一种高精度恒温洁净室制造技术

本发明专利技术提供一种高精度恒温洁净室，包括由左到右依次设置的调温过滤室及洁净室，调温过滤室的中部竖直设置有隔板，隔板分别与调温过滤室的上下前后四个侧壁密封连接并将调温过滤室分隔成左腔室和右腔室；左腔室的左侧壁的中部设置进风口，进风口内设置第一温度传感器，左腔室内设置有至少一组调温过滤组件，调温过滤组件密封镶嵌在隔板上且穿过隔板伸入到右腔室内；调温过滤组件的左侧设置有均匀分流装置，均匀分流装置的入口与进风口相连，均匀分流装置的出口与调温过滤组件的入口相连；右腔室的顶端设置出风口，出风口内设置有第二温度传感器，出风口与洁净室连通，出风口设置有均匀散风结构，均匀散风结构设置在洁净室的顶部。顶部。顶部。

A high precision constant temperature clean room

【技术实现步骤摘要】
一种高精度恒温洁净室


[0001]本专利技术涉及洁净室
，尤其涉及一种高精度恒温洁净室。

技术介绍

[0002]洁净室是指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于精密机械工业如陀螺仪、微型轴承等加工、半导体工业如大规模集成电路生产等对环境的要求，导致洁净室在工业生产应用中已相当普遍。
[0003]现有的恒温洁净室的高度普遍在2
‑
3米或者更高。主要是通过冷水机提供恒温水源，通过温度控制器控制水加热器的功率，调节进入散热盘管机的水温，最后经过风机散热保证房间内温度恒定。但是目前恒温洁净室的高度普遍较高，通常在底面和屋顶分别设置进风口，保证洁净室进风效率。但是由于地面和屋顶有较大温差，导致靠近地面和靠近屋顶的进风口风温有较大的差异，通过温度控制器，很难调控，或者无法做到真正意义上的高精度恒温（
±
0.05℃）。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出一种高精度恒温洁净室。
[0005]为实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种高精度恒温洁净室，包括由左到右依次设置的调温过滤室及洁净室，所述调温过滤室的中部竖直设置有隔板，所述隔板分别与所述调温过滤室的上下前后四个侧壁密封连接并将所述调温过滤室分隔成左腔室和右腔室；所述左腔室的左侧壁的中部设置进风口，所述进风口内设置第一温度传感器，所述左腔室内设置有至少一组调温过滤组件，所述调温过滤组件密封镶嵌在所述隔板上且穿过所述隔板伸入到所述右腔室内；所述调温过滤组件的左侧设置有均匀分流装置，所述均匀分流装置的入口与所述进风口相连，所述均匀分流装置的出口与所述调温过滤组件的入口相连；所述右腔室的顶端设置出风口，所述出风口内设置有第二温度传感器，所述出风口与所述洁净室连通，所述出风口设置有均匀散风结构，所述均匀散风结构设置在所述洁净室的顶部。
[0006]优选地，所述调温过滤组件包括相互拼接的散热盘管机及FFU风机过滤机组；所述散热盘管机的左侧与所述均匀分流装置的出口相对，所述散热盘管机的右侧与所述FFU风机过滤机组的进风端相对，所述FFU风机过滤机组的出风端镶嵌在所述隔板上且凸出在所述右腔室内；每个所述散热盘管机通过输水管并联，所述输水管上设置有加热器，所述加热器电性连接外部的温度调控器，所述温度调控器与所述第一温度传感器和所述第二温度传感器电性连接。
[0007]优选地，所述输水管上还设置有恒压泵，所述恒压泵嵌装在所述输水管上。
[0008]优选地，所述进风口内还设置有预调温组件，所述预调温组件居中设置，所述预调
温组件位于所述第一温度传感器的左侧，所述预调温组件的左侧还设置有第三温度传感器，所述第三温度传感器与所述温度调控器电性连接。
[0009]优选地，所述预调温组件包括由左到右依次设置拼接的预加热机构和风机，所述预加热机构的加热方式为水加热散热或者电加热散热。
[0010]优选地，所述均匀散风结构包括出风排管，所述出风排管固定设置在所述洁净室的顶部，所述出风排管上均匀设置有朝下的散风口。
[0011]优选地，所述出风排管位于所述洁净室四个墙角的位置处分别设置有从上到下延伸的排风管，所述排风管的侧壁上由上至下均匀布设有散风口。
[0012]优选地，四根所述排风管上的散风口在同一高度上共面。
[0013]优选地，每个所述散风口与位于其右侧的墙壁之间的夹角小于90度，且每个所述散风口与位于其右侧的墙壁之间的角度相同。
[0014]优选地，所述散风口倾斜朝上设置。
