真空阀或真空门制造技术

一种真空阀或真空门，其具有用于封闭在壁(3、32)中的开口(4、29)的封闭板(7)，所述开口(4、29)具有相对的第一和第二纵向边缘(4a、4b；29a、29b)以及相比之下较短的相对的第一和第二横向边缘(4c、4d)。设置了密封单元(12)，用于在所述封闭板(7)的关闭位置将所述封闭板(7)相对于所述壁(3、32)密封，该密封单元具有承载框架(13)，该承载框架具有相对的第一和第二纵向腿(14、15)和相比之下较短的相对的第一和第二横向腿(17、18)，在该承载框架上，在一侧安置有环绕的密封板

Vacuum valve or vacuum valve

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空阀或真空门


[0001]本专利技术涉及一种真空阀或真空门，其具有用于封闭布置在壁中的开口的封闭板，该封闭板具有相对的第一和第二纵向边缘以及相比之下较短的相对的第一和第二横向边缘，其中，封闭板可在打开位置与关闭位置之间移调，在打开位置，壁的开口被释放，在关闭位置，壁的开口被封闭板封闭。

技术介绍

[0002]对于必须在相对较大的、平面的基板例如屏幕面板上进行真空工艺的真空设备，真空腔在壁上具有大的狭槽状开口，以便能够实现将基板引入腔中。相应地，特别是作为转移阀，采用具有大狭缝形开口的真空阀和真空门。真空阀尤其用作在通过该阀连接的相邻真空腔之间的转移阀。真空门用于关闭和打开腔的朝向外室的开口。因此，布置在腔的壁中或真空阀的基体的壁或真空门的基体的壁中的基本上矩形的开口具有相对的纵向边缘和相比之下明显更短的相对的横向边缘。纵向边缘例如可以具有在1.5到3m的范围内的长度。横向边缘例如可以具有在10到20cm的范围内的长度。
[0003]对于这种真空阀，如果将安装有真空阀或真空门的真空腔内部空间从大气压抽真空，真空腔将由于在真空腔内部空间中形成的负压而变形。结果，狭槽形开口的宽度朝向中心稍微减小，即开口的纵向边缘的中心区段朝向彼此移动，并且相应地在这些区域中与开口连接上的壁区段也朝向彼此移动。开口纵向边缘在其中心的位移例如可以在1.5mm至3mm的范围内。由于其与真空腔的螺旋连接——其存在于具有真空腔开口的壁与具有真空阀或真空门的基体开口的壁之间，与真空腔连接的真空阀或真空门的基体在真空阀或真空门的基体的具有开口的壁的区域中以相同的方式变形。
[0004]基体的在其纵向边缘的中间区段中连接上开口的壁区段的这些位移导致密封圈的剪切载荷，该密封圈安装在封闭板上并且靠在具有开口的壁上。这会导致密封圈在使用过程中磨损。一方面，这意味着密封圈的额外磨损，因此密封圈必须在相应的维护间歇内更换。此外，这种磨损会导致不希望的颗粒产生，这些颗粒会沉积在要处理的基板上，并对其质量或功能产生负面影响。
[0005]为了减少真空腔的变形，它可以配备额外的加强部件，但这相对昂贵。
[0006]WO 2014/086458 A1公开了一种真空阀，其中，具有阀开口的壳体壁由薄金属片制成。该真空阀布置在真空单元例如真空腔之间，这些真空单元具有带有连接法兰的实心壁。通过将真空阀与这些真空单元的连接法兰连接来实现稳定真空阀的阀壳体。为此，真空阀具有实心法兰环，这些法兰环与真空单元的连接法兰拧紧，其中，由金属片构成的壳体壁夹紧在连接法兰和法兰环之间。在这里，在相应的法兰环和相应的壳体壁之间分别设置了弹性体的密封圈。另一个弹性体的密封圈位于法兰环和连接法兰之间。真空阀的这些法兰环中的至少一个同时在与连接法兰相对的一侧形成阀座。用于在真空阀的关闭状态下相对于连接法兰密封封闭构件的弹性体密封圈，在此可以布置在封闭构件上，或者也可以布置在连接法兰上。由于用于在连接法兰与法兰环之间的密封以及在法兰环与由金属片构成的壳
体壁之间的密封的法兰环必须在四周与连接法兰刚性连接，因此在连接法兰变形时在真空单元抽真空情况下法兰环会被带走，从而在真空阀的关闭状态下在法兰环与封闭构件之间压紧的密封圈的剪切载荷问题在此同样出现。

