外观缺陷检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种外观缺陷检测设备，包括依次布置的上料盘仓、上料移栽装置、上料转换机构、CCD检测机构、下料转换机构、下料移栽装置和下料盘仓；所述上料转换机构和下料转换机构均包括有取放装置和带动取放装置升降运动的第一Z轴驱动装置；所述CCD检测机构包括有检测工位和CCD检测Z轴模组，所述CCD检测Z轴模组包括有第二Z轴驱动装置和设置于第二Z轴驱动装置的CCD检测装置，所述CCD检测Z轴模组对应检测工位设置，所述检测工位通过XYθ轴向驱动机构连接于上料转换机构与下料转换机构之间。实现对产品的自动检测，工作效率高、检测质量高，且省去了人工成本、利于产品的大批量检测。测。测。

Appearance defect detection equipment

The utility model discloses an appearance defect detection device, which comprises a loading tray bin, a loading transplanting device, a loading conversion mechanism, a CCD detection mechanism, a unloading conversion mechanism, a unloading transplanting device and a unloading tray bin arranged in sequence; The loading conversion mechanism and the unloading conversion mechanism both include a taking and placing device and a first z-axis driving device that drives the lifting movement of the taking and placing device; The CCD detection mechanism includes a detection station and a CCD detection z-axis module, the CCD detection z-axis module includes a second z-axis driving device and a CCD detection device set on the second z-axis driving device, the CCD detection z-axis module is set corresponding to the detection station, and the detection station passes through XY \u03b8 The axial drive mechanism is connected between the loading conversion mechanism and the unloading conversion mechanism. It realizes the automatic detection of products, with high work efficiency, high detection quality, and saves labor costs, which is conducive to the mass detection of products. Measurement. Measurement< br/>

