具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置，属于真空泵技术领域，为解决部分气体中杂质含量较多，一些颗粒物通过真空泵的时候会对真空泵内部零件造成损伤，工艺气体在遇到高温时会加速对真空泵内零部件的腐蚀的问题；本发明专利技术通过主动轴和从动轴上的压缩叶轮转动的过程中通过进气管抽取气体，气体通过进气管穿过固定环，并进入到上壳体和下壳体内部，转动圈转动的时候通过固定圈带动过滤构件转动，气体在固定环的内部会穿过贯穿孔并受到过滤棉的过滤，本发明专利技术中过滤棉转动以此来分担气体中的杂质，在对气体进行过滤的同时过滤棉的旋转会增加过滤的效果避免过滤棉发生堵塞，减少过滤棉的更换频率。滤棉的更换频率。滤棉的更换频率。
【技术实现步骤摘要】
具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置
[0001]本专利技术涉及真空泵
，特别涉及具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置。
技术介绍
[0002]真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备，通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置，按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵，其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业，随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。
[0003]多级罗茨泵真空泵在对气体进行抽取的过程中，会由于部分气体中杂质含量较多，一些颗粒物通过真空泵的时候会对真空泵内部零件造成损伤，并且在实际使用过程中，真空泵会抽不同的工艺气体，一些工艺气体会对真空泵内的零部件造成难以避免的腐蚀，真空泵在抽气做功会产生大量的热，导致腔体和轴的温度升高，轴位置温度会更高，部分工艺气体在遇到高温时会加速对真空泵内零部件的腐蚀。
[0004]为解决上述问题。为此，提出具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置，解决了
技术介绍
中部分气体中杂质含量较多，一些颗粒物通过真空泵的时候会对真空泵内部零件造成损伤，并且在实际使用过程中，真空泵会抽不同的工艺气体，一些工艺气体会对真空泵内的零部件造成难以避免的腐蚀，真空泵在抽气做功会产生大量的热，导致腔体和轴的温度升高，轴位置温度会更高，部分工艺气体在遇到高温时会加速对真空泵内零部件的腐蚀的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置，包括真空泵主体和设置在真空泵主体上的过滤机构和气体调节机构，真空泵主体包括上外壳和安装在上外壳底部的下外壳，上外壳的内部设置有上壳体，下外壳的内部设置有下壳体，上壳体和下壳体之间转动连接有主动轴和从动轴，过滤机构包括驱动组件、联动组件和进气组件，驱动组件包括固定连接在下外壳前端的第一支撑块，第一支撑块的前端固定连接有第二支撑块，第二支撑块的顶部固定连接有驱动电机，且驱动电机的输出端与主动轴固定连接；主动轴和从动轴上固定分别固定连接有第一斜齿轮和第二斜齿轮，联动组件包括固定连接在第一支撑块顶部的固定环，固定环的内侧设置有转动槽，固定环的内部设置有过滤构件，过滤构件包括转动连接在固定环内部的转动环，转动环的内部填充有过滤棉，转动环的前后均匀分布有内外贯穿的贯穿孔，联动组件还包括转动圈，转动圈的外侧固定连接有固定圈，固定圈贯穿转动槽与过滤构件的内壁固定连接，转动圈的内壁均匀分布有斜
齿槽，且斜齿槽与第一斜齿轮和第二斜齿轮啮合连接；进气组件包括设置在固定环前端的进气管，进气组件还包括嵌合设置在上外壳顶部的固定壳体，固定壳体通过连通管与固定环后端连接，固定壳体通过金属管贯穿上外壳并延伸至上壳体内部前方。
[0007]进一步地，上壳体和下壳体的内部设置有与主动轴和从动轴相对应的轴槽，主动轴和从动轴的外壁上固定连接有压缩叶轮。
[0008]进一步地，上壳体和下壳体的内部设置有压缩腔体，压缩腔体设置有六组，且六组所述的压缩腔体的体积逐渐变小，下壳体的顶部后端两侧均设置有屏障流体通道，屏障流体通道与轴槽相连通。
[0009]进一步地，上外壳的顶部后端均匀分布有进气槽，上外壳的内部两侧均匀分布有与进气槽相连通的第一进气流道，上壳体的内部两侧均匀分布有第二进气流道，第二进气流道的顶部与第一进气流道相连通，第二进气流道的底部与屏障流体通道相对应。
[0010]进一步地，气体调节机构包括动力组件、传动组件和调节组件，动力组件包括设置在上外壳上方的套筒，套筒的一端与固定壳体内部相连通。
[0011]进一步地，动力组件还包括与套筒另一端滑动连接的活动杆，活动杆的一端固定连接有活塞板，且活塞板滑动连接在套筒的内壁上，活塞板将套筒的内部分为第一腔体和第二腔体，活动杆的另一端固定连接有第一固定轴。
[0012]进一步地，传动组件包括固定连接在上外壳顶部的转轴，转轴上转动连接有直齿轮，直齿轮的一侧固定连接有传动杆，传动杆上设置有左右贯穿的第一凹槽，且活动杆贯穿第一凹槽，传动杆上还设置有上下贯穿的第一滑槽，第一固定轴活动设置在第一滑槽内。
[0013]进一步地，传动组件还包括设置在上外壳顶部的第二滑槽，第二滑槽的内部滑动连接有滑动杆，滑动杆上设有齿槽，且滑动杆与直齿轮啮合连接，滑动杆上设置有第二凹槽，且第二凹槽设置有四组，第二凹槽的内部均固定连接有第二固定轴。
[0014]进一步地，调节组件包括固定连接在上外壳顶部的圆形壳体，且圆形壳体的位置与进气槽相对应，调节组件还包括贯穿第二凹槽的转动杆，转动杆的顶部设置有与第二固定轴相对应的第三滑槽。
