本实用新型专利技术涉及晶体硅太阳能电池技术领域，且公开了一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，解决了目前扩散炉内的石英舟在传送的过程中，不便于对石英舟进行限位，石英舟在传送过程中稳定性较差，实际操作较为不便的问题，其包括安装板，所述安装板的顶部设有活动座，活动座和安装板通过驱动组件连接，活动座的顶部设有调节板，调节板的顶部固定连接有两个第一固定板，两个第一固定板相靠近的一侧均设有第一夹持限位板，两个第一夹持限位板之间设有载物台，载物台的底部与调节板的顶部固定连接；通过两个第一夹持限位板和两个第二夹持限位板限位石英舟的四个侧面，减少石英舟在传送过程中晃动的可能。程中晃动的可能。程中晃动的可能。
【技术实现步骤摘要】
一种用于扩散炉内的石英舟传送机构
[0001]本技术属于晶体硅太阳能电池
，具体为一种用于扩散炉内的石英舟传送机构。
技术介绍
[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉由控制系统、石英舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成，扩散炉有垂直扩散炉和水平扩散炉两种类型。
[0003]石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业，石英舟是扩散时的常用工具。
[0004]目前扩散炉内的石英舟在传送的过程中，不便于对石英舟进行限位，石英舟在传送过程中稳定性较差，实际操作较为不便。
技术实现思路
[0005]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，有效的解决了上述
技术介绍
中的问题。
[0006]为实现以上目的，本技术采用以下的技术方案：
[0007]一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，包括安装板，所述安装板的顶部设有活动座，活动座和安装板通过驱动组件连接，活动座的顶部设有调节板，调节板的顶部固定连接有两个第一固定板，两个第一固定板相靠近的一侧均设有第一夹持限位板，两个第一夹持限位板之间设有载物台，载物台的底部与调节板的顶部固定连接，调节板的顶部设有与两个第一夹持限位板相配合的第一异向移动机构，载物台的两侧均设有第二夹持限位板，调节板的两侧均固定连接有第一支撑侧板，第一支撑侧板的顶部固定连接有第二固定板，两个第二固定板与两个第二夹持限位板通过第二异向移动机构连接，第一支撑侧板和活动座通过升降调节组件。
[0008]作为本技术所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构的一种优选实时方案，其中，所述驱动组件包括设置于活动座一侧的第一螺纹柱，第一螺纹柱贯穿活动座，第一螺纹柱与活动座的连接方式为螺纹连接，安装板的两侧均固定连接有第三固定板，第一螺纹柱的一端与其中一个第三固定板通过第一轴承连接，第一螺纹柱的另一端贯穿另一个第三固定板，且第一螺纹柱的一端与其中一个第三固定板通过驱动电机连接，活动座与安装板通过滑行单元连接。
[0009]作为本技术所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构的一种优选实时方案，其中，所述滑行单元包括开设于安装板顶部的滑槽，滑槽内设有滑块，滑块的顶部与活动座的底部固定连接。
[0010]作为本技术所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构的一种优选实时方
案，其中，所述升降调节组件包括对称设置于活动座两侧的第二支撑侧板，第二支撑侧板的一侧与活动座的一侧固定连接，其中一个第一支撑侧板的下方设有第二螺纹柱，另一个第一支撑侧板的下方设有定位柱，第二螺纹柱和定位柱分别贯穿两个第二支撑侧板，其中一个第二螺纹柱的一端与其中一个第一支撑侧板通过第二轴承连接，另一个定位柱的顶部与另一个第一支撑侧板固定连接，第二螺纹柱和第二支撑侧板的连接方式为螺纹连接。
[0011]作为本技术所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构的一种优选实时方案，其中，所述第二螺纹柱上设有把手，两个第一夹持限位板相靠近的一侧和两个第二夹持限位板相靠近的一侧均设有防滑垫。
[0012]作为本技术所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构的一种优选实时方案，其中，所述第一异向移动机构包括设置于载物台一侧的第一双向丝杆，第一双向丝杆贯穿两个第一夹持限位板，第一夹持限位板和第一双向丝杆的连接方式为螺纹连接，第一双向丝杆贯穿载物台，第一双向丝杆的一端与其中一个第一固定板通过第三轴承连接，第一双向丝杆的另一端贯穿另一个第一固定板，且第一双向丝杆的一端固定连接有第一转盘，第一夹持限位板的底部与调节板的顶部相接触。
