一种双刃液刀机构及湿法制程设备制造技术

本实用新型专利技术涉及湿式清洗技术领域，尤其涉及一种双刃液刀机构及湿法制程设备。本实用新型专利技术中的湿法制程设备包括双刃液刀机构，双刃液刀机构包括主体和两个液刀，两个液刀分别连接于主体的两个侧面，液刀的底部开设有刀口，刀口沿主体的长度方向设置。通过在主体两侧设置两个液刀，主体中的药液与水分别从两个液刀的刀口流出，能够降低液刀出现堵塞或者分叉的几率，形成连续的均匀水幕，能够提高药液与水之间的置换效率，从而减少出现Mura不良的现象，进而提高产品良率。进而提高产品良率。进而提高产品良率。

【技术实现步骤摘要】
一种双刃液刀机构及湿法制程设备


[0001]本技术涉及湿式清洗
，尤其涉及一种双刃液刀机构及湿法制程设备。

技术介绍

[0002]在薄膜晶体管基板制作过程中，有多道制程会使用到湿法制程设备，其中包括清洗、刻蚀、剥离、显影等制程。这些湿式清洗机台的工艺流程往往会根据制程的不同而有不同的清洗过程，一般的清洗的过程例如包括极紫外线干洗、药液湿洗、刷洗、二流体类水洗和风刀干燥等。在使用药液湿洗处理的工艺制程中，在药液单元后的第一段水洗单元入口，多会设计入口双刃液刀机构，主要解决药液和水的快速置换，降低金属腐蚀、药液的进行性反应，从而提高产品的良率。现有技术中，该入口液刀机构的刀口设计为单刃刀结构，且该位置液刀机构供水多为来自后段循环用水，杂质较多，容易出现堵塞和水帘分叉现象，导致产品出现Mura不良(显影不均匀)等质量问题。同时，该问题也导致在湿法制程设备的清洗保养上需要花费较多的时间和成本。
[0003]因此亟需一种双刃液刀机构及湿法制程设备以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种双刃液刀机构，能够降低单刃液刀出现阻塞和分叉的几率，提升产品的良率。
[0005]为达此目的，本技术采用了以下方案：
[0006]一种双刃液刀机构，包括主体和两个液刀，两个所述液刀分别连接于所述主体的两个侧面，所述液刀的底部开设有刀口，所述刀口沿所述主体的长度方向设置。
[0007]作为可选方案，所述刀口的缝隙宽度为0.1～0.2mm。
[0008]作为可选方案，所述液刀底部向所述刀口所在位置倾斜设置。
[0009]作为可选方案，还包括进水口，所述进水口设置于两个所述液刀的侧面，两个所述刀口分别与所述进水口单独连通。
[0010]作为可选方案，所述进水口设置有多个，多个所述进水口沿所述液刀的长度方向间隔分布。
[0011]作为可选方案，多个所述进水口沿所述液刀的长度方向均匀分布。
[0012]作为可选方案，所述进水口设置有7个。
[0013]作为可选方案，所述双刃液刀机构还包括紧固件，所述紧固件被配置为连接固定所述液刀与所述主体。
[0014]作为可选方案，所述紧固件为螺纹紧固件。
[0015]本技术提供一种湿法制程设备，能够降低单刃液刀出现阻塞和分叉的几率，提升产品的良率，降低湿法制程设备的清洗和保养成本。
[0016]为达此目的，本技术采用了以下方案：
[0017]一种湿法制程设备，包括上述任一项所述的双刃液刀机构。
[0018]本技术的有益效果为：
[0019]本技术提供的双刃液刀机构及湿法制程设备中，双刃液刀机构包括主体和两个液刀，两个液刀分别连接于主体的两个侧面，液刀的底部开设有刀口，刀口沿主体的长度方向设置。通过在主体两侧设置两个液刀，主体中的药液与水分别从两个液刀的刀口流出，能够降低液刀出现堵塞或者分叉的几率，形成连续的均匀水幕，能够提高药液与水之间的置换效率，从而减少出现Mura不良的现象，进而提高产品良率。
附图说明
[0020]图1是本技术的实施例提供的双刃液刀机构正面视角的结构示意图；
[0021]图2是本技术的实施例提供的双刃液刀机构顶面视角的结构示意图；
[0022]图3是本技术的实施例提供的双刃液刀机构侧面视角的结构示意图。
[0023]图中：
[0024]100、主体；200、液刀；210、刀口；300、进水口；400、紧固件。
具体实施方式
[0025]下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部。
[0026]本技术中限定了一些方位词，在未作出相反说明的情况下，所使用的方位词如“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”，这些方位词是为了便于理解而采用的，因而不构成对本技术保护范围的限制。
[0027]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0028]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]本实施例提供了一种湿法制程设备，用于薄膜晶体管基板制作过程中进行药液湿洗。本实施例中的湿法制程设备包括双刃液刀机构，双刃液刀机构应用于湿法制程设备中药液与水的过渡单元入口。如图1、图2和图3所示，本实施例中的双刃液刀机构包括主体和两个液刀，两个液刀分别连接于主体的两个侧面，液刀的底部开设有刀口，刀口沿主体的长度方向设置。通过在主体两侧设置两个液刀，主体中的药液与水分别从两个液刀的刀口流出，能够降低液刀出现堵塞或者分叉的几率，形成连续的均匀水幕，能够提高药液与水之间
的置换效率，从而减少出现Mura不良的现象，进而提高产品良率。
[0030]本实施例中的双刃液刀机构还包括进水口，进水口设置于两个液刀的侧面，两个刀口分别与进水口单独连通。作为优选方案，进水口设置有多个，多个进水口沿液刀的长度方向间隔分布。
[0031]进一步优选地，本实施例中的多个进水口沿液刀的长度方向均匀分布，以便液体在刀口处形成均匀的水幕。
[0032]具体地，本实施例中的进水口设置有7个。可以理解的是，进水口的数量并不限定为7个，在其他实施例中，还可以根据工艺的需求设置为其他数量，能够实现稳定通入液体的作用即可。
[0033]具体地，本实施例中的刀口的缝隙宽度为0.1～0.2mm，以满足形成水幕宽度的需求。
[0034]本实施例中，液刀底部向刀口所在位置倾斜设置，以保证液体能顺利向刀口流出。优选地，本实施例中的两个液刀的底部4刀口所在位置倾斜的角度相同，以使两个刀口所产生的水幕保持一致，以保证稳定的产品质量。
[0035]本实施例中的双刃液刀机构还包括紧固件，紧固件被配置为连接固定液刀与主体。作为优选方案，紧固件为螺纹紧固件。螺纹紧固件是机械加工领域的常见固定结构，为本领域的常规设置，其与其他零部件的连接关系、具体结构以及具体控制方式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双刃液刀机构，其特征在于，包括主体和两个液刀，两个所述液刀分别连接于所述主体的两个侧面，所述液刀的底部开设有刀口，所述刀口沿所述主体的长度方向设置。2.根据权利要求1所述的双刃液刀机构，其特征在于，所述刀口的缝隙宽度为0.1～0.2mm。3.根据权利要求1所述的双刃液刀机构，其特征在于，所述液刀底部向所述刀口所在位置倾斜设置。4.根据权利要求1所述的双刃液刀机构，其特征在于，还包括进水口，所述进水口设置于两个所述液刀的侧面，两个所述刀口分别与所述进水口单独连通。5.根据权利要求4所述的双刃液刀机构，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：张帆，宋金林，王兵，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：