一种晶圆棒开方控制系统技术方案

一种晶圆棒开方控制系统，包括：用于去除晶圆棒边皮的开方仓以及置于所述开方仓端部的移动平台；所述移动平台配设有上料机构和下料机构，所述上料机构和所述下料机构异侧设置在所述开方仓两侧，所述上料机构能够在所述下料机构收集所有边皮并将开方后的所述晶圆棒移走时同步将新的待开方的所述晶圆棒送至所述开方仓处。本实用新型专利技术待开方的晶圆棒上料和去边皮后的晶圆棒下料是采用异侧传输，且可同步进行下一轮待开方晶圆棒的上料和上一轮去边皮晶圆棒的下料，不仅可提高硅棒周转的安全性，亦可使上下料工作无缝隙衔接，生产效率高，并可降低边皮之间及边皮与晶方棒之间的磕碰，保证质量。保证质量。保证质量。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆棒开方控制系统


[0001]本技术属于单晶硅棒加工
，尤其是涉及一种晶圆棒开方控制系统。

技术介绍

[0002]在晶圆棒开方过程中，现设备是采用在同一条滑动轨道上进行操作，上料和下料是同侧进行，也就是在开方前的晶圆棒上料及开方后的晶圆棒下料都是使用同一个机械手进行取放，机械手在下料抓取时无法进行上料周转，这样上下料的过程就存在工时浪费的情况，无法进行充分的衔接，使得加工效率低，设备稼动率低。同时，由于设备结构设计不合理，导致开方边皮下料时边皮之间容易磕碰，且在晶方棒下料周转过程中也容易磕碰或崩损。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的问题是提供一种晶圆棒开方控制系统，解决了现有技术中由于晶圆棒的上料和晶方棒的下料为同侧操作而导致的生产效率低、硅棒磕碰严重的技术问题。
[0004]为解决至少一个上述技术问题，本技术采用的技术方案是：
[0005]一种晶圆棒开方控制系统，包括：
[0006]用于去除晶圆棒边皮的开方仓以及置于所述开方仓端部的移动平台；
[0007]所述移动平台配设有上料机构和下料机构，所述上料机构和所述下料机构异侧设置在所述开方仓两侧，所述上料机构能够在所述下料机构收集所有边皮并将开方后的所述晶圆棒移走时同步将新的待开方的所述晶圆棒送至所述开方仓处。
[0008]进一步的，所述开方仓中配设有用于顶固所述晶圆棒的顶夹机构，所述顶夹机构包括被悬吊设置的主顶轴和副顶轴；
[0009]所述主顶轴用于顶固所述晶圆棒中设定的方棒所在端面位置；
[0010]所述副顶轴用于顶固所述晶圆棒中对位设定的所述边皮所在端面位置；
[0011]所述主顶轴和所述副顶轴可一同沿所述开方仓的长度方向移动至所述移动平台处。
[0012]进一步的，所述移动平台包括置于所述开方仓外部的滑动台，所述上料机构和所述下料机构均与所述开方仓长度方向平行并垂直于所述滑动台长度方向设置，所述上料机构和所述下料机构独立地沿所述滑动台长度方向滑动设置。
[0013]进一步的，所述上料机构包括：
[0014]固设于所述滑动台一端的上料台；
[0015]和靠近所述开方仓一侧设置并与所述上料台配合的备料台；
[0016]所述上料台和所述备料台均配设有同轴设置的上料轨道；
[0017]在所述备料台上还设有两组用于抓取所述晶圆棒的夹固件；
[0018]置于所述备料台中的所述上料轨道的位置一定，并高于置于所述上料台中的所述
上料轨道的初始位置；且所述上料台可沿竖直方向上下移动，以使置于所述上料台上的所述晶圆棒沿所述上料轨道移动至所述备料台中。
[0019]进一步的，所述夹固件包括两个相对设置且内侧壁均为C型结构的夹爪；置于所述备料台中的所述上料轨道贯穿所述夹爪围成的卡固区域设置。
[0020]进一步的，在所述备料台中的所述上料轨道上还设有用于定位所述晶圆棒的挡块，所述挡块被设于所述备料台中的所述上料轨道靠近所述开方仓一端设置；
[0021]靠近所述挡块的所述夹固件可沿所述备料台宽度方向移动；
[0022]远离所述挡块的所述夹固件可沿所述备料台的宽度以及其长度方向移动。
[0023]进一步的，远离所述挡块的所述夹固件设有拉杆，所述拉杆受其所在的所述夹固件带动以拉动所述晶圆棒朝靠近所述挡块一端移动，并使所述晶圆棒被所述挡块抵顶固定在所述备料台上；
[0024]所述拉杆为L型结构，沿所述备料台的长度方向水平设置，其一端固设于远离所述挡块的所述夹固件靠近所述上料台的侧壁面上，另一端悬空设置。
[0025]进一步的，所述下料机构被设于所述滑动台中远离所述上料机构的一端，包括部分固设于所述滑动台的下料台和用于收集所述边皮的收集箱；
[0026]所述下料台位于所述收集箱的上方且独立于所述收集箱被控制；
[0027]所述下料台可竖直上下移动，以接取开方后的所述晶圆棒并使其移至下料周转台。
[0028]进一步的，所述下料台设有下料轨道；
[0029]所述下料轨道与所述上料轨道均配设有若干橡胶滚轮；
[0030]所述下料轨道中的所述橡胶滚轮均为水平设置；
[0031]所述上料轨道中的所述橡胶滚轮均为斜向上相向设置；
[0032]所述下料轨道靠近所述开方仓一端设有若干组用于防止开方后的所述晶圆棒偏移的挡板，所述挡板沿所述下料轨道长度方向并排间隙设置在所述下料轨道两侧。
[0033]进一步的，沿所述收集箱宽度方向设有两个并排设置的放置槽，所述放置槽之间的间隔距离不大于开方后的所述晶圆棒的宽度；
