本发明专利技术公开了超高真空实验设备技术领域的一种应用于超高真空和极低温环境的样品台，包括台底座；台盖板，台盖板可升降的设置在台底座上；预紧机构，预紧机构设置于台底座和台盖板之间，并对台盖板施加朝向台底座的弹性预紧力；夹紧机构，夹紧机构设置在台底座和台盖板之间，用于增加台盖板和台底座对样品托的夹紧力。本发明专利技术先通过预紧机构对台盖板的弹性预紧力使台盖板和台底座对样品托进行预夹紧，以防止机械手抽回时带动样品托，再通过预紧机构调节台盖板对样品托的挤压力大小，以增大台底座和台盖板对样品托的夹紧力，实现样品托的夹紧固定，并防止样品托在运动过程中受振动或转动角度影响而移动或脱落。动角度影响而移动或脱落。动角度影响而移动或脱落。
【技术实现步骤摘要】
一种应用于超高真空和极低温环境的样品台
[0001]本专利技术涉及超高真空实验设备
，具体涉及一种应用于超高真空和极低温环境的样品台。
技术介绍
[0002]在超高真空和极低温环境下进行实验时，需要将实验样品固定于标准的样品托上，以便于样品的移动，并防止样品污染。通常情况下，样品托是和真空腔内的多自由度样品台配合使用的，通过样品台带动样品在真空腔内移动，并完成样品实验的全面测量。如图9所述，现有样品台包括台底座20和台盖板30，台盖板30固定设置在台底座20上方，且台底座20和台盖板30之间形成用于容置样品托80的容置腔90，同时在台盖板30的螺纹通孔中螺纹连接的夹紧螺栓51，通过夹紧螺栓51在螺纹通孔中的旋入和旋出，使夹紧螺栓51的底端和台底座20夹紧或松开样品托80。
[0003]但在实际使用过程中，机械手通过送样杆将样品托80送入容置腔90的动作和旋拧夹紧螺栓51夹紧样品托80的动作是先后进行的(真空腔空间狭小，两个动作同时进行会相互干涉)，但在两个动作之间，由于样品托80未固定，机械手抽回时容易在摩擦力的作用下拉动样品托80，并导致样品托80移位，甚至从容置腔90内脱落，进而导致实验失败。同时，现有的螺栓夹紧方式也存在样品台和样品托80热接触效果不理想，在极低温实验中存在降温速度慢的缺点。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种应用于超高真空和极低温环境的样品台，以解决现有样品台存在的样品托移位的技术问题。
[0005]本专利技术所采用的技术方案为：一种应用于超高真空和极低温环境的样品台，包括：
[0006]台底座；
[0007]台盖板，所述台盖板可升降的设置在所述台底座上；
[0008]预紧机构，所述预紧机构设置于所述台底座和所述台盖板之间，并对所述台盖板施加朝向所述台底座的弹性预紧力，所述弹性预紧力用于使所述台盖板和所述台底座对样品托进行预夹紧；
[0009]夹紧机构，所述夹紧机构设置在所述台底座和所述台盖板之间，用于增加所述台盖板和所述台底座对所述样品托的夹紧力。
[0010]优选的，所述预紧机构包括导向体和预紧弹簧，所述导向体可轴向移动的设置在所述台底座的导向孔中，且所述导向体的顶端与所述台盖板连接，所述预紧弹簧套设在所述导向体上，且所述预紧弹簧的一端与所述台底座连接，另一端与所述导向体底端连接。
[0011]优选的，所述导向体包括用于调节预紧力大小的预紧螺栓，所述预紧螺栓的顶端螺纹连接于所述台盖板的螺纹孔中。
[0012]优选的，所述夹紧机构包括夹紧螺栓，所述夹紧螺栓设置在所述台盖板的连接通
孔中并与所述台底座螺纹连接。
[0013]优选的，所述台底座上设有安装孔和安装槽，所述安装孔设置在所述安装槽正上方；所述夹紧机构还包括设置安装槽内并与所述夹紧螺栓相配合的夹紧螺母。
[0014]优选的，所述夹紧螺母包括安装块和螺母块，所述安装块可拆卸的安装在所述安装槽内，所述螺母块内置于所述安装孔中并与所述安装块固定连接。
[0015]优选的，还包括与所述台底座可相对转动的旋转座，所述旋转座包括垂直连接的竖直部和水平部，所述竖直部的顶端转动连接有隔热护罩，所述隔热护罩的一侧设有插销，所述水平部的一端设有与所述插销卡扣连接的弹性卡扣。
[0016]优选的，所述隔热护罩包括护罩门、插板和弹性压板，所述护罩门的一侧通过转轴与所述竖直部顶端转动连接，所述弹性压板设置于所述护罩门顶部开口的两侧，所述插板插接于所述护罩门和所述弹性压板之间。
[0017]优选的，所述台底座与所述旋转座之间设有vespel材质的隔热套筒，所述隔热套筒固定套设于所述台底座的柱状部上。
[0018]优选的，所述台底座上还设有用于容纳测温计的容置槽，所述容置槽内设有用于固定测温计的弹性压片。
[0019]本专利技术的有益效果：
[0020]1、本专利技术中的台盖板可升降的设置在台底座上方，且台盖板和台底座之间设有预紧机构和夹紧机构，可通过预紧机构对台盖板施加朝向台底座的弹性预紧力，可通过夹紧机构调节台盖板对插入台盖板和台底座之间的样品托的挤压力大小；当机械手将样品托插入台底座和台盖板之间后，预紧机构对台盖板的弹性预紧力可使台盖板和台底座对样品托进行预夹紧，防止机械手抽回时带动样品托而使样品托移位，配合预紧机构调节台盖板和台底座的间距，调节台盖板对样品托的挤压力大小，以增大台底座和台盖板对样品托的夹紧力，以实现样品托的夹紧固定。
