一种TSK减薄机抛光单元管路结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种TSK减薄机抛光单元管路结构，有效减少管路结晶情况，提升设备稳定性，提高设备利用率，保证了产品品质要求。一种TSK减薄机抛光单元管路结构，包括通过主路管道依次连接的抛光液储罐、气动泵、压力调节阀和抛光终端；其中，气动泵上连接有气压源端，抛光终端包括抛光液入口和抛光液出口，压力调节阀通过主路管道与抛光液入口连接，抛光液出口通过旁路管道与抛光液储罐的入口连接，形成闭合循环管路；所述闭合循环管路的转角和管道接头处均采用直连管道连接。头处均采用直连管道连接。头处均采用直连管道连接。

【技术实现步骤摘要】
一种TSK减薄机抛光单元管路结构


[0001]本技术涉及抛光
，具体为一种TSK减薄机抛光单元管路结构。

技术介绍

[0002]芯片封装在减薄时，由于TSK减薄机抛光单元为湿抛化学工艺，抛光液主要成分为二氧化硅、有机胺，有机胺挥发和接触都会产生较大的刺激，因此在应用过程中通过采用管道进行输送。使用化学抛光液在管道中容易出现结晶，尤其是在管道的接头处和转角处极易引起抛光液频繁结晶和沉淀，导致抛光管路堵塞，此外，抛光液为气动泵提供压力动力，在气动泵施压过程中，管道中的抛光液因抛光管道的多节点导致流速差异显著，从而更易引起的抛光液堆积结晶，抛光液化学腐蚀性极强，结晶滞留设备内部会导致产品背面腐蚀，影响产品质量，减薄机宕机导致利用率降低，影响生产产能。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术中存在的问题，本技术提供一种TSK减薄机抛光单元管路结构，有效减少管路结晶情况，提升设备稳定性，提高设备利用率，保证了产品品质要求。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种TSK减薄机抛光单元管路结构，包括通过主路管道依次连接的抛光液储罐、气动泵、压力调节阀和抛光终端；
[0006]其中，气动泵上连接有气压源端，抛光终端包括抛光液入口和抛光液出口，压力调节阀通过主路管道与抛光液入口连接，抛光液出口通过旁路管道与抛光液储罐的入口连接，形成闭合循环管路；
[0007]所述闭合循环管路的转角和管道接头处均采用直连管道连接。
[0008]优选地，所述气动泵与气压源端之间设置有压力阀，主路管道上设置有流量调节阀。
[0009]优选地，所述抛光液入口处和抛光液出口处分别设置有入口流量计和出口流量计。
[0010]优选地，所述直连管道的管径与主路管道的管径保持一致。
[0011]优选地，所述直连管道采用抗碱性的塑料制备。
[0012]优选地，所述主路管道上还连接有纯水供应管道，纯水供应管道上设有纯水供应球阀。
[0013]优选地，所述抛光终端包括输液盘和抛光盘，抛光终端的抛光液入口连接输液盘，输液盘和抛光盘之间通过多个输液管道连通。
[0014]优选地，所述多个输液管道的出口端均匀分布在抛光盘上。
[0015]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0016]本技术提供一种TSK减薄机抛光单元管路结构，通过主路管道输送抛光液至抛光终端进行抛光作业，再分出一支旁路管道，用于回收多余的抛光液，旁路管道一部分与
主路管道汇合，形成闭合循环管路，同时，取消原本抛光管路结构中的FM3旁路，FM3旁路结构的存在会导致整体结构节点和转角的增加，从而进一步导致抛光液在管道中的压力和流速不均衡，出现流速异常，因此，本技术取消了FM3旁路，并且在原本的管道接头和转角处采用无障碍直连管道进行连接，使整个管路结构在输送抛光液时始终保持稳定平衡的压力和流速，降低了抛光液结晶和沉积的可能性，提升设备稳定性，减少设备宕机和异常导致产品质量异常，降低管路清洁频次，节省人力，提高设备利用率，有效保证了产品品质要求。
附图说明
