CO2和O2去除剂制造技术

本发明专利技术涉及CO2和O2去除剂以将CO2和O2从气体中充分去除。该CO2和O2去除剂包含65至85重量百分比(wt.％)的氧化镍(NiO)、5至20wt.％的氧化镁(MgO)，其中氧化镍和氧化镁的重量比(NiO/MgO)为4至11，且其中wt.％基于CO2和O2去除剂的重量。除剂的重量。除剂的重量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】CO2和O2去除剂


[0001]本专利技术涉及CO2和O2(CO2/O2)去除剂及制备其的方法。

技术介绍

[0002]例如，在使用含有氮气、氦气或氩气的惰性气体气氛的半导体制造工艺中，需要CO2/O2去除剂。需要去除活性气体，如CO2/O2，以使气氛惰性。
[0003]WO2013109895公开了CO2吸附剂，该CO2吸附剂包含(i)镁盐、和(ii)至少一种IA族元素的盐，其中(i)所述镁盐和(ii)所述IA族元素的盐以约8:1至3:1的摩尔比存在。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]WO2013109895
[0007]专利技术概述
[0008]目的为提供从气体中充分去除CO2和O2的CO2/O2去除剂。
[0009]本专利技术的一方面涉及CO2和O2去除剂，该去除剂包含：65至85重量百分比(wt.％)的氧化镍(NiO)、5至20wt.％的氧化镁(MgO)，其中氧化镍和氧化镁的重量比(NiO/MgO)为4至11，且其中wt.％基于CO2和O2去除剂的重量。
[0010]本专利技术的另一方面涉及制备CO2和O2去除剂的方法，该方法包括以下步骤：将镍化合物和镁化合物混合，并将混合物煅烧以形成CO2和O2去除剂，其中该CO2和O2去除剂包含65至85重量百分比(wt.％)的氧化镍(NiO)、5至20wt.％的氧化镁(MgO)，其中氧化镍和氧化镁的重量比(NiO/MgO)为4至11，且其中wt.％基于CO2和O2去除剂的重量。<br/>[0011]本专利技术的另一方面涉及将CO2和O2从空气中去除的方法，该方法包括以下步骤：将CO2和O2去除剂置于容器，其中该CO2和O2去除剂包含65至85重量百分比(wt.％)的氧化镍(NiO)、5至20wt.％的氧化镁(MgO)，其中氧化镍和氧化镁的重量比(NiO/MgO)为4至11，且其中wt.％基于CO2和O2去除剂的重量；并使空气通过该容器。
[0012]通过本专利技术，能够将CO2和O2从气体中充分去除。
[0013]附图的简要说明
[0014][图1]图1显示具有圆形横截面的圆柱形CO2/O2去除剂10的实例。
[0015][图2]图2显示具有三叶形横截面的圆柱形CO2/O2去除剂20的实例。
[0016]实施方式的描述
[0017]以下说明CO2/O2去除剂和制备其的方法。
[0018]基于CO2/O2去除剂的重量，该CO2/O2去除剂包含65至85重量百分比(wt.％)的氧化镍(NiO)、5至20wt.％的氧化镁(MgO)。
[0019]基于CO2/O2去除剂的重量，NiO在一种实施方式中为66.5wt.％或更多，在另一种实施方式中为67.5wt.％或更多，在另一种实施方式中为68.5wt.％或更多，在另一种实施方式中为69wt.％或更多，在另一种实施方式中为70.5wt.％或更多，在另一种实施方式中为71.2wt.％或更多。基于CO2/O2去除剂的重量，NiO在一种实施方式中为83.5wt.％或更少，在
另一种实施方式中为82.1wt.％或更少，在另一种实施方式中为80.5wt.％或更少，在另一种实施方式中为78.6wt.％或更少，在另一种实施方式中为76wt.％或更少，在另一种实施方式中为74.5wt.％或更少。
[0020]基于CO2/O2去除剂的重量，MgO在一种实施方式中为5.5wt.％或更多，在另一种实施方式中为6.2wt.％或更多，在另一种实施方式中为7.5wt.％或更多，在另一种实施方式中为7.9wt.％或更多，在另一种实施方式中为8.9wt.％或更多，在另一种实施方式中为9.9wt.％或更多，在另一种实施方式中为10.5wt.％或更多。基于CO2/O2去除剂的重量，MgO在一种实施方式中为19.2wt.％或更少，在另一种实施方式中为18.1wt.％或更少，在另一种实施方式中为17.5wt.％或更少，在另一种实施方式中为16.3wt.％或更少，在另一种实施方式中为15.5wt.％或更少，在另一种实施方式中为14.8wt.％或更少，在另一种实施方式中为13.2wt.％或更少，在另一种实施方式中为12.5wt.％或更少，在另一种实施方式中为11.1wt.％或更少，在另一种实施方式中为9.9wt.％或更少。
