LC元件、半导体器件及LC元件的制作方法技术

ＬＣ元件、半导体器件及其制造方法。本ＬＣ元件由ｐ型Ｓｉ基片的表面附近形成的指定形状的ｎ↑［＋］区和在其一部分上形成的同样形状的ｐ↑［＋］区形成的ＰＮ结层和在该结层的表面沿其长度方向形成的第１和第２电极组成。两电极分别起电感器的作用，同时，借助于反向偏置在两电感器之间以分布参数形式形成电容器。该ＬＣ元件在宽频段内有良好的衰减特性。这种ＬＣ元件和半导体器件易于制作、可省去部件组装作业，且可形成为ＩＣ和ＬＳＩ的一部分。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是可以将其组装入半导体器件等中去或者以单个元件的形式使指定的频段进行衰减的LC元件、半导体器件及LC元件的制作方法。随着近年来电子技术的发展进步，电子电路被广泛地应用于各个领域，因而，人们望各个电子电路能稳定可靠地工作而不受来自外部的影响。但是，来自外部的噪声会直接或间接地侵入这样的电路。为此，就存在着在不少情况下使应用了电子电路的各种电子机器产生误动作的问题。特别是在电子电路中，作为直流电源，大多使用开关稳压器。因而，由于开关等瞬态电流或起因于所用数字集成电路的开关动作的负载变动等原因，在开关稳压器的电源线上大多将会产生具有各种频率成分的很大的噪声。这样一来，这些噪声就会经由电源线或辐射被输送到同一机器的其他电路中去，使其受到产生误动作或使S/N(信噪比)下降等不良影响，有时候还会使附近正在工作的别的电子机器产生误动作。为了除去这样的噪声，一般是在电子电路中使用各种噪声滤波器。特别是由于近年来使用了多个各种结构的电子机器，故对噪声的限制变得越来越严了。为此，人们期望开发出一种LC元件，它是可以确实地除掉所产生的噪声的小型的且起到高性能的噪声滤波器作用的元件。作为这种LC器件之一，已知有公布于特开平3-259608号公报中的LC噪声滤波器。该LC噪声滤波器是一个其L分量和C分量以分布参数的方式存在着的器件，和集中参数方式LC噪声滤波器相比，该器件可以在比较宽的波段内得到良好的衰减特性。可是，上述LC噪声滤波器是在两个绝缘薄膜中的一个的两个面上分别形成指定形状的导电体之后，通过将此绝缘薄膜进行折叠的办法而制成的。由于需要折叠绝缘薄膜等工序，制作工艺变得复杂了起来。此外，当把此LC噪声滤波器直接插入到IC或LSI的电源线或信号线上使用时，还必须在LC噪声滤波器与IC等之间进行布线，要花费组装部件的时间。再说，由于这种LC噪声滤波器作成为单独的部件，故几乎不可能使其包含在IC或LSI电路之中，即几乎不可能插入到IC或LSI等的内部布线之间。再者，在该LC噪声滤波器中，由于以分布参数方式形成的电容器是由导电体的各自的形状和布局决定的，故存在着作成部件之后其电容值就变为恒定值，整体的特征也被确定，因而没有通用性这样的问题。比如说，在想改变电容值的时候，就必须改变形成电容器的导电体的形状，因而就难于在装入该LC噪声滤波器的电路中根据需要任意改变电容值来使用它。本专利技术是鉴于上述那些缺点而创造出来的。其目的在于提供一种LC元件、半导体器件及LC元件的制作方法。本专利技术的LC元件制作简单且可省略掉后部工序中的部件组装作业，而且可以形成为IC和LSI的一部分。本专利技术的另外一个目的在于提供一种LC元件、半导体器件及LC元件的制作方法，这种LC元件可通过根据需要改变以分布参数方式存在着的电容值的办法来改变其特性。为了解决上述课题，本专利技术提供了一种LC元件，它具有大致平行地排列并分别具有指定电感的两个电感器电极，以及一个反向偏置状态下起着电容器作用的pn结层，这个pn结层沿上述两个电感器电极的位置形成于半导体基片上，而两个电感器电极中的一个在整个长度上电连接到p区，另一个在整个长度上电连接到n区;其中，由上述两个电感器电极分别形成的电感器和由沿此两个电感器电极的上述pn结层所形成的电容器以分布参数的方式存在着，而且，上述两个电感器电极中的至少一个用作信号传输线路。在本专利技术的这种LC元件中，具有指定电感值的两个电极几乎是平行地形成的。一般说，把导体形成为螺旋状而使其起到电感器的作用，但通过研究其导体的形状或者在不同的频率下使用的办法，把导体作成为螺旋状以外的形状，比如说蛇行形状、波形形状、直线形状等等，也可以起到电感器的作用。