滑槽适于引导样品载台在重力作用下滑动至所述凹槽中。
[0010]进一步的，还包括固定结构，所述凹槽远离所述支撑板的侧壁设有开口，所述固定结构与所述支撑板相对设置，以封闭所述开口。
[0011]进一步的，所述凹槽、开口和样品载台均为弧形。
[0012]进一步的，还包括设于所述凹槽中的压块，所述压块和所述样品载台在垂直于所述凹槽槽深方向上的宽度之和等于所述凹槽在该方向上的宽度。
[0013]进一步的，所述固定结构包括与所述底座贴合设置的固定板和依次贯穿所述固定
板、底座设置的紧固件。
[0014]进一步的，所述底座上设有支撑台，所述固定板设于所述支撑台上。
[0015]进一步的，所述支撑板上设有滑槽或滑块，相应的，所述底座上设有滑块或滑槽。
[0016]另一方面，本专利技术还提供了一种测试方法，采用上述样品夹具进行测试，包括以下步骤：
[0017]先将样品载台经引导结构的滑槽放置到底座的凹槽中，然后将样品与样品载台固定，对该样品进行处理后，再将底座倾斜预定角度，进行测试。
[0018]进一步的，所述预定角度为60～80
°
。
[0019]进一步的，将样品载台经引导结构的滑槽放置到底座的凹槽中的具体步骤为：
[0020]将样品载台放置到水平设置的引导结构的滑槽后，然后将引导结构由水平位置倾斜至与水平面呈40～50
°
夹角位置，使得样品载台沿滑槽滑至凹槽中。
[0021]滑槽宽度略大于样品载台直径，优选地，滑槽宽度比样品载台直径大0.25
‑
0.5mm。
[0022]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0023]1.本专利技术提供的样品夹具，包括：底座，所述底座设置有凹槽，所述凹槽的深度小于样品载台的高度，以暴露所述样品载台的承载部位；引导结构，可拆卸的安装在所述底座上，所述引导结构具有与所述凹槽连通设置的滑槽和贴附在所述底座的一侧的支撑板，所述滑槽适于引导样品载台在重力作用下滑动至所述凹槽中。
[0024]样品载台通过引导结构上的滑槽滑至凹槽，滑槽使样品载台在安装时左右高度水平，避免样品载台安装过程脱落、变形。引导结构为可拆卸安装，且凹槽的深度小于样品载台的高度，以暴露样品载台的承载部位，承载部位无遮挡，不会影响样品载台上样品的后续测试，使得采用本专利技术夹具制得薄片样品后，测试过程中，装置无需转移安装样品，避免样品损伤、脱落，实验效率高，分析稳定便利，检测结果准确。
[0025]2.本专利技术提供的样品夹具，还包括固定结构，所述凹槽远离所述支撑板的侧壁设有开口，所述固定结构与所述支撑板相对设置，以封闭所述开口。凹槽远离支撑板的侧壁设有开口，当样品载台滑至凹槽后再通过固定结构封闭开口，使得样品载台安装时更方便。
[0026]3.本专利技术提供的样品夹具，还包括设于所述凹槽中的压块，所述压块和所述样品载台在垂直于所述凹槽槽深方向上的宽度之和等于所述凹槽在该方向上的宽度。样品载台在垂直于所述凹槽槽深方向上的宽度小于凹槽在该方向上的宽度，使得样品载台更易安装。当样品载台滑至凹槽后与压块配合固定，减少样品载台变形及脱落的风险。
[0027]4.本专利技术提供的样品夹具，所述底座上设有支撑台，所述固定板设于所述支撑台上，提高固定板的安装效率和安装后的稳定性。
[0028]5.本专利技术提供的测试方法，采用上述的样品夹具，包括以下步骤：先将样品载台经引导结构的滑槽放置到底座的凹槽中，然后将样品与样品载台固定，对该样品进行处理后，再将底座倾斜预定角度，进行测试。
[0029]本专利技术有效的解决了样品载台放置时由于夹持和放置区域小，安装困难，易脱落，易变形，样品处理和样品测试时，需转移样品载台，容易破坏样品、效率低等问题。本专利技术提供的测试方法无需转移安装样品，避免样品损伤、脱落，实验效率高，分析稳定便利，检测结果准确。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1是实施例1中样品夹具分解图；
[0032]图2为实施例1梯形导轨示意图；
[0033]图3是实施例2中样品载台安装示意图；
[0034]图4是实施例2中样品载台安装完成去除引导结构后的示意图；
[0035]图5为实施例2中FIB制备的薄片样品的结果图；
[0036]图6为实施例2的t
‑
EBSD测试结果图。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种样品夹具，其特征在于，包括：底座(1)，所述底座(1)设置有凹槽(101)，所述凹槽(101)的深度小于样品载台(4)的高度，以暴露所述样品载台(4)的承载部位；引导结构(2)，可拆卸的安装在所述底座(1)上，所述引导结构(2)具有与所述凹槽(101)连通设置的滑槽(201)和贴附在所述底座(1)的一侧的支撑板，所述滑槽(201)适于引导样品载台(4)在重力作用下滑动至所述凹槽(101)中。2.根据权利要求1所述的样品夹具，其特征在于，还包括固定结构(3)，所述凹槽(101)远离所述支撑板的侧壁设有开口，所述固定结构(3)与所述支撑板相对设置，以封闭所述开口。3.根据权利要求2所述的样品夹具，其特征在于，所述凹槽(101)、开口和样品载台(4)均为弧形。4.根据权利要求3所述的样品夹具，其特征在于，还包括设于所述凹槽(101)中的压块(302)，所述压块(302)和所述样品载台(4)在垂直于所述凹槽(101)槽深方向上的宽度之和等于所述凹槽(101)在该方向上的宽度。5.根据权利要求2
‑
4任一项所述的样品夹具，其特征在于，所述固定结构(3)包括与所述底座(1)贴合设置的固定板(301)和依次贯穿所述固定板(301)、底座(1)设...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴园园，金传伟，张继明，
申请(专利权)人：江苏省沙钢钢铁研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：