[0021]2、本专利技术中的预紧机构包括预紧螺栓和预紧弹簧，通过将预紧螺栓设置在台底座的导向孔中并与台盖板连接，预紧弹簧套设在台底座下方的预紧弹簧上，配合预紧螺栓在台盖板上螺纹孔中的旋入旋出，改变预紧弹簧的弹性变形，进而实现预紧力大小的调节，以用于对不同厚度的样品托进行预夹紧。
[0022]3、本专利技术中的夹紧机构包括夹紧螺栓和夹紧螺母，通过将夹紧螺母设置在台底座的安装槽内，配合夹紧螺栓在夹紧螺母内的旋入旋出，调节台盖板和台底板间夹紧力的大小，实现对样品托的夹紧固定；同时由于夹紧螺母与台底座可拆卸连接，可在发生滑丝现象后，通过更换夹紧螺母，保证样品台的正常使用。
[0023]4、本专利技术在台盖板上方设有与旋转座转动连接的隔热护罩，可通过隔热护罩上的插销与旋转座上的弹簧卡扣的卡接，实现隔热护罩与旋转座的固定连接，确保隔热护罩罩设在样品托上，以减少样品台对真空环境的热辐射；同时还可通过将隔热护罩上的插板抽出，实现样品托上样品的直接测量。
[0024]5、本专利技术在台底座与旋转座之间设有vespel材质的隔热套筒，不仅可以保证台底座的精准转动，还可减少台底座的漏热。
附图说明
[0025]图1为本专利技术的应用于超高真空和极低温环境的样品台的立体示意图；
[0026]图2为本专利技术的应用于超高真空和极低温环境的样品台的侧视图；
[0027]图3为本专利技术的应用于超高真空和极低温环境的样品台的爆炸示意图；
[0028]图4为本专利技术的应用于超高真空和极低温环境的样品台的台底座和台盖板的连接示意图；
[0029]图5为本专利技术的应用于超高真空和极低温环境的样品台的隔热护罩与旋转座的连接示意图；
[0030]图6为本专利技术的应用于超高真空和极低温环境的台底座的立体示意图；
[0031]图7为本专利技术的应用于超高真空和极低温环境的台盖板的立体示意图；
[0032]图8为本专利技术的应用于超高真空和极低温环境的夹紧螺母的立体示意图；
[0033]图9为现有样品台的台底座与台盖板的连接示意图。
[0034]图中附图标记说明：
[0035]10、旋转座；
[0036]11、竖直部；12、水平部；13、弹性卡扣；14、门支架；
[0037]20、台底座；
[0038]21、导向孔；22、安装孔；23、安装槽；24、容置槽；25、平台部；26、柱状部；27、导向板；
[0039]3本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于超高真空和极低温环境的样品台，其特征在于，包括：台底座(20)；台盖板(30)，所述台盖板(30)可升降的设置在所述台底座(20)上；预紧机构(40)，所述预紧机构(40)设置于所述台底座(20)和所述台盖板(30)之间，并对所述台盖板(30)施加朝向所述台底座(20)的弹性预紧力，所述弹性预紧力用于使所述台盖板(30)和所述台底座(20)对样品托(80)进行预夹紧；夹紧机构(50)，所述夹紧机构(50)设置在所述台底座(20)和所述台盖板(30)之间，用于增加所述台盖板(30)和所述台底座(20)对所述样品托(80)的夹紧力。2.根据权利要求1所述的一种应用于超高真空和极低温环境的样品台，其特征在于，所述预紧机构(40)包括导向体和预紧弹簧(42)，所述导向体可轴向移动的设置在所述台底座(20)的导向孔(21)中，且所述导向体的顶端与所述台盖板(30)连接，所述预紧弹簧(42)套设在所述导向体上，且所述预紧弹簧(42)的一端与所述台底座(20)连接，另一端与所述导向体连接。3.根据权利要求2所述的一种应用于超高真空和极低温环境的样品台，其特征在于，所述导向体包括用于调节预紧力大小的预紧螺栓(41)，所述预紧螺栓(41)的顶端螺纹连接于所述台盖板(30)的螺纹孔(31)中。4.根据权利要求1所述的一种应用于超高真空和极低温环境的样品台，其特征在于，所述夹紧机构(50)包括夹紧螺栓(51)，所述夹紧螺栓(51)设置在所述台盖板(30)的连接通孔(32)中并与所述台底座(20)螺纹连接。5.根据权利要求4所述的一种应用于超高真空和极低温环境的样品台，其特征在于，所述台底座(20)上设有安装孔(22)和安装槽(23)，所述安装孔(22)设置在所述安装槽(23)正上方；所...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘芳，王峰，柳仲楷，张宗霖，
申请(专利权)人：上海科技大学，
类型：发明
国别省市：
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