[0017]图1为本技术抛光单元管路结构示意图；
[0018]图2为本技术实施例中接头替换位置示意图；
[0019]图3为本技术实施例中接头替换位置示意图。
[0020]图中，抛光液储罐1，气动泵2，压力调节阀3，抛光终端4，入口流量计5，出口流量计6。
具体实施方式
[0021]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
[0022]需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0023]下面结合附图对本技术做进一步详细描述：
[0024]如图1所示，本技术一种TSK减薄机抛光单元管路结构，包括通过主路管道依次连接的抛光液储罐1、气动泵2、压力调节阀3和抛光终端4；
[0025]其中，气动泵2上连接有气压源端，抛光终端4包括抛光液入口和抛光液出口，压力调节阀3通过主路管道与抛光液入口连接，抛光液出口通过旁路管道与抛光液储罐1的入口连接，形成闭合循环管路；
[0026]所述闭合循环管路的转角和管道接头处均采用直连管道连接。
[0027]本技术提供一种TSK减薄机抛光单元管路结构，通过主路管道输送抛光液至抛光终端4进行抛光作业，再分出一支旁路管道，用于回收多余的抛光液，旁路管道一部分与主路管道汇合，形成闭合循环管路，同时，取消原本抛光管路结构中的FM3旁路，FM3旁路结构的存在会导致整体结构节点和转角的增加，从而进一步导致抛光液在管道中的压力和流速不均衡，出现流速异常，因此，本技术取消了FM3旁路，并且在原本的管道接头和转
角处采用无障碍直连管道进行连接，使整个管路结构在输送抛光液时始终保持稳定平衡的压力和流速，降低了抛光液结晶和沉积的可能性，提升设备稳定性，减少设备宕机和异常导致产品质量异常，降低管路清洁频次，节省人力，提高设备利用率，有效保证了产品品质要求。
[0028]本实施例中，如图2和3所示，主要对以下几个接头和转角处进行了无障碍直连管道替换，包括抛光液准备供应区域抛光液储罐1的出口拐点处、旁路管道与抛光液储罐1的入口连接拐点处、主路管道上的压力调节阀3接头处、主路管道与旁路管道接头处等容易出现流速异常的部分均替换为直连管道进行连接，具体地可以在主路管道上各节点设置多个流速测量装置，确定出容易出现流速异常或结晶的部分进行替换。
[0029]本实施例中，所述气动泵2与气压源端之间设置有压力阀，主路管道上设置有流量调节阀。
[0030]本技术可以根据抛光液入口处和抛光液出口处设置的入口流量计5和出口流量计6流量检测情况，确定抛光液流量需求，并通过压力调节阀3调节输送抛光液所需压力动力，通过流量调节阀控制抛光液流量输送情况，进一步保证抛光效果。
[0031]本实施例中，主气压输送控制在0.2Mpa。
[0032]本实施例中，所述直连管道的管径与主路管道的管径保持一致，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TSK减薄机抛光单元管路结构，其特征在于，包括通过主路管道依次连接的抛光液储罐(1)、气动泵(2)、压力调节阀(3)和抛光终端(4)；其中，气动泵(2)上连接有气压源端，抛光终端(4)包括抛光液入口和抛光液出口，压力调节阀(3)通过主路管道与抛光液入口连接，抛光液出口通过旁路管道与抛光液储罐(1)的入口连接，形成闭合循环管路；所述闭合循环管路的转角和管道接头处均采用直连管道连接。2.根据权利要求1所述的一种TSK减薄机抛光单元管路结构，其特征在于，所述气动泵(2)与气压源端之间设置有压力阀，主路管道上设置有流量调节阀。3.根据权利要求1所述的一种TSK减薄机抛光单元管路结构，其特征在于，所述抛光液入口处和抛光液出口处分别设置有入口流量计(5)和出口流量计(6...

【专利技术属性】
技术研发人员：王涛涛，马勉之，吴树彬，郭博熠，白玉博，刘玉杰，吉武，王祥，李奇，
申请(专利权)人：华天科技南京有限公司，
类型：新型
国别省市：