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用于表面声波器件的阵列处理的系统和方法技术方案

技术编号:3406895 阅读:137 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种用于制造各个微电子器件,例如表面声波器件,的组件和方法使用一个非导体材料的整体阵列,该阵列带有多个隔开的延伸到该阵列内的空腔,每个空腔带有一个尺寸定成容纳一个要在其中密封的盖的凹槽。从每个空腔的内部到该阵列的一个表面设置导电路径,以便电气地和空腔内气密密封的一个器件连接。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于制造各个表面声波(SAW)器件的方法,该方法包括步骤: 形成一个非导体材料的整体阵列,该阵列具有相对的第一和第二表面并且具有多个隔开的从该第一表面延伸到该阵列内的空腔,每个空腔的尺寸定成在其中容纳一个SAW器件; 在每个空腔从该第一表面形成一个凹槽,每个凹槽的尺寸定成在凹槽内容纳一个盖; 从每个空腔的内部向该阵列的一个表面设置至少二条导电路径; 向多个空腔的每个空腔插入一个SAW器件,每个SAW器件具有插入后和相应空腔内的导电路径电气接触的导电装置; 在每个插入的SAW器件上密封盖在凹槽内;以及然后 沿着相邻空腔之间的分割线把该阵列分割成各个SAW器件。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:查尔斯卡彭特
申请(专利权)人:索泰克公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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