一种晶片清洗干燥槽制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶片清洗干燥槽，属于晶片加工技术领域，包括槽体、槽盖，所述槽体内设有用于放置晶片的晶片载具，所述槽盖内设有用于晶片干燥的干燥机构，所述槽盖与槽体之间设有转动连接组件，所述干燥机构与转动连接组件连接。本实用新型专利技术结构合理、各组件之间采用可拆卸连接，便于安装维护，自动化程度高，同时晶片干燥的效果好，晶片的质量高。晶片的质量高。晶片的质量高。

A wafer cleaning and drying tank

【技术实现步骤摘要】
一种晶片清洗干燥槽


[0001]本技术涉及一种晶片清洗干燥槽，属于晶片加工


技术介绍

[0002]晶片加工过程中需要进行清洗、干燥，以去除晶片表面的腐蚀液，避免腐蚀液残留在晶片表面，造成继续腐蚀，影响晶片质量。因此，晶片在进行研磨腐蚀后必须快速进行腐蚀液的清洗，去除晶片表面的腐蚀液，并且将晶片快速吹干。现有技术中，槽体结构复杂、晶片表面干燥效果差，耗时长，生产效率较低。

技术实现思路

[0003]针对上述技术问题，提供一种晶片清洗干燥槽，具体方案如下：
[0004]一种晶片清洗干燥槽，包括槽体、槽盖，所述槽体内设有用于放置晶片的晶片载具，所述槽盖内设有用于晶片干燥的干燥机构，所述槽盖与槽体之间设有转动连接组件，所述干燥机构与转动连接组件连接。
[0005]优选的所述转动连接组件包括第一转轴、用于安装第一转轴的第一安装座、第三气缸、用来与槽盖连接的第一连接件，所述第一连接件安装在槽盖的首端，所述第一安装座与槽体的槽壁固定连接，所述第三气缸与第一连接件固定连接，所述第一转轴与槽盖、第一连接件均螺栓连接；
[0006]所述干燥机构包括用于向晶片吹氮气的吹气组件、用于驱动吹气组件运动的驱动组件，所述吹气组件与槽盖连接，所述驱动组件与转动连接组件连接。
[0007]优选的，所述吹气组件包括第一进气管、用于安装第一进气管的第一安装板，所述第一安装板位于槽盖内，所述第一安装板与槽盖的底部螺栓连接，所述第一安装板与槽盖之间设有第一安装块，所述第一安装块的中部设有第一通孔，所述第一进气管的末端穿过第一通孔，所述第一安装块的顶部与槽盖螺栓连接，所述第一安装块的底部与第一安装板固定连接；
[0008]所述驱动组件包括第二气缸、推板、滑块、导轨，所述推板安装在第二气缸的输出端，所述推板与滑块的顶部螺栓连接，所述滑块与导轨滑动连接，所述推板与第一进气管连接，所述第二气缸、导轨均与第一连接件螺栓连接。
[0009]优选的，所述第一进气管设有多个喷嘴，所述第一安装板、槽盖的底部均设有用于吹气的长条孔；
[0010]所述第一连接件包括第二安装板、安装在第二安装板上的第一L型板，所述第一L型板为两个，两个第一L型板之间设有第一销轴，所述第一销轴与第三气缸的活塞杆连接，所述第二安装板、槽盖均与第一转轴螺栓连接；
[0011]所述第二安装板的末端设有第二安装块，所述第二安装块的顶部设有用于安装第一进气管的第四凹槽，所述推板的底面连接有第一卡箍，所述推板、第一进气管通过第一卡箍连接。
[0012]优选的，所述槽体还包括用于安装晶片载具的支撑组件、用于驱动晶片载具摆动的摆动机构，所述晶片载具位于支撑组件上方，所述支撑组件与槽体的底部连接，所述摆动机构与晶片载具、槽体均连接。
[0013]优选的，所述摆动机构包括用来与晶片载具连接的摆动组件、用来驱动摆动组件运动的动力组件，所述动力组件与槽体的侧壁连接，所述动力组件包括第一气缸、齿条、齿轮、小轴，所述小轴穿过槽体的槽壁，所述第一气缸、齿条、齿轮均位于槽体的外部，所述摆动组件位于槽体的内部，所述齿轮、摆动组件均安装在小轴上，所述第一气缸的输出端安装齿条，所述齿轮、齿条啮合；
[0014]所述支撑组件包括第一支撑杆、第二卡箍、用于安装支撑杆的支撑座，所述第二卡箍套第一支撑杆外，所述第二卡箍与晶片载具螺栓连接，所述支撑座与槽体的槽底螺栓连接。
[0015]优选的，所述摆动组件包括用来与槽体连接的圆杆、摆杆、转盘，所述转盘的外周设有连接杆，所述连接杆与摆杆的下部连接，所述圆杆与摆杆的上部连接。
[0016]优选的，所述槽体的槽底中部设有向上凸起的第三凹槽，所述支撑座与第三凹槽的槽底连接，所述支撑座的顶部设有用于放置支撑杆的第二凹槽。
[0017]本技术的有益效果：
[0018]本技术结构巧妙，能够实现对槽盖的自动化控制，晶片干燥的效果好，能够有效避免废液残留，提高晶片质量。本技术结构合理，各组件之间采用可拆卸连接，便于安装维护。
附图说明
[0019]图1为所述一种晶片清洗干燥槽的示意图；
[0020]图2为所述槽体、干燥机构、转动连接组件的连接示意图；
[0021]图3为图2中A处局部放大图；
[0022]图4为所述晶片载具、支撑组件、摆动机构的连接示意图；
[0023]图5为所述晶片载具、摆动机构的连接示意图。
具体实施方式
