本发明专利技术一种集成MEMS传感器的晶圆级封装结构，包括固定台，固定台的内部对称设有两个活动板，两个活动板的内部设有移动机构，两个活动板相对的一侧均对称设有两个缓冲板，两个缓冲板的内部均设有活动机构，两个活动板的顶部和底部均设有双向螺纹杆，双向螺纹杆的一端转动连接在固定台的内壁上，双向螺纹杆的另一端贯穿固定台并设有旋转机构，固定台的内部固定连接有固定盒，固定盒的内部设有升降机构，固定台远离旋转机构的一侧设有第一旋转盘，固定盒的顶部设有支撑板，本发明专利技术所达到的有益效果是：可以起到对基板进行限位夹紧的效果，使得不易出现基板晃动的现象，同时具有将基板升起的效果，便于进行后续加工操作。便于进行后续加工操作。便于进行后续加工操作。
【技术实现步骤摘要】
一种集成MEMS传感器的晶圆级封装结构
[0001]本专利技术涉及一种封装结构，特别涉及一种集成MEMS传感器的晶圆级封装结构，属于半导体封装
技术介绍
[0002]封装，是将集成电路裸片放在一块基板上，接着将管脚引出来，从而可以固定包装成为一个整体，以实现封装的效果。
[0003]但现有的封装结构，在进行封装时，大多没有对基板起到固定的稳定的效果，进而使得在后续进行封装操作时，会影响封装的效果，从而降低了加工的质量。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种集成MEMS传感器的晶圆级封装结构。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术提供了如下的技术方案：
[0006]本专利技术一种集成MEMS传感器的晶圆级封装结构，包括固定台，所述固定台的内部对称设有两个活动板，两个所述活动板的内部设有移动机构，两个所述活动板相对的一侧均对称设有两个缓冲板，两个所述缓冲板的内部均设有活动机构，两个所述活动板的顶部和底部均设有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的一端转动连接在固定台的内壁上，所述双向螺纹杆的另一端贯穿固定台并设有旋转机构，所述固定台的内部固定连接有固定盒，所述固定盒的内部设有升降机构，所述固定台远离旋转机构的一侧设有第一旋转盘，所述固定盒的顶部设有支撑板。
[0007]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述旋转机构包括两个皮带轮，两个所述皮带轮的一端均与双向螺纹杆固定连接，两个所述皮带轮之间通过皮带传动连接，其中一个所述皮带轮远离固定台的一侧设有第二旋转盘，所述第二旋转盘与该皮带轮通过连接件固定连接。
[0008]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述升降机构包括第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的顶端转动连接在固定盒的内壁上，所述第一螺纹杆的底端设有锥齿轮，所述第一螺纹杆的底部设有第二连接杆，所述第二连接杆的一端面上设有锥齿轮，所述第二连接杆与第一螺纹杆上的锥齿轮相啮合，所述第二连接杆的另一端贯穿固定盒并延伸至固定台外，所述第二连接杆的一端与第一旋转盘固定连接，所述第一螺纹杆的一侧设有第一滑杆，所述第一滑杆的两端均固定连接在固定盒的内壁上，所述第一滑杆和第一螺纹杆上均设有第二滑块，其中一个所述第二滑块螺纹连接在第一螺纹杆上，另一个所述第二滑块滑动连接在第一滑杆上。
[0009]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述活动机构包括第二滑杆，所述第二滑杆的顶端和底端均固定连接在缓冲板的内壁上，所述第二滑杆上滑动连接有第三滑块，所述第三滑块远离活动板的一端通过连接件固定连接有固定块。
[0010]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述移动机构包括两个第二螺纹杆，两个所述
第二螺纹杆相对的一端均设有锥齿轮，两个所述第二螺纹杆的另一端均转动连接在活动板的内壁上，两个所述第二螺纹杆之间设有转动杆，所述转动杆的一端设有锥齿轮，所述转动杆上的锥齿轮与两个第二螺纹杆上的锥齿轮相啮合，所述转动杆远离两个第二螺纹杆的一端贯穿活动板并固定连接有第三旋转盘，两个所述第二螺纹杆上均螺纹连接有第四滑块，所述第四滑块的一端通过连接件与缓冲板固定连接。
[0011]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述双向螺纹杆上对称设有两个第一滑块，两个所述第一滑块螺纹连接在双向螺纹杆上，两个所述第一滑块的一端与活动板固定焊接。
[0012]作为本专利技术的一种优选技术方案，两个所述第二滑块之间设有连接板，所述连接板的两端分别与两个第二滑块固定连接，所述连接板的顶部固定连接有第一连接杆，所述第一连接杆远离连接板的一端贯穿固定盒并与支撑板固定连接。
[0013]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述固定块远离缓冲板的一侧设有橡胶板，所述橡胶板和固定块之间设有多个弹簧，每个所述弹簧的两端分别与橡胶板和固定块固定连接。
[0014]本专利技术所达到的有益效果是：
