一种光刻胶生产用自动过滤设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光刻胶生产用自动过滤设备，包括上下设有开口的第一箱体、顶部设有开口的第二箱体、顶部成型有裙边一的过滤筒一、顶部成型有裙边二的过滤筒二和数个接收存储箱，第一箱体的内壁成型有环形台阶一，过滤筒一穿过环形台阶一并通过锁紧件一将裙边一和环形台阶一固定，第二箱体的内壁成型有环形台阶二，过滤筒二穿过环形台阶二并通过锁紧件二将裙边二和环形台阶二固定，过滤筒一的过滤孔径大于过滤筒二的过滤孔径，本实用新型专利技术能对生产结束后的光刻胶进行多次过滤，且在过滤结束后能向多个接收存储箱进行依次灌装，相较于现有中的光刻胶过滤设备，本实用新型专利技术过滤效果较佳，且还能进行持续灌装，具有较高的使用价值。价值。价值。

An automatic filtering equipment for photoresist production

The utility model discloses an automatic filtering equipment for photoresist production, which comprises a first box body with an opening at the top and bottom, a second box body with an opening at the top, a filter cylinder with a skirt formed at the top, a filter cylinder with a skirt formed at the top, and several receiving storage boxes. The inner wall of the first box body is formed with an annular step, and the filter cylinder passes through the annular step and fixes the skirt and the annular step through a locking piece, The inner wall of the second box is formed with an annular step 2. The filter cartridge 2 passes through the annular step 2 and fixes the skirt 2 and the annular step 2 through the locking piece 2. The filter aperture of the filter cartridge 1 is larger than the filter aperture of the filter cartridge 2. The utility model can filter the photoresist after production for many times, and can fill a plurality of receiving storage boxes after filtration. Compared with the existing photoresist filter equipment, The filtering effect of the utility model is better, and the continuous filling can be carried out, and the utility model has high use value. Value. Value< br/>

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶生产用自动过滤设备


[0001]本技术涉及光刻胶生产
，尤其涉及一种光刻胶生产用自动过滤设备。

技术介绍

[0002]光刻胶又称为光致抗蚀剂，是由树脂、增光剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在某些光刻胶中还添加有添加剂，其是用于控制光刻胶材料特殊方面的化学物质。其中树脂是一种惰性的聚合物(包括碳、氢、氧的有机高分子)基质，用于把光刻胶中的不同材料聚在一起。树脂给予了光刻胶其机械和化学性质，例如粘附性、胶膜厚度、柔顺性和热流稳定性。增光剂是光刻胶中的光敏成分，它对光形式的辐射能，特别在紫外区，会发生反应。溶剂使光刻胶保持液体状态。绝大多数的溶剂在曝光前挥发，对于光刻胶的光化学性质几乎没有影响。
[0003]在光刻胶生产结束后，需要对其进行过滤存储，现有中的光刻胶过滤设备可只进行单次过滤，且接料存储箱内的光刻胶体量在到达固定阈值时还需停止过滤操作，这样的工作效率相对较低，不利于企业生产，为了解决上述问题，所以本技术公开了一种光刻胶生产用自动过滤设备。

