【技术实现步骤摘要】
一种气囊式减振平台装置
[0001]本技术涉及减振装置领域,尤其涉及的是一种气囊式减振平台装置。
技术介绍
[0002]现有技术,各种的精密加工设备、高精度机床、超精密运动平台、高端检测设备、光学平台设备、半导体设备、例如光刻机、晶圆检测设备等;在设置的时候均要用到减振器,减振器对各设备的使用和运行起到减振的作用;减振的目的是控制干扰振动,将干扰振动的不利影响控制在可接受的范围内。减振器被设计来为不同型号的设备提供振动和冲击的保护。如果需要减振的设备本身就是振源(例如:冲击和振动试验台),减振的目的就是减少振动从振源到支撑结构的传播。
[0003]现有技术中的减振器一般都是体积较大,重量较重,安装和运输存在一定的不便,生产成本较高。
[0004]因此,现有技术存在缺陷,需要改进。
技术实现思路
[0005]本技术所要解决的技术问题是:提供一种使用寿命长,重量轻,安装和运输方便,生产成本较低的气囊式减振平台装置。
[0006]本技术的技术方案如下:一种气囊式减振平台装置,其特征在于,
[0007]包括产品上底板紧固结构1、上底板2、进气节流装置3、空气弹簧上紧固件4、阻尼恒定件5、空气弹簧6、阻尼腔体7、空气弹簧下紧固件8、下底板9、下底板紧固结构10;其中,上底板紧固结构1、上底板2、空气弹簧上紧固件4相互配合锁紧,进气节流装置3安装在上底板2上;阻尼恒定件5焊接在上底板2的底面,阻尼腔体7焊接在下底板9上面,空气弹簧下紧固件8、下底板9、下底板紧固结构10相互配合锁紧;空 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气囊式减振平台装置,其特征在于,包括产品上底板紧固结构(1)、上底板(2)、进气节流装置(3)、空气弹簧上紧固件(4)、阻尼恒定件(5)、空气弹簧(6)、阻尼腔体(7)、空气弹簧下紧固件(8)、下底板(9)、下底板紧固结构(10);其中,上底板紧固结构(1)、上底板(2)、空气弹簧上紧固件(4)相互配合锁紧,进气节流装置(3)安装在上底板(2)上;阻尼恒定件(5)焊接在上底板(2)的底面,阻尼腔体(7)焊接在下底板(9)上面,空气弹簧下紧固...
【专利技术属性】
技术研发人员:程亮,周小利,雷丽萍,伍军,朱艺光,
申请(专利权)人:深圳市三思减振技术有限公司,
类型:新型
国别省市:
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