[0015]1、通过移动机构可以起到调节两个固定块之间间距的效果，从而可以对不同大小的基板进行调节，进而便于后续对基板进行限位夹紧操作的进行，旋转机构可以起到调节两个活动板同时移动的效果，进而可以通过两个活动板上的橡胶板可以对基板起到限位夹紧的效果。
[0016]2、通过升降机构可以起到调节支撑板进行升降的效果，当支撑板升起时，可以将基板顶起，从而便于后续操作的进行，活动机构可以起到当基板上下移动时，从而带动固定块在第二滑杆上上下移动，从而便于将基板移动至合适的高度。
附图说明
[0017]附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制。在附图中：
[0018]图1是本专利技术的基板固定时结构示意图；
[0019]图2是本专利技术的俯视结构示意图；
[0020]图3是本专利技术的升降机构结构示意图；
[0021]图4是本专利技术的固定块和缓冲板结构示意图；
[0022]图5是本专利技术的活动机构结构示意图；
[0023]图6是本专利技术的A处放大结构示意图。
[0024]图中：1、固定台；2、双向螺纹杆；3、固定块；4、缓冲板；5、第一旋转盘；6、第二旋转盘；7、活动板；8、皮带轮；9、皮带；10、第一滑块；11、固定盒；12、支撑板；13、第一螺纹杆；14、第二滑块；15、第一滑杆；16、第一连接杆；17、连接板；18、弹簧；19、橡胶板；20、第三滑块；21、第二滑杆；22、移动机构；23、第二螺纹杆；24、第三旋转盘；25、第四滑块；26、转动杆；27、旋转机构；28、升降机构；29、活动机构；30、第二连接杆。
具体实施方式
[0025]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完
整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0026]实施例：如图1
‑
6所示，本专利技术一种集成MEMS传感器的晶圆级封装结构，包括固定台1，固定台1的内部对称设有两个活动板7，两个活动板7的内部设有移动机构22，两个活动板7相对的一侧均对称设有两个缓冲板4，两个缓冲板4的内部均设有活动机构29，两个活动板7的顶部和底部均设有双向螺纹杆2，双向螺纹杆2的一端转动连接在固定台1的内壁上，双向螺纹杆2的另一端贯穿固定台1并设有旋转机构27，固定台1的内部固定连接有固定盒11，固定盒11的内部设有升降机构28，固定台1远离旋转机构27的一侧设有第一旋转盘5，固定盒11的顶部设有支撑板12，可以起到对基板进行限位夹紧的效果，使得不易出现基板晃动的现象，同时具有将基板升起的效果，便于进行后续加工操作。
[0027]其中，旋转机构27包括两个皮带轮8，两个皮带轮8的一端均与双向螺纹杆2固定连接，两个皮带轮8之间通过皮带9传动连接，其中一个皮带轮8远离固定台1的一侧设有第二旋转盘6，第二旋转盘6与该皮带轮8通过连接件固定连接，可以起到本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种集成MEMS传感器的晶圆级封装结构，其特征在于，包括固定台(1)，所述固定台(1)的内部对称设有两个活动板(7)，两个所述活动板(7)的内部设有移动机构(22)，两个所述活动板(7)相对的一侧均对称设有两个缓冲板(4)，两个所述缓冲板(4)的内部均设有活动机构(29)，两个所述活动板(7)的顶部和底部均设有双向螺纹杆(2)，所述双向螺纹杆(2)的一端转动连接在固定台(1)的内壁上，所述双向螺纹杆(2)的另一端贯穿固定台(1)并设有旋转机构(27)，所述固定台(1)的内部固定连接有固定盒(11)，所述固定盒(11)的内部设有升降机构(28)，所述固定台(1)远离旋转机构(27)的一侧设有第一旋转盘(5)，所述固定盒(11)的顶部设有支撑板(12)。2.根据权利要求1所述的一种集成MEMS传感器的晶圆级封装结构，其特征在于，所述旋转机构(27)包括两个皮带轮(8)，两个所述皮带轮(8)的一端均与双向螺纹杆(2)固定连接，两个所述皮带轮(8)之间通过皮带(9)传动连接，其中一个所述皮带轮(8)远离固定台(1)的一侧设有第二旋转盘(6)，所述第二旋转盘(6)与该皮带轮(8)通过连接件固定连接。3.根据权利要求1所述的一种集成MEMS传感器的晶圆级封装结构，其特征在于，所述升降机构(28)包括第一螺纹杆(13)，所述第一螺纹杆(13)的顶端转动连接在固定盒(11)的内壁上，所述第一螺纹杆(13)的底端设有锥齿轮，所述第一螺纹杆(13)的底部设有第二连接杆(30)，所述第二连接杆(30)的一端面上设有锥齿轮，所述第二连接杆(30)与第一螺纹杆(13)上的锥齿轮相啮合，所述第二连接杆(30)的另一端贯穿固定盒(11)并延伸至固定台(1)外，所述第二连接杆(30)的一端与第一旋转盘(5)固定连接，所述第一螺纹杆(13)的一侧设有第一滑杆(15)，所述第一滑杆(15)的两端均固定连接在固定盒(11)的内壁上，所述第一滑杆(15)和第一螺纹杆(13)上均设有第二滑块(14)，其中一个所述第二滑块(14)螺纹连接在第一螺纹杆(13)上，另一个所述第二滑块(14)滑动连接在第一滑...
【专利技术属性】
技术研发人员：林启者，
申请(专利权)人：温州大学，
类型：发明
国别省市：
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