[0015]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：1)首先左腔室中部设置唯一的进风口保证进风口处进来的风的温度唯一，从而使经过调温过滤组件调温过滤后的风的温度唯一可控，实现温度更精确的控制，有效减小误差；2)均匀分流装置的设置，能够将进风口进来的风均匀分流到各个出口从而使每个调温过滤组件接收的风量相等，再根据每个调温过滤组件是经过同一输水管进行统一输水和加热，因此每个调温过滤组件的温度相同，故而统一进来的同风量的风经过调温过滤组件后的温度相同，实现对吹入的风的温度的更高精度的控制；3)在进风口处设置预调温组件，先对进风口处进来的风进行预加热，实现第一次调温，然后预调温后的风再进入到左腔室进行第二次调温，经过两次调温能够实现对进来的风的更高精度的控温，防止在风速较快时，以及有温度差时，调温过滤组件不能将空气的温度调整到预定温度，从而有效降低误差，提高精度；4)设置出风排管，能够将出风口处吹出的风经过出风排管均匀分散到洁净室的顶部，并从顶部向下吹出，实现洁净室内均匀控温；5)四根竖直延伸的排风管及散风口的设置，能够从洁净室侧壁向中部吹风，有效降低风量从顶部下吹时在随空气沉降过程中温度损失，保持洁净室底部温度与顶部温度更加趋近，从而提高整个洁净室内温度更加均匀；6)排风管上的散风口与右侧墙壁之间的角度小于90度，在从散风口吹出时，四个方向的散风口吹出的风形成回旋，使在同一水平面上的风实现均匀控温，更进一步保证洁净室内温度平衡均匀；同时能有效降低空气沉降的速度，从而能提高温度保持时间，进一步保持洁净室内整个空间内温度稳定；7)同时散风口在水平方向倾斜的同时还在竖直方向上倾斜朝上设置，不仅能形成回旋风，而且能向上吹出风量扰乱从顶部直接垂下的风，将均匀垂直垂下的风打散，并混入到回旋涡流中，实现洁净室内整个空间内的风量回旋，从而使洁净室内的温度更加均匀，进一步减少了空气中由于风吹从上到下沉降导致的温度损失，实现洁净室内温度与经过温度调控后从右腔室内吹出的风量一致，实现更高精度的恒温控制。
附图说明
[0016]图1为本专利技术的一种高精度恒温洁净室的整体结构示意图；图2为本专利技术的一种高精度恒温洁净室排风管及散风口的俯视图。
具体实施方式
[0017]为使对本专利技术的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。
[0018]请结合参照图1和图2，本专利技术提供了一种高精度恒温洁净室，包括由左到右依次设置的调温过滤室1及洁净室2，调温过滤室1的中部竖直设置有隔板3，隔板3分别与调温过滤室1的上下前后四个侧壁密封连接并将调温过滤室1分隔成左腔室4和右腔室5；左腔室4的左侧壁的中部设置进风口6，进风口6内设置第一温度传感器7，左腔室4内设置有至少一组调温过滤组件8，调温过滤组件8密封镶嵌在隔板3上且穿过隔板3伸入到右腔室5内；调温过滤组件8的左侧设置有均匀分流装置9，均匀分流装置9的入口与进风口6相连，均匀分流装置9的出口与调温过滤组件8的入口相连；右腔室5的顶端设置出风口10，出风口10内设置有第二温度传感器11，出风口10与洁净室2连通，出风口10设置有均匀散风结构12，均匀散风结构12设置在洁净室2的顶部。
[0019]在一实施例中，调温过滤室1用于先对引入的风进行调温过滤，一方面除尘，另一方面对温度进行更高精度的调控，再将处本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度恒温洁净室，其特征在于：包括由左到右依次设置的调温过滤室及洁净室，所述调温过滤室的中部竖直设置有隔板，所述隔板分别与所述调温过滤室的上下前后四个侧壁密封连接并将所述调温过滤室分隔成左腔室和右腔室；所述左腔室的左侧壁的中部设置进风口，所述进风口内设置第一温度传感器，所述左腔室内设置有至少一组调温过滤组件，所述调温过滤组件密封镶嵌在所述隔板上且穿过所述隔板伸入到所述右腔室内；所述调温过滤组件的左侧设置有均匀分流装置，所述均匀分流装置的入口与所述进风口相连，所述均匀分流装置的出口与所述调温过滤组件的入口相连；所述右腔室的顶端设置出风口，所述出风口内设置有第二温度传感器，所述出风口与所述洁净室连通，所述出风口设置有均匀散风结构，所述均匀散风结构设置在所述洁净室的顶部。2.如权利要求1所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述调温过滤组件包括相互拼接的散热盘管机及FFU风机过滤机组；所述散热盘管机的左侧与所述均匀分流装置的出口相对，所述散热盘管机的右侧与所述FFU风机过滤机组的进风端相对，所述FFU风机过滤机组的出风端镶嵌在所述隔板上且凸出在所述右腔室内；每个所述散热盘管机通过输水管并联，所述输水管上设置有加热器，所述加热器电性连接外部的温度调控器，所述温度调控器与所述第一温度传感器和所述第二温度传感器电性连接。3.如权利要求2所述的高精...

【专利技术属性】
技术研发人员：张润，胡家乐，张燕，周樂，陈玲，叶伟强，
申请(专利权)人：美埃中国环境科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：