【技术实现步骤摘要】
外观缺陷检测设备


[0001]本技术涉及检测设备领域技术，尤其是指一种外观缺陷检测设备，其主要用于晶圆外观检测。

技术介绍

[0002]晶圆的制程亦不断精进，为了有效保证晶圆产品的良率，往往需在晶圆制造成型后，对晶圆外观进行缺陷检测。
[0003]传统技术中，对晶圆外观缺陷的检测通常是通过人工用肉眼对晶圆进行检测的方式，该检测方式效率低，人员劳动强度大，且容易出现误检或漏检的问题，不能保证出厂晶圆产品的质量；后来出现自动检测晶圆的检测设备，其能提高检测效率及检测质量，但是对于排列整齐要求度高、误检率极低（几乎零误检漏检率）的需求而言，仍难以满足。
[0004]因此，有必要对现有的外观缺陷检测设备进行改进。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术针对现有技术存在之缺失，其主要目的是提供一种外观缺陷检测设备，其通过设置有依次布置的上料移栽装置、上料转换机构、CCD检测机构、下料转换机构、用下料移栽装置，并配合设置有检测工位通过XYθ轴向驱动机构连接于上料转换机构与下料转换机构之间，实现对产品的自动检测，工作效率高、检测质量高，且省去了人工成本、利于产品的大批量检测。
[0006]为实现上述目的，本技术采用如下之技术方案：
[0007]一种外观缺陷检测设备，包括依次布置的上料盘仓、上料移栽装置、上料转换机构、CCD检测机构、下料转换机构、下料移栽装置和下料盘仓；
[0008]所述上料转换机构和下料转换机构均包括有取放装置和带动取放装置升降运动的第一Z轴驱动装置；所述CCD检测机构包括有检测工位和CCD检测Z轴模组，所述CCD检测Z轴模组包括有第二Z轴驱动装置和设置于第二Z轴驱动装置的CCD检测装置，所述CCD检测Z轴模组对应检测工位设置，所述检测工位通过XYθ轴向驱动机构连接于上料转换机构与下料转换机构之间。
[0009]作为一种优选方案，所述上料盘仓和下料盘仓均包括有料仓和带动料仓升降运动的升降装置，所述料仓内设置有多个并列布置的用于放置料盘的料盘装入口；所述上料移栽装置、下料移栽装置均包括有用于放置料盘的料盘存放区和带动料盘存放区往返于料盘装入口和取放装置之间的平移机构。
[0010]作为一种优选方案，所述料盘装入口设置有防呆部。
[0011]作为一种优选方案，所述上料移栽装置的输入侧和下料移栽装置的第一输出侧均设置有第一离子风机；所述上料移栽装置上还设置有扫码头，所述扫码头位于上料移栽装置的输入侧和上料转换机构之间。
[0012]作为一种优选方案，所述上料移栽装置的输入侧还设置有用于检测料盘有无产品
的传感器。
[0013]作为一种优选方案，所述取放装置包括有吸盘架和设置于吸盘架底部的真空吸盘，所述吸盘架上设置有缓冲组件，所述真空吸盘上还设置有产品避空位。
[0014]作为一种优选方案，所述上料移栽装置和下料移栽装置均为沿X轴向布置，所述上料转换机构和下料转换机构分别设置于上料移栽装置、下料移栽装置的外侧，所述CCD检测机构设置于上料移栽装置的内侧和下料移栽装置的内侧之间。
[0015]作为一种优选方案，所述XYθ轴向驱动机构包括有Y轴向驱动机构、设置于Y轴向驱动机构的X轴向驱动机构、设置于X轴向驱动机构的θ轴驱动机构，所述检测工位设置于θ轴驱动机构上。
[0016]作为一种优选方案，所述下料移栽装置的第二输出侧设置有不良品料盘，所述下料转换机构还包括有横向驱动装置，所述第一Z轴驱动装置设置于横向驱动装置上，所述横向驱动装置带动取放装置往返于不良品料盘和料盘存放区。
[0017]本技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果，具体而言，由上述技术方案可知：
[0018]其主要是，通过设置有依次布置的上料移栽装置、上料转换机构、CCD检测机构、下料转换机构、用下料移栽装置，并配合设置有检测工位通过XYθ轴向驱动机构连接于上料转换机构与下料转换机构之间，实现对产品的自动检测，工作效率高、检测质量高，且省去了人工成本、利于产品的大批量检测；
[0019]其次是，上料盘仓和下料盘仓的设置，配合上料移栽装置和上料移栽装置的设置，实现对产品的自动上下料，提高自动化程度，进一步提高产品的检测效率；
[0020]再者是，下料移栽装置的第二输出侧设置有不良品料盘，相应的下料转换机构还包括有横向驱动装置，所述第一Z轴驱动装置设置于横向驱动装置上，所述横向驱动装置带动取放装置往返于不良品料盘和料盘存放区；实现对产品的自动分拣。
[0021]为更清楚地阐述本技术的结构特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对本技术进行详细说明。
附图说明
[0022]图1是本技术之较佳实施例的立体示意图；
[0023]图2是本技术之较佳实施例的分解图；
[0024]图3是本技术之较佳实施例的立体示意图（不含上机架）；
[0025]图4是本技术之较佳实施例的另一视角的立体示意图（不含上机架）；
[0026]图5是本技术之较佳实施例的局部结构图（CCD检测机构和XYθ轴向驱动机构）；
[0027]图6是本技术之较佳实施例的局部结构图（上料移栽装置和下料移栽装置）；
[0028]图7是本技术之较佳实施例的局部结构图（上料盘仓、下料盘仓、不良品料盘）；
[0029]图8是本技术之较佳实施例的上料盘仓的示意图；
[0030]图9是图8中A处的局部放大图；
[0031]图10是本技术之较佳实施例的上料转换机构的示意图；
[0032]图11是本技术之较佳实施例的下料转换机构的示意图。
[0033]附图标识说明：
[0034]10、上料盘仓
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11、料仓
[0035]12、升降装置
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121、升降气缸
[0036]122、料仓安装架
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101、料盘装入口
[0037]102、防呆部
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20、上料移栽装置
[0038]21、料盘存放区
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211、定位PIN
[0039]22、平移机构
[0040]23、第一离子风机
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24、扫码头
[0041]30、上料转换机构
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31、取放装置
[0042]311、吸盘架
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312、真空吸盘
[0043]313、缓冲组件
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32、第一Z轴驱动装置
[0044]33、第二离子风机
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34、对位相机
[0045]35、过压行程传感器
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外观缺陷检测设备，其特征在于：包括依次布置的上料盘仓、上料移栽装置、上料转换机构、CCD检测机构、下料转换机构、下料移栽装置和下料盘仓；所述上料转换机构和下料转换机构均包括有取放装置和带动取放装置升降运动的第一Z轴驱动装置；所述CCD检测机构包括有检测工位和CCD检测Z轴模组，所述CCD检测Z轴模组包括有第二Z轴驱动装置和设置于第二Z轴驱动装置的CCD检测装置，所述CCD检测Z轴模组对应检测工位设置，所述检测工位通过XYθ轴向驱动机构连接于上料转换机构与下料转换机构之间。2.根据权利要求1所述的外观缺陷检测设备，其特征在于：所述上料盘仓和下料盘仓均包括有料仓和带动料仓升降运动的升降装置，所述料仓内设置有多个并列布置的用于放置料盘的料盘装入口；所述上料移栽装置、下料移栽装置均包括有用于放置料盘的料盘存放区和带动料盘存放区往返于料盘装入口和取放装置之间的平移机构。3.根据权利要求2所述的外观缺陷检测设备，其特征在于：所述料盘装入口设置有防呆部。4.根据权利要求2所述的外观缺陷检测设备，其特征在于：所述上料移栽装置的输入侧和下料移栽装置的第一输出侧均设置有第一离子风机；所述上料移栽装置上还设置有扫码头，所述扫码头位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈祖华，袁璐奇，
申请(专利权)人：皓星智能装备东莞有限公司，
类型：新型
国别省市：