一种气囊式减振平台装置制造方法及图纸

技术编号:34073253 阅读:34 留言:0更新日期:2022-07-07 00:22
本实用新型专利技术公开了一种气囊式减振平台装置,包括产品上底板紧固结构、上底板、进气节流装置、空气弹簧上紧固件、阻尼恒定件、空气弹簧、阻尼腔体、空气弹簧下紧固件、下底板、上底板紧固结构;上底板紧固结构、上底板、空气弹簧上紧固件配合锁紧,进气节流装置安装在上底板上;阻尼恒定件焊接在上底板的底面,阻尼腔体焊接在下底板上面,空气弹簧下紧固件、下底板、下底板紧固结构配合锁紧;空气弹簧分别与空气弹簧上紧固件、空气弹簧下紧固件的反向U槽扣紧。本实用新型专利技术使用耐用性极强的气囊型空气弹簧,使用寿命长,重量轻,通过装有内置型油阻尼,可缩短其所搭载的运行平台的设备稳定时间,减振器刚性提升;安装和运输方便,生产成本较低。较低。较低。

【技术实现步骤摘要】
一种气囊式减振平台装置


[0001]本技术涉及减振装置领域,尤其涉及的是一种气囊式减振平台装置。

技术介绍

[0002]现有技术,各种的精密加工设备、高精度机床、超精密运动平台、高端检测设备、光学平台设备、半导体设备、例如光刻机、晶圆检测设备等;在设置的时候均要用到减振器,减振器对各设备的使用和运行起到减振的作用;减振的目的是控制干扰振动,将干扰振动的不利影响控制在可接受的范围内。减振器被设计来为不同型号的设备提供振动和冲击的保护。如果需要减振的设备本身就是振源(例如:冲击和振动试验台),减振的目的就是减少振动从振源到支撑结构的传播。
[0003]现有技术中的减振器一般都是体积较大,重量较重,安装和运输存在一定的不便,生产成本较高。
[0004]因此,现有技术存在缺陷,需要改进。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是:提供一种使用寿命长,重量轻,安装和运输方便,生产成本较低的气囊式减振平台装置。
[0006]本技术的技术方案如下:一种气囊式减振平台装置,其特征在于,
[0007]包括产品上底板紧固结构1、上底板2、进气节流装置3、空气弹簧上紧固件4、阻尼恒定件5、空气弹簧6、阻尼腔体7、空气弹簧下紧固件8、下底板9、下底板紧固结构10;其中,上底板紧固结构1、上底板2、空气弹簧上紧固件4相互配合锁紧,进气节流装置3安装在上底板2上;阻尼恒定件5焊接在上底板2的底面,阻尼腔体7焊接在下底板9上面,空气弹簧下紧固件8、下底板9、下底板紧固结构10相互配合锁紧;空气弹簧6 分别与空气弹簧上紧固件4、空气弹簧下紧固件8的反向U槽扣紧。
[0008]应用于上述技术方案,所述的气囊式减振平台装置中,所述阻尼腔体7 内放置有阻尼油,阻尼恒定件5浸泡在阻尼腔体7的阻尼油内。
[0009]应用于上述各个技术方案,所述的气囊式减振平台装置中,阻尼恒定件5焊接在上底板2底面的中心位置;并且,阻尼腔体7焊接在下底板9 上面的中心位置。
[0010]本技术的有益效果为:
[0011]本技术通过使用耐用性极强的气囊型空气弹簧,使用寿命长,重量轻,并且,通过装有内置型油阻尼,可缩短其所搭载的运行平台的设备稳定时间,减振器刚性提升;安装和运输方便,生产成本较低。
附图说明
[0012]图1为本技术的组装示意图;
[0013]图2位本技术的组装剖视图。
具体实施方式
[0014]以下结合附图和具体实施例,对本技术进行详细说明。
[0015]本实施例提供了一种气囊式减振平台装置,如图1和2所示,气囊式减振平台装置包括产品上底板紧固结构1、上底板2、进气节流装置3、空气弹簧上紧固件4、阻尼恒定件5、空气弹簧6、阻尼腔体7、空气弹簧下紧固件8、下底板9、下底板紧固结构10。
[0016]其中,上底板紧固结构1、上底板2、空气弹簧上紧固件4相互配合锁紧,进气节流装置3安装在上底板2上。阻尼恒定件5焊接在上底板2底面的中心位置,阻尼腔体7焊接在下底板9上面的中心位置,空气弹簧下紧固件8、下底板9、下底板紧固结构10相互配合锁紧。空气弹簧6分别与空气弹簧上紧固件4、空气弹簧下紧固件8的反向U槽扣紧。
[0017]本技术的整体动作流程:当一套减振仪器(4个或4个以上)有承受负载时,进气管接入调平装置的进气管,再由调平装置的出气管接到进气节流装置3上,气压通过上底板2对空气弹簧6进行实时充气,空气弹簧6内部有阻尼腔体7,阻尼腔体7内盛一部分阻尼油,阻尼恒定件5浸泡在盛有阻尼油的阻尼腔体7内,阻尼恒定件5在上下起伏时产生一定阻力,缩短稳定时间,从而达到减振效果。
[0018]本技术通过使用耐用性极强的气囊型空气弹簧,使用寿命长,重量轻,并且,通过装有内置型油阻尼,可缩短其所搭载的运行平台的设备稳定时间,减振器刚性提升;安装和运输方便,生产成本较低。
[0019]以上仅为本技术的较佳实施例而已,并不用于限制本技术,凡在本技术的精神和原则之内所做的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气囊式减振平台装置,其特征在于,包括产品上底板紧固结构(1)、上底板(2)、进气节流装置(3)、空气弹簧上紧固件(4)、阻尼恒定件(5)、空气弹簧(6)、阻尼腔体(7)、空气弹簧下紧固件(8)、下底板(9)、下底板紧固结构(10);其中,上底板紧固结构(1)、上底板(2)、空气弹簧上紧固件(4)相互配合锁紧,进气节流装置(3)安装在上底板(2)上;阻尼恒定件(5)焊接在上底板(2)的底面,阻尼腔体(7)焊接在下底板(9)上面,空气弹簧下紧固...

【专利技术属性】
技术研发人员:程亮周小利雷丽萍伍军朱艺光
申请(专利权)人:深圳市三思减振技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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