压电元件的制造方法技术

掩蔽剂作为图案化膜１２涂布到将被处理的压电材料１１的表面，其通过接触到溶剂蒸气Ｖ而液化，并通过其表面张力而修整为圆顶掩模１４。当压电材料和圆顶掩模１４一起进行干蚀刻时，它的表面被处理为对应于圆顶掩模１４的厚度分布的凸形轮廓。通过利用抗油剂１３处理压电材料１１，从而控制圆顶掩模１４的分布和形状，从而限制掩蔽剂重熔到特定区域。被处理的压电材料的表面轮廓的中心处具有大的质量，从而适于主振荡而没有寄生振荡。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种制造压电元件的方法，包括以下步骤：涂布掩蔽剂到将被处理的压电材料的表面；将掩蔽剂的膜成形为预定掩蔽图案；保持该膜接触到用于掩蔽剂的溶剂，从而在压电材料的表面上将该膜液化为圆顶形状；以及将压电材料处理为对应 于圆顶形状的厚度分布的三维凸形轮廓。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：安部隆，李丽，
申请(专利权)人：独立行政法人科学技术振兴机构，
类型：发明
国别省市：JP[日本]