一种半导体单晶重锤行程检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体单晶重锤行程检测装置，包括腔体、位于腔体内的钨丝绳、吊在钨丝绳底部的重锤、光电传感器、磁性接近开关、预设在腔体内部且位于重锤上方的挡板，所述挡板上安装有磁铁；当光电传感器产生故障或误差导致重锤继续向上移动时，重锤上升并顶起挡板使磁铁离开预设位置，磁性接近开关所在磁场发生变化而能够产生信号，该信号可以作为紧急关断停止重锤上升的信号。急关断停止重锤上升的信号。急关断停止重锤上升的信号。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体单晶重锤行程检测装置


[0001]本技术属于单晶炉
，涉及一种重锤行程检测装置。

技术介绍

[0002]单晶炉长时间使用重锤行程限位机械结构可能产生松动，由于其传动比例较大，一旦松动限位产生误差，极有可能会引发晶升过程中，重锤行程超限位位置上升距离较大，进而拉断钢丝绳。为避免该隐患，需要对重锤是否超限位进行检测以及时关断重锤的上升状态。如公告号为CN214032748 U的中国专利，提供一种单晶炉重锤检测装置，单晶硅棒在上升过程中超过限位继续上升，升到光电传感器感应区域，光电传感器会反馈信号到控制系统，由控制系统停止晶升动作并发出警报。
[0003]但是在具体使用时，由于光电传感器处于单晶炉内的高温状态，如发生故障失效或精度误差，则造成对重锤上升超过预定行程的判断出现误判或者滞后，仍然会造成拉断钢丝绳的隐患。

技术实现思路

[0004]技术目的：针对以上缺点，本技术提供一种半导体单晶重锤行程检测装置，能够对重锤行程是否超限位进行更加准确的检测。
[0005]技术方案：为解决上述问题，本技术可采用以下技术方案：
[0006]一种半导体单晶重锤行程检测装置，包括腔体、位于腔体内的钨丝绳、吊在钨丝绳底部的重锤；所述腔体上设置观察窗，观察窗位置设置光电传感器设置于观察窗外侧，用于检测重锤是否出现在感应区域；还包括位于观察窗上方的磁性接近开关、预设在腔体内部且位于重锤上方的挡板，所述挡板上安装有磁铁；所述磁铁预设在磁性接近开关位置，当重锤上升顶住挡板，磁铁离开磁性接近开关位置。
[0007]有益效果：相对于现有技术，本技术半导体单晶重锤行程检测装置通过在光电传感器所在观察窗位置上方设置磁性接近开关，并在腔体内侧预设磁铁与磁性接近开关配对，当光电传感器产生故障或误差导致重锤继续向上移动时，重锤上升并顶起挡板使磁铁离开预设位置，磁性接近开关所在磁场发生变化而能够产生信号，该信号可以作为紧急关断停止重锤上升的信号。该方案通过光电传感器与磁性接近开关的双保险检测，进一步提高了重锤行程是否超限位的检测安全性。
附图说明
[0008]图1是本技术单半导体单晶重锤行程检测装置的结构示意图。
[0009]图2是本技术单半导体单晶重锤行程检测装置另一个角度的结构示意图。
[0010]图3是重锤顶住挡板使磁铁上升时的状态图。
具体实施方式
[0011]结合图1及图2所示，本技术提供的一种半导体单晶重锤行程检测装置，包括腔体1、位于腔体1内的钨丝绳2、吊在钨丝绳2底部的重锤3。所述腔体1上设置观察窗4，观察窗4位置设置光电传感器5设置于观察窗4外侧，用于检测重锤3是否出现在感应区域。当重锤3超过感应区域时，则紧急关断钨丝绳2的上升使重锤3停止移动，同时通过报警器报警。在本实施方式中，所述观察窗4设有两个并且相对位于腔体1两侧，每个观察窗4位置均设置一个光电传感器5。
[0012]同时，腔体1还设有位于观察窗4上方的磁性接近开关6、预设在腔体1内部且位于重锤3上方的挡板7，所述挡板7上安装有磁铁8。具体的，腔体1内设有向内凸伸的支撑板9、位于支撑板9上的直线轴承10、穿过直线轴承10的导杆11、位于导杆11上方的磁铁托板12。所述磁铁8安装在磁铁托板12上。所述磁铁托板12始终位于支撑板9上方，挡板7始终位于支撑板9下方。所述挡板7、支撑板9与磁铁托板12中央位置均设有供钨丝绳2穿过的开口。钨丝绳2的升降不会与挡板7、支撑板9与磁铁托板12产生干涉。磁铁托板12被支撑在直线轴承10上，故当重锤3与挡板7不接触时，挡板7通过导杆11悬挂在重锤3的上方位置。如图3所示，当重锤3上升超过感应区域而光电传感器5未报警时，则重锤3继续上升而顶住挡板7，磁铁8离开磁性接近开关6位置，此时磁性接近开关6可以再产生一个电信号作为关断信号停止重锤3上升。同时报警器报警。
[0013]本技术具体实现该技术方案的方法和途径很多，以上所述仅是本专利技术的优选实施方式。应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本专利技术的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体单晶重锤行程检测装置，包括腔体、位于腔体内的钨丝绳、吊在钨丝绳底部的重锤；所述腔体上设置观察窗，观察窗位置设置光电传感器设置于观察窗外侧，用于检测重锤是否出现在感应区域；其特征在于，还包括位于观察窗上方的磁性接近开关、预设在腔体内部且位于重锤上方的挡板，所述挡板上安装有磁铁；所述磁铁预设在磁性接近开关位置，当重锤上升顶住挡板，磁铁离开磁性接近开关位置。2.根据权利要求1所述的半导体单晶重锤行程检测装置，其特征在于，腔体内设有向内凸伸的支撑板、位于支撑板上的直线轴承、穿过直线轴承的导杆、...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴春生，罗汉昌，朱红民，侯晓东，王程平，
申请(专利权)人：南京晶能半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：