[0015]进一步地，圆形壳体的内部转动连接有转动盘，圆形壳体的一侧设置有第三凹槽，转动杆贯穿第三凹槽并与转动盘固定连接，圆形壳体上设置有上下贯穿的第一进气孔，转动盘上设置有与第一进气孔相对应的第二进气孔，圆形壳体的顶部固定连接有进气漏斗。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1．具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置，在进气管处连接管道并与待抽真空的容器相连接，当驱动电机驱动主动轴转动的时候，第一斜齿轮转动并带动转动圈转动，转动圈同时又通过第二斜齿轮带动从动轴转动，主动轴和从动轴上的压缩叶轮转动的过程中通过进气管抽取气体，气体通过进气管穿过固定环，并通过连通管、固定壳体和金属管进入到上壳体和下壳体内部，转动圈转动的时候通过固定圈带动过滤构件转动，气体在固定环的内部会穿过贯穿孔并受到过滤棉的过滤，过滤构件转动的时候，其内部的过滤棉也会跟随转动，以此来分担气体中的杂质，在对气体进行过滤的同时过滤棉的旋转会增加过滤的效果避免过滤棉发生堵塞，减少过滤棉的更换频率。
[0017]2．具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置，在进行抽气的过程中，通过在
进气漏斗处外接保护气体，保护气穿过第二进气孔和第一进气孔并通过第一进气流道和第二进气流道进入到屏障流体通道内，最终保护气通过屏障流体通道进入到轴槽处，用以稀释工艺气体，可有效减少在高温状态下工艺气体对真空泵内零部件的腐蚀。
[0018]3．具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置，真空泵在抽真空的过程中会由于会受到容器内真空度的影响，即容器内压强越低，真空泵的抽取气体的量也会相对的变缓，当容器内压强降低的时候，由于第二腔体与固定壳体内部处于连通状态，即第二腔体内压强与容器内压强均等，所以第一腔体会与第二腔体之间形成压力差，促使活塞板向固定壳体处移动，且移动的距离和压强相关，活塞板带动活动杆移动的时候通过传动杆带动直齿轮转动，直齿轮啮合滑动杆并使得滑动杆向后移动，滑动杆向后移动的时候通过转动杆带动转动盘转动，使其第二进气孔与第一进气孔相交汇的面积缩小，进而改变了保护气的流速，其内部抽取速度本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置，包括真空泵主体（1）和设置在真空泵主体（1）上的过滤机构（2）和气体调节机构（3），其特征在于：真空泵主体（1）包括上外壳（11）和安装在上外壳（11）底部的下外壳（12），上外壳（11）的内部设置有上壳体（13），下外壳（12）的内部设置有下壳体（14），上壳体（13）和下壳体（14）之间转动连接有主动轴（15）和从动轴（16），过滤机构（2）包括驱动组件（21）、联动组件（22）和进气组件（23），驱动组件（21）包括固定连接在下外壳（12）前端的第一支撑块（211），第一支撑块（211）的前端固定连接有第二支撑块（212），第二支撑块（212）的顶部固定连接有驱动电机（213），且驱动电机（213）的输出端与主动轴（15）固定连接；主动轴（15）和从动轴（16）上固定分别固定连接有第一斜齿轮（152）和第二斜齿轮（161），联动组件（22）包括固定连接在第一支撑块（211）顶部的固定环（221），固定环（221）的内侧设置有转动槽（2211），固定环（221）的内部设置有过滤构件（222），过滤构件（222）包括转动连接在固定环（221）内部的转动环（2221），转动环（2221）的内部填充有过滤棉（2223），转动环（2221）的前后均匀分布有内外贯穿的贯穿孔（2222），联动组件（22）还包括转动圈（223），转动圈（223）的外侧固定连接有固定圈（2232），固定圈（2232）贯穿转动槽（2211）与过滤构件（222）的内壁固定连接，转动圈（223）的内壁均匀分布有斜齿槽（2231），且斜齿槽（2231）与第一斜齿轮（152）和第二斜齿轮（161）啮合连接；进气组件（23）包括设置在固定环（221）前端的进气管（231），进气组件（23）还包括嵌合设置在上外壳（11）顶部的固定壳体（232），固定壳体（232）通过连通管（234）与固定环（221）后端连接，固定壳体（232）通过金属管（233）贯穿上外壳（11）并延伸至上壳体（13）内部前方。2.如权利要求1所述的具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置，其特征在于：上壳体（13）和下壳体（14）的内部设置有与主动轴（15）和从动轴（16）相对应的轴槽（141），主动轴（15）和从动轴（16）的外壁上固定连接有压缩叶轮（151）。3.如权利要求2所述的具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置，其特征在于：上壳体（13）和下壳体（14）的内部设置有压缩腔体（142），压缩腔体（142）设置有六组，且六组所述的压缩腔体（142）的体积逐渐变小，下壳体（14）的顶部后端两侧均设置有屏障流体通道（143），屏障流体通道（143）与轴槽（141）相连通。4.如权利要求3所述的具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置，其特征在于：上外壳（11）的顶部后端均匀分布有进气槽（111），上外壳（11）的内部两侧均匀分布有与进气槽（111）相连通的第一进气流道（112），上壳体...
【专利技术属性】
技术研发人员：王冰冰，孔祥玲，郝昌龙，
申请(专利权)人：中科仪南通半导体设备有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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