[0013]作为本技术所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构的一种优选实时方案，其中，所述第二异向移动机构包括设置于载物台一侧的第二双向丝杆，第二双向丝杆贯穿两个第二夹持限位板，第二夹持限位板和第二双向丝杆的连接方式为螺纹连接，第二双向丝杆贯穿载物台，第二双向丝杆的一端与其中一个第二固定板通过第四轴承连接，第二双向丝杆的另一端贯穿另一个第二固定板，且第二双向丝杆的一端固定连接有第二转盘，第二夹持限位板的底部与第一支撑侧板的顶部相接触。
[0014]本技术具有以下有益效果：
[0015]1、通过安装板、活动座和驱动组件的设计，通过滑槽和滑块的配合，使得活动座相对安装板平稳移动，通过驱动电机驱动第一螺纹柱转动，进而通过第一螺纹柱和活动座的配合，使得活动座在安装板上移动，进而使得调节板和载物台移动，石英舟放置于载物台的顶部，通过两个第一夹持限位板和两个第二夹持限位板限位石英舟的四个侧面，减少石英舟在传送过程中晃动的可能；
[0016]2、通过活动座、调节板、第一支撑侧板和升降调节组件的设计，通过驱动第二螺纹柱转动，使得第二螺纹柱相对第二支撑侧板上下移动，进而改变第一支撑侧板的高度，通过第二支撑侧板和定位柱的配合，使得第一支撑侧板和调节板平稳的上下移动，便于根据实际需求，改变载物台和石英舟的高度，通过第一异向移动机构的设计，通过旋转第一转盘驱动第一双向丝杆转动，使得两个第一夹持限位板异向移动，进而改变两个第一夹持限位板之间的距离，通过第二异向移动机构的设计，通过旋转第二转盘驱动第二双向丝杆转动，使得两个第二夹持限位板异向移动，进而改变两个第二夹持限位板之间的距离，可以对不同大小的石英舟进行限位固定，便于实际使用。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提
下，还可以根据这些附图示出的结构获得其它的附图。
[0018]图1为本技术整体结构示意图；
[0019]图2为本技术活动座的结构示意图；
[0020]图3为本技术调节板的结构示意图；
[0021]图4为本技术升降调节组件的结构示意图。
[0022]图中：1、安装板；2、活动座；3、调节板；4、第一固定板；5、第一夹持限位板；6、载物台；7、第二夹持限位板；8、第一支撑侧板；9、第一螺纹柱；10、滑槽；11、滑块；12、第二固定板；13、第一轴承；14、驱动电机；15、第二螺纹柱；16、第二支撑侧板；17、定位柱；18、第二轴承；19、把手；20、第一双向丝杆；21、第三轴承；22、第一转盘；23、第三固定板；24、第二双向丝杆；25、第四轴承；26、第二转盘；27、防滑垫。
[0023]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)的顶部设有活动座(2)，活动座(2)和安装板(1)通过驱动组件连接，活动座(2)的顶部设有调节板(3)，调节板(3)的顶部固定连接有两个第一固定板(4)，两个第一固定板(4)相靠近的一侧均设有第一夹持限位板(5)，两个第一夹持限位板(5)之间设有载物台(6)，载物台(6)的底部与调节板(3)的顶部固定连接，调节板(3)的顶部设有与两个第一夹持限位板(5)相配合的第一异向移动机构，载物台(6)的两侧均设有第二夹持限位板(7)，调节板(3)的两侧均固定连接有第一支撑侧板(8)，第一支撑侧板(8)的顶部固定连接有第二固定板(12)，两个第二固定板(12)与两个第二夹持限位板(7)通过第二异向移动机构连接，第一支撑侧板(8)和活动座(2)通过升降调节组件。2.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述驱动组件包括设置于活动座(2)一侧的第一螺纹柱(9)，第一螺纹柱(9)贯穿活动座(2)，第一螺纹柱(9)与活动座(2)的连接方式为螺纹连接，安装板(1)的两侧均固定连接有第三固定板(23)，第一螺纹柱(9)的一端与其中一个第三固定板(23)通过第一轴承(13)连接，第一螺纹柱(9)的另一端贯穿另一个第三固定板(23)，且第一螺纹柱(9)的一端与其中一个第三固定板(23)通过驱动电机(14)连接，活动座(2)与安装板(1)通过滑行单元连接。3.根据权利要求2所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述滑行单元包括开设于安装板(1)顶部的滑槽(10)，滑槽(10)内设有滑块(11)，滑块(11)的顶部与活动座(2)的底部固定连接。4.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述升降调节组件包括对称设置于活动座(2)两侧的第二支撑侧板(16)，第二支撑侧板(16)的一侧与活动座(2)的一侧固定连接，其中一个第一支撑侧板(...
【专利技术属性】
技术研发人员：孟庆昌，赵海军，
申请(专利权)人：青岛海通达微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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