[0034]在任一组对位设置的所述边皮下落时所述收集箱被移动至置于所述开方仓外部的所述晶圆棒的正下方，并使两个所述放置槽相对于所述晶圆棒的长度轴线对称设置。
[0035]与现有技术相比，采用上述技术方案，待开方的晶圆棒上料和去边皮后的晶圆棒下料是采用异侧传输，且可同步进行下一轮待开方晶圆棒的上料和上一轮去边皮晶圆棒的下料，不仅可提高硅棒周转的安全性，亦可使上下料工作无缝隙衔接，生产效率高，使整体加工时间缩短至18
‑
22min，并使设备稼动率提高至95
‑
97％。采用分开设置的边皮收集结构，可降低边皮之间以及边皮与晶方棒之间的磕碰，保证硅棒质量。
附图说明
[0036]图1是本技术一实施例的一种晶圆棒开方控制系统的俯视图；
[0037]图2是本技术一实施例的上料时备料台与顶夹机构的配合示意图；
[0038]图3是本技术一实施例的备料台与晶圆棒配合的俯视图；
[0039]图4是本技术一实施例的备料台与晶圆棒配合的侧视图；
[0040]图5是本技术一实施例的下料台与晶圆棒配合的侧视图；
[0041]图6是本技术一实施例的收边皮时收集箱与顶夹机构的配合示意图；
[0042]图7是本技术一实施例的下料时下料台与顶夹机构的配合示意图。
[0043]图中：
[0044]10、开方仓
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20、顶夹机构
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21、主顶轴
[0045]22、副顶轴
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23、悬吊臂
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30、移动平台
[0046]31、滑动台
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40、上料机构
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41、上料台
[0047]42、备料台
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421、夹固件
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422、挡块
[0048]423、拉杆
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43、上料轨道
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50、下料机构
[0049]51、下料台
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆棒开方控制系统，其特征在于，包括：用于去除晶圆棒边皮的开方仓以及置于所述开方仓端部的移动平台；所述移动平台配设有上料机构和下料机构，所述上料机构和所述下料机构异侧设置在所述开方仓两侧，所述上料机构能够在所述下料机构收集所有边皮并将开方后的所述晶圆棒移走时同步将新的待开方的所述晶圆棒送至所述开方仓处。2.根据权利要求1所述的一种晶圆棒开方控制系统，其特征在于，所述开方仓中配设有用于顶固所述晶圆棒的顶夹机构，所述顶夹机构包括被悬吊设置的主顶轴和副顶轴；所述主顶轴用于顶固所述晶圆棒中设定的方棒所在端面位置；所述副顶轴用于顶固所述晶圆棒中对位设定的所述边皮所在端面位置；所述主顶轴和所述副顶轴可一同沿所述开方仓的长度方向移动至所述移动平台处。3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆棒开方控制系统，其特征在于，所述移动平台包括置于所述开方仓外部的滑动台，所述上料机构和所述下料机构均与所述开方仓长度方向平行并垂直于所述滑动台长度方向设置，所述上料机构和所述下料机构独立地沿所述滑动台长度方向滑动设置。4.根据权利要求3所述的一种晶圆棒开方控制系统，其特征在于，所述上料机构包括：固设于所述滑动台一端的上料台；和靠近所述开方仓一侧设置并与所述上料台配合的备料台；所述上料台和所述备料台均配设有同轴设置的上料轨道；在所述备料台上还设有两组用于抓取所述晶圆棒的夹固件；置于所述备料台中的所述上料轨道的位置一定，并高于置于所述上料台中的所述上料轨道的初始位置；且所述上料台可沿竖直方向上下移动，以使置于所述上料台上的所述晶圆棒沿所述上料轨道移动至所述备料台中。5.根据权利要求4所述的一种晶圆棒开方控制系统，其特征在于，所述夹固件包括两个相对设置且内侧壁均为C型结构的夹爪；置于所述备料台中的所述上料轨道贯穿所述夹爪围成的卡固区域设置。6.根据权利要求4或5所述的一种晶圆棒开方控制系统，其特征在于，在所述备料台中...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓鹏，梁志慧，李喜珍，贡艺强，王猛，石岩，杨树生，赵艳慧，常顺，林雪龙，李志剑，赵伟，王光宇，尹琨，
申请(专利权)人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司，
类型：新型
国别省市：