技术实现思路

[0004]技术目的：为了解决
技术介绍
中存在的不足，所以本技术公开了一种光刻胶生产用自动过滤设备。
[0005]技术方案：一种光刻胶生产用自动过滤设备，包括上下设有开口的第一箱体、顶部设有开口的第二箱体、顶部成型有裙边一的过滤筒一、顶部成型有裙边二的过滤筒二和数个接收存储箱，所述第一箱体可拆卸设置在第二箱体上方，所述第一箱体的内壁成型有环形台阶一，所述过滤筒一穿过环形台阶一并通过锁紧件一将裙边一和环形台阶一固定，所述第二箱体的内壁成型有环形台阶二，所述过滤筒二穿过环形台阶二并通过锁紧件二将裙边二和环形台阶二固定，所述过滤筒一的过滤孔径大于过滤筒二的过滤孔径，所述过滤筒二的底部设置有卸料口，数个接收存储箱设置在过滤筒二的外部，且数个接收存储箱的进料口通过分歧管路与过滤筒二的卸料口连接。
[0006]进一步的是，所述第一箱体底部成型有环形凸起部，所述第二箱体的顶部成型有环形槽，所述环形凸起部可配合插接在环形槽内。
[0007]进一步的是，所述第一箱体和第二箱体之间套设有密封套环。
[0008]进一步的是，所述密封套环由橡胶材质制成。
[0009]进一步的是，所述锁紧件一和锁紧件二均为锁紧螺丝。
[0010]进一步的是，所述分歧管路包括主管路和数个与主管路连通的支管路，所述主管路与过滤筒二的卸料口连接，数个支管路分别与数个接收存储箱的进料口连接，且数个支管路上均设置有电磁控制阀。
[0011]进一步的是，数个接收存储箱的内侧壁上方均设置有液位传感器。
[0012]本技术实现以下有益效果：
[0013]本技术能对生产结束后的光刻胶进行多次过滤，且在过滤结束后能向多个接收存储箱进行交替灌装，相较于现有中的光刻胶过滤设备，本技术过滤效果较佳，且还能进行持续灌装，具有较搞的使用价值。
附图说明
[0014]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。
[0015]图1为本技术公开的整体结构示意图。
[0016]图2为本技术公开的第一箱体底部结构示意图。
[0017]图3为本技术公开的第二箱体顶部结构示意图。
[0018]图4为本技术公开的第一箱体和第二箱体分开结构示意图。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]实施例
[0021]参考图1
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2，一种光刻胶生产用自动过滤设备，包括上下设有开口160的第一箱体10、顶部设有开口的第二箱体20、顶部成型有裙边一40的过滤筒一30、顶部成型有裙边二80的过滤筒二70和数个接收存储箱120，第一箱体可拆卸设置在第二箱体上方，第一箱体的内壁成型有环形台阶一50，过滤筒一穿过环形台阶一并通过锁紧件一60将裙边一和环形台阶一固定，第二箱体的内壁成型有环形台阶二90，过滤筒二穿过环形台阶二并通过锁紧件二100将裙边二和环形台阶二固定，在使用过程中，锁紧件一和锁紧件二优先为锁紧螺丝，过滤筒一的过滤孔径大于过滤筒二的过滤孔径，过滤筒二的底部设置有卸料口，数个接收存储箱设置在过滤筒二的外部，且数个接收存储箱的进料口通过分歧管路与过滤筒二的卸料口连接。
[0022]在本实施例中，第一箱体底部成型有环形凸起部170，第二箱体的顶部成型有环形槽180，环形凸起部可配合插接在环形槽内，在对第一箱体从第二箱体上进行拆除时，操作人员直接将环形凸起部从环形槽内拔出即可。
[0023]在本实施例中，第一箱体和第二箱体之间套设有密封套环110，以实现对第一箱体和第二箱体进行密封。
[0024]在本实施例中，密封套环由橡胶材质制成，橡胶材质制成的密封套环密封性较好，且方便操作人员拆装，使用起来较为方便。
[0025]在本实施例中，分歧管路包括主管路130和数个与主管路连通的支管路140，主管路与过滤筒二的卸料口连接，数个支管路分别与数个接收存储箱的进料口连接，且数个支管路上均设置有电磁控制阀150，在使用过程中，一电磁控制阀打开，另一电磁控制阀关闭，此时从第二箱体内卸下的光刻胶将进入一接收存储箱内，并且在该接收存储箱内的光刻胶
体量到达固定阈值时，其所对应的电磁控制阀关闭，与此同时，另一电磁控制阀打开，从第二箱体内卸下的光刻胶将进入另一接收存储箱内进行存储，数个接收存储箱交替使用，能保证该自动过滤设备能进行持续工作。
[0026]在本实施例中，数个接收存储箱的内侧壁上方均设置有液位传感器，以分别用于检测每个接收存储箱内的感光胶液位值，若液位值到达固定阈值时，电磁控制阀则关闭，该接收存储箱将不接收光刻胶。
[0027]在具体使用过程中，操作人员先将第一箱体、第二箱体组装好，并将过滤筒一和过滤筒二安装在第一箱体及第二箱体内，该步骤结束后，控制一电磁控制阀打开，其它电磁控制阀关闭，此时生产好的光刻胶从第一箱体的顶部依次经过过滤筒一和过滤筒二进行两次过滤并由第二箱体进行卸料，在一接收存储箱内的光刻胶达到固定体量时，其所对应的电磁控制阀关闭，再控制下一电磁控制打开以使下一接收存储箱继续进行接料存储。
[0028]本技术在具体操作时，需采用控制器(本技术未示出)对数个液位传感器和数个电磁控制阀进行控制连接控制。
[0029]上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的是让熟悉该
的技术人员能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此来限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶生产用自动过滤设备，其特征在于，包括上下设有开口的第一箱体、顶部设有开口的第二箱体、顶部成型有裙边一的过滤筒一、顶部成型有裙边二的过滤筒二和数个接收存储箱，所述第一箱体可拆卸设置在第二箱体上方，所述第一箱体的内壁成型有环形台阶一，所述过滤筒一穿过环形台阶一并通过锁紧件一将裙边一和环形台阶一固定，所述第二箱体的内壁成型有环形台阶二，所述过滤筒二穿过环形台阶二并通过锁紧件二将裙边二和环形台阶二固定，所述过滤筒一的过滤孔径大于过滤筒二的过滤孔径，所述过滤筒二的底部设置有卸料口，数个接收存储箱设置在过滤筒二的外部，且数个接收存储箱的进料口通过分歧管路与过滤筒二的卸料口连接。2.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产用自动过滤设备，其特征在于，所述第一箱体底部成型有环形凸起部，所述第二箱体的顶部成...

【专利技术属性】
技术研发人员：外谷佳靖，郑军明，
申请(专利权)人：田菱智能科技昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：