技术实现思路

[0007]专利技术的任务是，提供开头所述类型的一种有利的真空阀或一种有利的真空门或真空腔与安装于其上的真空门的一种有利组合，其中，以更廉价的方式可实现较少的颗粒产生和/或较长的维护间歇。
[0008]根据本专利技术，这通过具有权利要求1的特征的真空阀或真空门来实现，或者通过具有权利要求2的特征的真空腔与真空门的组合来实现。
[0009]在根据本专利技术的真空阀或真空门或真空腔与真空门的组合中，设置了密封单元，用于将处于关闭位置的封闭板相对于具有开口的壁密封，该密封单元具有承载框架。承载框架具有相对的第一和第二纵向腿和相比之下较短的相对的第一和第二横向腿。
[0010]特别地，开口的相对的纵向边缘为开口的相对的横向边缘的至少五倍长，优选地至少十倍长，并且承载框架的相对的第一和第二纵向腿为承载框架的相对的第一和第二横向腿的至少五倍长，优选地至少十倍长。因此，该开口以及相应地由承载框架包围的框架开口可以称为狭槽形。
[0011]在承载框架的一侧，安置有环绕的密封板
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密封件，用于与密封板配合作用，在承载框架的另一侧，安置有环绕的壁
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密封件，用于与具有开口的壁配合作用。
[0012]根据第一设计变型，承载框架固定在真空阀的基体或真空门的基体或安装有真空门的真空腔的具有开口的壁上的固定点处。在这种情况下，承载框架的第一和第二纵向腿的至少中间区段相对于壁是自由的。根据第二设计变型，承载框架在固定点处固定在封闭板上。在此，承载框架的第一和第二纵向腿的至少中间区段相对于封闭板是自由的。
[0013]承载框架的纵向腿的这些“自由的”中间区段有利地延伸经过纵向腿总长度的至少一半、优选地至少三分之二。
[0014]在第一和第二纵向腿的中间区段中，承载框架因此在承载框架弯曲的同时相对于壁(在承载框架固定于壁上的情况下)或相对于封闭板(在固定于封闭板上的情况下)具有活动性，也就是说，第一和第二纵向腿的中间区段可以在承载框架固定于壁上的情况下相对于壁或在承载框架固定于封闭板上的情况下相对于封闭板在承载框架变形的同时移位。这种移位发生在承载框架所在的平面(＝承载框架的中间平面)中。该平面平行于开口或具有开口的壁所在的平面(＝该壁的中间平面)，或平行于封闭板所在的平面(＝封闭板的中间平面)。
[0015]如果在封闭板的关闭位置，真空腔(真空阀或真空门与该真空腔连接并且可由该真空腔利用真空阀或真空门将开口封闭)从大气压开始抽真空，并且由此导致具有开口的该壁变形，在该变形中，开口的相对的第一和第二纵向边缘朝向它们的纵向中心逐渐朝向彼此移动，即开口朝向纵向中心变得更窄，则通过根据本专利技术的设计，承载框架的纵向腿的中间区段在此在壁的连接上开口的区段的位移的一部分上被带动，其中，在纵向边缘的纵向中心区域内，这部分在相应纵向腿的纵向中心优选地处于壁的连接到开口的相应纵向边缘的区段的(相应的纵向腿位于该区段)的总位移的三分之一与三分之二之间。由于在壁
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密封件与壁之间的摩擦，壁
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密封件在封闭板的关闭位置靠在壁上，这种带动可以克服承载框架的弹性恢复力而发生。然而，由于承载框架具有的弹性回复力，该带动小于壁的与开口纵向边缘连接的区段的总位移。
[0016]为了确保承载框架的纵向腿的中间区段在规定的区域内被带动，可以在具有开口的壁上设置壁
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止挡，用于与承载框架的第一和第二纵向腿的中间区段配合作用，特别是在其纵向中心的区域中；和/或在封闭板上设置封闭板
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止挡，用于与承载框架的第一和第二纵向腿的中间区段配合作用，特别是在其纵向中心的区域中。
[0017]在本专利技术的有利的实施方式中，固定点——承载框架在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空阀或真空门，其具有用于封闭布置在壁(3、32)中的开口(4、29)的封闭板(7)，该封闭板具有相对的第一和第二纵向边缘(4a、4b；29a、29b)以及相比之下较短的相对的第一和第二横向边缘(4c、4d)，其中，所述封闭板能够在打开位置与关闭位置之间移调，在打开位置，所述壁(3、32)的开口(4、29)被释放，在关闭位置，所述壁(3、32)的开口(4、29)被所述封闭板(7)封闭，其特征在于，设置有密封单元(12)，用于将所述封闭板(7)相对于所述壁(3、32)密封，该密封单元具有承载框架(13)，该承载框架具有相对的第一和第二纵向腿(14、15)和相比之下较短的相对的第一和第二横向腿(17、18)，在该承载框架上，在一侧安置有环绕的密封板
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密封件(18)，且在另一侧安置有环绕的壁
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密封件(19)，所述承载框架(13)在固定点处固定或能固定在所述壁(3、32)上，其中，所述承载框架(13)的第一和第二纵向腿(14、15)的至少中间区段相对于所述壁(3、32)是自由的，或者，所述承载框架(13)在固定点处固定在所述封闭板(7)上，其中，所述承载框架(13)的第一和第二纵向腿(14、15)的至少中间区段相对于所述封闭板(7)是自由的。2.根据权利要求1所述的真空阀或真空门，其特征在于，所述第一和第二纵向腿(14、15)的自由的中间区段在所述第一和第二纵向腿(14、15)的至少一半长度上延伸。3.根据权利要求2所述的真空阀或真空门，其特征在于，所述第一和第二纵向腿(14、15)的自由的中间区段在所述第一和第二纵向腿(14、15)的长度的至少三分之二上延伸。4.根据权利要求1至3中任一项所述的真空阀或真空门，其特征在于，所述固定点位于所述纵向腿(14、15)和横向腿(16、17)之间的拐角区域中和/或所述横向腿(16、17)的区域中。5.根据权利要求4所述的真空阀或真空门，其特征在于，所述承载框架在所述纵向腿(14、15)和横向腿(16、17)之间的拐角区域中和/或在所述横向腿(16、17)的区域中具有孔(21)，用于将所述承载框架(13)固定在所述壁(3、32)或所述封闭板(7)上的螺钉能够穿过这些孔拧入到在所述壁(3、32)中或在所述封闭板(7)中的螺纹孔内。6.根据权利要求1至5中任一项所述的真空阀或真空门，其特征在于，具有所述开口(4、29)的所述壁(3、32)和所述承载框架(13)位于平行的平面中。7.根据权利要求1至6中任一项所述的真空阀或真空门，其特征在于，所述承载框架(13)具有布置在所述封闭板
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密封件(18)旁边以及所述壁
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密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：马克，
申请(专利权)人：VAT控股公司，
类型：发明
国别省市：