[0021]NiO和MgO的重量比(NiO/MgO)为4至11。NiO和MgO的重量比(NiO/MgO)在一种实施方式中为4.5或更多，在另一种实施方式中为5.1或更多，在另一种实施方式中为5.7或更多，在另一种实施方式中为6.1或更多，在另一种实施方式中为6.9或更多，在另一种实施方式中为7.5或更多，在另一种实施方式中为8.1或更多。NiO和MgO的重量比(NiO/MgO)在另一种实施方式中为10.5或更少，在另一种实施方式中为9.8或更少，在另一种实施方式中为5.7或更少，在另一种实施方式中为9或更少，在另一种实施方式中为8.2或更少，在另一种实施方式中为7.5或更少，在另一种实施方式中为6.8或更少。包含在上述重量比范围内的NiO和MgO的CO2/O2去除剂能够充分地同时去除CO2和O2。
[0022]在一种实施方式中，CO2/O2去除剂还包含选自氧化硅(SiO2)、氧化铝(Al2O3)、氧化钠(Na2O)及其混合物的一种或多种的其他金属氧化物。在另一种实施方式中，CO2/O2去除剂还包含选自氧化硅(SiO2)、氧化铝(Al2O3)及其混合物的一种或多种的其他金属氧化物。
[0023]在另一种实施方式中，CO2/O2去除剂除NiO和MgO以外还包含SiO2。基于CO2/O2去除剂的重量，SiO2在一种实施方式中为1wt.％或更多，在另一种实施方式中为2.2wt.％或更多，在另一种实施方式中为2.9wt.％或更多，在另一种实施方式中为3.6wt.％或更多，在另一种实施方式中为4.5wt.％或更多，在另一种实施方式中为5.2wt.％或更多，在另一种实施方式中为6.9wt.％或更多。基于CO2/O2去除剂的重量，SiO2在一种实施方式中为20wt.％或更少，在另一种实施方式中为17.2wt.％或更少，在另一种实施方式中为13.5wt.％或更少，在另一种实施方式中为10.3wt.％或更少，在另一种实施方式中为8.5wt.％或更少，在另一种实施方式中为6.4wt.％或更少，在另一种实施方式中为5.2wt.％或更少。
[0024]在一种实施方式中，CO2/O2去除剂除NiO和MgO以外还包含Al2O3。基于CO2/O2去除剂的重量，Al2O3在一种实施方式中为1wt.％或更多，在另一种实施方式中为3.2wt.％或更多，在另一种实施方式中为5.9wt.％或更多，在另一种实施方式中为7.2wt.％或更多，在另一种实施方式中为9.5wt.％或更多，在另一种实施方式中为10.1wt.％或更多，在另一种实施方式中为11.2wt.％或更多。基于CO2/O2去除剂的重量，Al2O3在一种实施方式中为30wt.％或更少，在另本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.CO2和O2去除剂，其包含：65至85重量百分比(wt.％)的氧化镍(NiO)、5至20wt.％的氧化镁(MgO)，其中，氧化镍和氧化镁的重量比(NiO/MgO)为4至11，且其中wt.％基于CO2和O2去除剂的重量计。2.根据权利要求1所述的CO2和O2去除剂，其中该CO2/O2去除剂还包含一种或多种选自氧化铝(Al2O3)、氧化硅(SiO2)、碱金属氧化物及其混合物的其他金属氧化物。3.根据权利要求1所述的CO2和O2去除剂，其中基于该CO2和O2去除剂的重量，该CO2和O2去除剂还包含1至30wt.％的氧化铝(Al2O3)。4.根据权利要求1所述的CO2和O2去除剂，其中基于该CO2和O2去除剂的重量，该CO2和O2去除剂还包含1至20wt.％的氧化硅(SiO2)。5.根据权利要求1所述的CO2和O2去除剂，其中基于该CO2和O2去除剂的重量，该CO2和O2去除剂还包含0至2wt.％的碱金属氧化物。6.根据权利要求1所述的CO2和O2去除剂，其中该CO2和O2去除剂不包含碱金属氧化物。7.根据权利要求1所述的CO2和O2去除剂，其中该CO2和O2去除剂的特定表面积(...

【专利技术属性】
技术研发人员：金贤中，山田和宏，
申请(专利权)人：日商科莱恩触媒股份有限公司，
类型：发明
国别省市：