一种镀膜腔清洁机构制造技术

本发明专利技术提出一种镀膜腔清洁机构，设置于矩形的镀膜腔内，包括：设置于镀膜腔底部的干泵、设置于镀膜腔四个内壁上的引流单元和分别设置于镀膜腔四个角落且与干泵连接的集气罩，引流单元为引流板，引流板包括呈L型的垂直板和水平板。本发明专利技术不仅提高了NF3的使用率，而且提高了清洁效果，有助于提高产品质量；整体结构简单、设计科学且采用快装方式并将易损件设计为可更换结构，既节约装配时间，又节约使用成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜腔清洁机构


[0001]本专利技术涉及CVD镀膜
，特别是指一种镀膜腔清洁机构。

技术介绍

[0002]CVD腔室镀膜时，腔室内会附着有大量的膜，为了保证腔室的清洁度，需要使用清洁气体NF3对腔室进行清洁。如说明书附图1所示，现有技术中，清洁气体NF3自腔室的中心向外辐射扩散，极易将膜层堆积至四角，继而产生影响产品品质的颗粒。因而，为了保证产品品质，需要延长清洁时间，而清洁时间的延长既会导致清洁气体NF3成本增加，又使得产能受限，而且即使清洁时间延长，受清洁气体扩散方向的制约，腔室的四角依然容易出现膜层堆积。因而，如何高效提高腔室的清洁度，特别是改善腔室内部四个角落的清洁效果，是目前需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0003]为解决以上现有技术的不足，本专利技术提出了一种镀膜腔清洁机构。
[0004]本专利技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种镀膜腔清洁机构，设置于矩形的镀膜腔内，包括：设置于镀膜腔底部的干泵、设置于镀膜腔四个内壁上的引流单元和分别设置于镀膜腔四个角落且与干泵连接的集气罩，引流单元为引流板，引流板包括呈L型的垂直板和水平板。
[0006]优选的，还包括支撑托架，引流板通过支撑托架与镀膜腔的内壁固定连接。
[0007]进一步优选的，支撑托架包括呈L型的侧托和底托，侧托的外侧设置有用于与镀膜腔的内壁连接的螺纹连接件，垂直板通过挂钩与侧托的内侧固定连接，水平板上设置有用于放置底托的容纳腔。
[0008]更为优选的，底托的上表面略高于水平板的上表面。
[0009]最为优选的，垂直板和水平板为一体化结构，侧托和底托为一体化结构。
[0010]与现有技术相比，本专利技术至少存在如下有益效果：
[0011]1、通过在于镀膜腔的四个内壁上设置引流单元，使得清洁气体NF3自然扩散后折返至四角进行清洁，不仅提高了NF3的使用率，而且提高了清洁效果，有助于提高产品质量；
[0012]2、不会增加清洁气体NF3的使用量，也不会延长清洁时间，因而既不会增加清洁成本，又不会降低产能；
[0013]3、整体结构简单、设计科学且采用快装方式并将易损件设计为可更换结构，既节约装配时间，又节约使用成本。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可
以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为未设置引流单元之前镀膜腔内清洁气体的分布图；
[0016]图2为引流单元在镀膜腔的设置结构示意图；
[0017]图3为引流单元的剖视图；
[0018]图4为图3的立体结构示意图；
[0019]图5为本专利技术的结构示意图(剖视图)；
[0020]图6为设置引流单元之后镀膜腔内清洁气体的分布图；。
[0021]图中：A、镀膜腔；B、遮蔽框；M、待镀膜玻璃；1、引流板；11、垂直板；12、水平板；2、挂钩；3、支撑托架；31、侧托；32、底托；4、螺纹连接件；5、干泵；6、集气罩。
具体实施方式
[0022]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0023]实施例1
[0024]一种镀膜腔清洁机构，设置于矩形的镀膜腔A内，包括：设置于镀膜腔A底部的干泵5、设置于镀膜腔A四个内壁上的引流单元和4个分别设置于镀膜腔A四个角落且与干泵5连接的集气罩6，引流单元为引流板1，引流板包括呈L型的垂直板11和水平板12。
[0025]引流板1在镀膜腔A内的设置位置如图2所示，干泵5、集气罩6在镀膜腔A内的设置位置如图5所示。清洁时，清洁气体NF3通入待镀膜玻璃M的中央，之后自然扩散至4个引流板1处，经垂直板11引流并在集气罩6的引导下，NF3折返至四个角落进行清洁。而现有技术中，清洁气体NF3通入待镀膜玻璃M的中央，之后向4个内壁自然扩散并在遮蔽框与内壁之间的间隙处被抽走，因而几乎不会对4个角落进行清洁(具体清洁过程如图1所示)。本申请的镀膜腔清洁机构不仅提高了NF3的使用率，而且提高了清洁效果，有助于提高产品质量(具体清洁过程如图6所示)。
[0026]实施例2
[0027]在实施例1的基础上，还包括支撑托架3，引流板1通过支撑托架3与镀膜腔A的内壁固定连接。如图3和图4共同所示：具体来说，支撑托架3包括呈L型的侧托31和底托32，侧托31的外侧设置有用于与镀膜腔A的内壁连接的螺纹连接件4，垂直板11通过挂钩2与侧托31的内侧固定连接，水平板12上设置有用于放置底托32的容纳腔。引流板1安装在挂钩2上，挂钩2固定在支撑托架3上，支撑托架3通过螺纹连接件4固定在镀膜腔A的内壁上，安装操作快捷、方便。
[0028]实施例3
[0029]在实施例2的基础上，底托32的上表面略高于水平板12的上表面。使用中，遮蔽框B安装于底托32上，因而底托32受力，长期使用发生形变直接更换支撑托架3即可，无需更换引流板1。
[0030]实施例4
[0031]在实施例1
‑
3的基础上，为了便于加工与使用，垂直板11和水平板12为一体化结
构，侧托31和底托32为一体化结构。
[0032]以上所述仅为本专利技术的较佳实施例而已，并不用以限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜腔清洁机构，设置于矩形的镀膜腔(A)内，其特征在于：包括：设置于镀膜腔(A)底部的干泵(5)、设置于镀膜腔(A)四个内壁上的引流单元和分别设置于镀膜腔(A)四个角落且与干泵(5)连接的集气罩(6)，所述引流单元为引流板(1)，所述引流板包括呈L型的垂直板(11)和水平板(12)。2.根据权利要求1所述的镀膜腔清洁机构，其特征在于：还包括支撑托架(3)，引流板(1)通过支撑托架(3)与镀膜腔(A)的所述内壁固定连接。3.根据权利要求1所述的镀膜腔清洁机构，其特征在于：支撑托架(3)包括呈L型...

【专利技术属性】
技术研发人员：周磊，窦沛静，段琳琳，丁媛，
申请(专利权)人：明德润和机械制造天津有限公司，
类型：发明
国别省市：