[0024]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0025]术语“外”、“内”、“左侧”、“右侧”、“前”、“后”等指示的方位、或位置关系为基于附图1所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0026]实施例一
[0027]如图1
‑
3所示的一种晶片清洗干燥槽，包括槽体1、槽盖2、晶片载具3、干燥机构4、转动连接组件5，干燥机构4用于向槽体1内的吹热氮气对晶片进行干燥，转动连接组件5安装在槽盖2与槽体1之间，转动连接组件5用于控制槽盖2自动打开和关闭，其中干燥机构4与
转动连接组件5连接，槽盖2为中空结构，干燥机构4设置在槽盖2内，晶片载具3位于槽体1内，槽体1、槽盖2组成密封整体结构，本实施例中，所述槽体1的底部设有用于晶片浸泡液进出的进出口，进出口不少于1个，可以为2个、3、个甚至多个，可以根据槽体1情况设计，本技术对比不做限制。晶片浸泡液从该进出口进入到槽体1内，一定时间后再排出，接着对晶片进行干燥。本实施例中，晶片浸泡液为异丙醇，所述晶片载具3可以为用于放置晶片的花篮，或其他可以承载晶片的部件。
[0028]干燥时，将晶片浸泡液从进液管输送到槽体1内，并将晶片完全浸泡，浸泡一定时间后，将晶片浸泡液从出液管排出，然后，干燥机构4向槽内吹热氮气，将晶片表面的异丙醇吹干，达到晶片干燥的效果。异丙醇的高挥发性可将晶片表面水份脱水，避免水痕、微粒及金属杂质粘附于晶片表面。最后进行热氮气能够监控晶片表面的异丙醇的挥发，提高干燥效率。
[0029]所述干燥机构4包括用于向晶片吹氮气的吹气组件41、用于使吹气组件运动的驱动组件42，所述吹气组件41设置在槽盖2内，连接，所述驱动组件42与转动连接组件5连接。
[0030]所述吹气组件41包括第一进气管411、用于安装第一进气管411的第一安装板412、第一安装块413，所述第一安装板412位于槽盖2内，所述第一安装板412与槽盖2的底部螺栓连接所述第一安装块413位于第一安装板412与槽盖2之间，所述第一安装块413的中部设有第一通孔，所述第一进气管411的末端穿过第一通孔，所述第一安装块413的顶部与槽盖本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶片清洗干燥槽，包括槽体(1)、槽盖(2)，所述槽体(1)内设有用于放置晶片的晶片载具(3)，其特征在于，所述槽盖(2)内设有用于晶片干燥的干燥机构(4)，所述槽盖(2)与槽体(1)之间设有转动连接组件(5)，所述干燥机构(4)与转动连接组件(5)连接。2.根据权利要求1所述的一种晶片清洗干燥槽，其特征在于，所述转动连接组件(5)包括第一转轴(51)、用于安装第一转轴(51)的第一安装座(52)、第三气缸(53)、用来与槽盖(2)连接的第一连接件(54)，所述第一连接件(54)安装在槽盖(2)的首端，所述第一安装座(52)与槽体(1)的槽壁固定连接，所述第三气缸(53)与第一连接件(54)固定连接，所述第一转轴(51)与槽盖(2)、第一连接件(54)均螺栓连接；所述干燥机构(4)包括用于向晶片吹氮气的吹气组件(41)、用于驱动吹气组件(41)运动的驱动组件(42)，所述吹气组件(41)与槽盖(2)连接，所述驱动组件(42)与转动连接组件(5)连接。3.根据权利要求2所述的一种晶片清洗干燥槽，其特征在于，所述吹气组件(41)包括第一进气管(411)、用于安装第一进气管(411)的第一安装板(412)，所述第一安装板(412)位于槽盖(2)内，所述第一安装板(412)与槽盖(2)的底部螺栓连接，所述第一安装板(412)与槽盖(2)之间设有第一安装块(413)，所述第一安装块(413)的中部设有第一通孔，所述第一进气管(411)的末端穿过第一通孔，所述第一安装块(413)的顶部与槽盖(2)螺栓连接，所述第一安装块(413)的底部与第一安装板(412)固定连接；所述驱动组件(42)包括第二气缸(422)、推板(423)、滑块(424)、导轨(425)，所述推板(423)安装在第二气缸(422)的输出端，所述推板(423)与滑块(424) 的顶部螺栓连接，所述滑块(424)与导轨(425)滑动连接，所述推板(423)与第一进气管(411)连接，所述第二气缸(422)、导轨(425)均与第一连接件(54)螺栓连接。4.根据权利要求3所述的一种晶片清洗干燥槽，其特征在于，所述第一进气管(411)设有多个喷嘴，所述第一安装板(412)、槽盖(2)的底部均设有用于吹气的长条孔；所述第一连接件(54)包括第二安装板(541)、安装在第二安装板(541)上的第一L型板(542)，所述第一L...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿彪，
申请(专利权)人：北京华林嘉业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：