此外，在这两个具有指定电感值的电极之间形成了pn结层。此pn结层在反向偏置状态下使用，起着电容器的作用。而且，该电容器以分布参数的方式形成于具有指定电感值的电极的整个长度上。因此，输入到上述两个电极中至少一个上去的信号通过以分布参数式存在的电感器和电容器进行传送之际，可在广阔的频段内获得良好的衰减特性。特别是本专利技术的LC元件可以在半导体基片上形成指定形状的pn结层的同时，再在其表面一侧形成与pn结层相对应的形状的两个电极，故其制作变得非常容易。另外，该LC元件由于是形成于半导体基片上，故可形成IC或LSI的一部分。在形成为这种部件的一部分的情况下，可以省掉后继工序中的部件组装作业。本专利技术的另外一种LC元件具有下述特征它具有大致相向排列的各具有指定电感的两个电感器电极;以及在反向偏置状态下起着电容器作用的pn结层，这个pn结层形成于半导体基片中上述两个电感器电极之间，这两个电极中任一个在整个长度上电连接于p区，另一个则在整个长度上电连接于n区;其中，由上述两个电感器电极分别形成的电感器和由这两个电感器电极之间的上述pn结所形成的电容器以分布参数方式存在;并且，上述两个电感器电极中的至少一个用作信号传输线路。本专利技术的这种LC元件，把在前边说过的本专利技术的LC元件中大致平行地排列于同一平面内的、具有指定电感值的两个电极排列为夹着半导体基片大体上相对的布局，并在分别起着电感器功能的这两个电极之间以分布参数方式存在着通过使pn结层在反向偏置状态下使用而形成的电容器。因而，该LC元件在广阔的波段上有着良好特性，同时，还具有易于制作和可以形成为基片的一部分的效果。本专利技术的LC元件中，起着前面说过的电感器作用的各个电极的形状，具体地说，可以是螺旋形状、蛇行形状、波形形状、曲线形状和直线形状。即，把电极作成螺旋形状的时候具有电感这是不言而喻的。在把电极作成蛇行形状或波形形状的情况下，由于一个一个的凹凸部分各变成约1/2匝的线圈而将其串联连接起来，故从整体上看仍然具有指定的电感。特别是通过把电极作成蛇行形状可以使相邻电极接近，可以求得有效地利用空间。此外，在把使用频带限于高频区域时将电极作成为曲线形状或直线形状等情况下，也将具有指定的电感值，可以使其进行和把电极作成螺旋形状的时候相同的动作。本专利技术的再一种LC元件具有如下特征在上面说过的各LC元件中，具有设于上述两个电感器电极之一的一端附近和另一端附近的第1和第2输入输出电极，和设于上述两个电感器电极中另一个的一端附近的地电极，并且，从上述第1和第2输入输出电极中之一输入信号，从另一个输出信号，同时，把上述地电极连接到固定电位的电源上或将其接地。在本专利技术的这种LC元件中，在前边说过的各个LC元件的起电感作用的任意一个电极的一端和另一端附近设有第1和第2电极，同时，在起电感器作用的另一个电极的一端附近设有地电极，这样就可以容易地形成了端子型LC元件。这种元件的设有第1和第2输入输出电极的一侧的电极被用作信号传输线路。本专利技术的再一种LC元件具有如下特征在前边说过的各LC元件中，具有设于上述两个电感器电极中的任一电极的一端附近和另一端附近的第1和第2输入输出电极，和设于上述两个电感器电极中另一电极的一端附近和另一端附近的第3和第4输入输出电极;其中，所述元件可以用作把上述两个电感器电极的每一个用作信号传输线路的共模(common mode)型元件。在本专利技术的这种LC元件中，借助于在另一个电感器电极的两端设有第3和第4输入输出电极而能够容易地形成4端子本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＬＣ元件，其特征在于包括：两个螺旋形状的电感器电极，它们分别具有指定的电感且大体上平行地配置；一个在反向偏置状态下使用时起着电容器作用的ｐｎ结层，它沿着上述两个电感器电极的位置形成于半导体基片上，并具有分别在整个长度上连接到两个 电感器电极之一上的ｐ区和ｎ区；其中分别由上述两个电感器电极形成的电感器和由沿着这两个电感器电极的上述ｐｎ结层形成的电容器都以分布参数形式存在，以及上述两个电感器电极中的至少一个电极用作信号传输线路。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：池田毅，冈村进，
申请(专利权)人：池田毅，冈村进，
类型：发明
国别省市：JP[日本]