弹性表面波元件制造技术

技术编号:3407567 阅读:135 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
在钽酸锂或铌酸锂制的基板(1)上形成以铝为主要成分的帘状电极(2)、(3)的弹性表面波元件中,帘状电极(2)及(3)的膜厚相对于连接在共同端子上的多个电极指的指周期的比率以传播损耗为目标函数进行最优化处理,设定在0.03至0.10的范围内。这样,能够比以往降低传播损耗。(*该技术在2017年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种弹性表面波元件,在能够激发纵波分量比横波分量强的弹性表面波、纵波分量比横波分量强的假弹性表面波或纵波分量比横波分量强的表面滑动体积波的基板的表面形成由导电性薄膜构成的帘状电极而成,其特征在于,帘状电极的膜厚相对于连接于共同端子的多个电极指的指周期的比率以传播损耗作为目标函数进行最优化处理。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:小林泰三松井邦行田中直树冈野宽臼杵辰朗柴田贤一
申请(专利权)人:三洋电机株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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